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一种异质结硅磁敏三极管的制作方法
文档序号:18391200
发布日期:2019-08-09 21:47
阅读:
来源:国知局
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一种异质结硅磁敏三极管的制作方法
技术总结
本实用新型公开了一种异质结硅磁敏三极管,所述传感器包括作为器件层的第一硅片(1)和作为衬底的第二硅片(2),其中,在所述第一硅片(1)上设置有用于检测磁场的硅磁敏三极管。本实用新型所述异质结硅磁敏三极管结构简单,实现了芯片的小型化和集成化。
技术研发人员:
赵晓锋;漆园园;刘红梅;温殿忠
受保护的技术使用者:
黑龙江大学
技术研发日:
2018.12.25
技术公布日:
2019.08.09
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