一种具有检查单晶硅片裂隙功能的夹送装置的制作方法

本实用新型涉及半导体材料技术领域，特别的为一种具有检查单晶硅片裂隙功能的夹送装置。

背景技术：

单晶硅是一种比较活泼的非金属元素，是晶体材料的重要组成部分，处于新材料发展的前沿，其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。

现利用单晶硅片生产加工太阳能电池板时需要将单独的单晶硅片组装在一起，在拼装的时候需要将单晶硅片进行夹持输送，单晶硅片自身脆性与夹持机械手接触时容易因为刚性接触造成单晶硅片内部产生影裂痕，从而影响产品质量，故急需一种具有检查单晶硅片裂隙功能的夹送装置。

技术实现要素：

本实用新型提供的发明目的在于提供一种具有检查单晶硅片裂隙功能的夹送装置，该具有检查单晶硅片裂隙功能的夹送装置，能够避免夹持单晶硅片时产生刚性接触造成单晶硅片产生影裂。

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种具有检查单晶硅片裂隙功能的夹送装置，包括固定装置、显光装置和输送装置，所述显光装置和输送装置均位于固定装置的表面，所述显光装置位于输送装置的底部。

所述固定装置包括垫板，所述垫板的顶部固定安装有第一支撑柱，所述第一支撑柱的右侧通过输送装置与第二支撑柱活动连接，所述第二支撑柱的底部与垫板固定连接，垫板的顶部固定安装有放置垫。

所述显光装置包括第一安装板，所述第一安装板的左侧通过轴承活动安装有转轴，所述转轴的表面套设有显光板，转轴的左侧固定安装有限位齿轮，所述限位齿轮底部设有卡块，所述卡块的顶部固定安装有弹簧，所述弹簧的顶部固定安装有安装槽。

所述输送装置包括辅杆，所述辅杆的底部设有螺纹杆，所述螺纹杆的表面螺纹连接有滑块，所述滑块的底部固定安装有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的底部固定安装有吸附装置。

所述吸附装置包括出油管，所述出油管的表面自上到下依次套设有固定块和灯盘，所述灯盘的顶部与固定块固定连接，出油管的顶部连通有微型水泵，出油管的底部固定安装有吸附盘。

优选的，所述滑块的内部滑动连接有辅杆，所述辅杆的两端分别与第一支撑柱、第二支撑柱固定连接。

优选的，所述安装槽的右侧固定安装有第二安装板，所述第二安装板的内部套设有转轴，第二安装板的底部固定安装有垫板。

优选的，所述卡块的大小与限位齿轮的齿牙相适配，所述限位齿轮的左侧固定安装有转动把手。

优选的，所述放置垫为柔性橡胶材料制成，放置垫的顶部竖直开设有矩形槽。

优选的，所述微型水泵的顶部通过导管与储油罐相连通，所述储油罐的底部与垫板固定连接，微型水泵的底部与固定块固定连接。

优选的，所述吸附盘内部相对于出油管的位置竖直贯穿开设出油孔，吸附盘为高透玻璃制成。

优选的，所述螺纹杆的右侧固定安装有电机，所述电机的左侧与第二支撑柱固定连接。

本实用新型提供了一种具有检查单晶硅片裂隙功能的夹送装置。具备以下有益效果：

1、该具有检查单晶硅片裂隙功能的夹送装置，利用柔性海绵制成的放置垫放置单晶硅片，避免单晶硅片与垫板之间刚性接触产生损伤，通过放置垫顶部特有竖直开设的矩形槽能够使单晶硅片与放置垫之间具有缝隙，避免底部硅片与放置垫难以分离的问题，利用微型水泵将储油罐内香柏油通过出油管输送到吸附盘底部，利用香柏油将吸附盘底部与单晶硅片之间的空气排出，利用大气压将单晶硅片固定在吸附盘的底部，利用香柏油作为吸附盘与单晶硅片之前的介质，避免了吸附盘与单晶硅片之间产生刚性接触造成影裂。

2、该具有检查单晶硅片裂隙功能的夹送装置，利用高透玻璃制成的吸附盘具有强透光的作用，通过灯盘在单晶硅片顶部提供光源，完整的单晶硅片具有隔光的特性，通过转动限位齿轮从而调整显光板的角度，观察有无通过单晶硅片的灯盘光线，从而判断单晶硅片的好坏，利用弹簧推动卡块将限位齿轮卡住，从而起到固定显光板的作用。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型第二安装板的左视图；

图3为本实用新型吸附装置的结构示意图。

图中：1、固定装置；101、垫板；102、第一支撑柱；103、第二支撑柱；104、放置垫；2、显光装置；201、第一安装板；202、转轴；203、显光板；204、第二安装板；205、限位齿轮；206、安装槽；207、弹簧；208、卡块；3、输送装置；301、辅杆；302、螺纹杆；303、滑块；304、电动伸缩杆；305、吸附装置；3051、出油管；3052、固定块；3053、灯盘；3054、吸附盘；3055、微型水泵；306、储油罐；307、电机。

具体实施方式

如图1-3所示，一种具有检查单晶硅片裂隙功能的夹送装置，包括固定装置1、显光装置2和输送装置3，显光装置2和输送装置3均位于固定装置1的表面，显光装置2位于输送装置3的底部。

固定装置1包括垫板101，垫板101的顶部固定安装有第一支撑柱102，第一支撑柱102的右侧通过输送装置3与第二支撑柱103活动连接，第二支撑柱103的底部与垫板101固定连接，垫板101的顶部固定安装有放置垫104，放置垫104为柔性橡胶材料制成，放置垫104的顶部竖直开设有矩形槽。

显光装置2包括第一安装板201，第一安装板201的左侧通过轴承活动安装有转轴202，转轴202的表面套设有显光板203，转轴202的左侧固定安装有限位齿轮205，限位齿轮205底部设有卡块208，卡块208的大小与限位齿轮205的齿牙相适配，限位齿轮205的左侧固定安装有转动把手，卡块208的顶部固定安装有弹簧207，弹簧207的顶部固定安装有安装槽206，安装槽206的右侧固定安装有第二安装板204，第二安装板204的内部套设有转轴202，第二安装板204的底部固定安装有垫板101。

输送装置3包括辅杆301，辅杆301的底部设有螺纹杆302，螺纹杆302的右侧固定安装有电机307，电机307的左侧与第二支撑柱103固定连接，螺纹杆302的表面螺纹连接有滑块303，滑块303的内部滑动连接有辅杆301，辅杆301的两端分别与第一支撑柱102、第二支撑柱103固定连接，滑块303的底部固定安装有电动伸缩杆304，电动伸缩杆304的底部固定安装有吸附装置305，利用柔性海绵制成的放置垫104放置单晶硅片避免单晶硅片与垫板101之间刚性接触产生损伤，通过放置垫104顶部特有竖直开设的矩形槽能够使单晶硅片与放置垫104之间具有缝隙，避免底部硅片与放置垫104难以分离的问题，利用微型水泵3055将储油罐306内香柏油通过出油管3051输送到吸附盘3054底部，利用香柏油将吸附盘3054底部与单晶硅片之间的空气排出，利用大气压将单晶硅片固定在吸附盘3054的底部，利用香柏油作为吸附盘3054与单晶硅片之前的介质避免了吸附盘3054与单晶硅片之间产生刚性接触造成影裂的产生。

吸附装置305包括出油管3051，出油管3051的表面自上到下依次套设有固定块3052和灯盘3053，灯盘3053的顶部与固定块3052固定连接，出油管3051的顶部连通有微型水泵3055，微型水泵3055的顶部通过导管与储油罐306相连通，储油罐306的底部与垫板101固定连接，微型水泵3055的底部与固定块3052固定连接，出油管3051的底部固定安装有吸附盘3054，吸附盘3054内部相对于出油管3051的位置竖直贯穿开设出油孔，吸附盘3054为高透玻璃制成，利用高透玻璃制成的吸附盘3054具有强透光的作用，通过灯盘3053在单晶硅片顶部提供光源，完整的单晶硅片具有隔光的特性，通过转动限位齿轮205从而调整显光板203观察有无通过单晶硅片的灯盘3053光线，从而判断单晶硅片的好坏，利用弹簧207推动卡块208将限位齿轮205卡住，从而起到固定显光板203的作用。

使用时，利用柔性海绵制成的放置垫104放置单晶硅片避免单晶硅片与垫板101之间刚性接触产生损伤，通过放置垫104顶部特有竖直开设的矩形槽能够使单晶硅片与放置垫104之间具有缝隙，避免底部硅片与放置垫104难以分离的问题，利用微型水泵3055将储油罐306内香柏油通过出油管3051输送到吸附盘3054底部，利用香柏油将吸附盘3054底部与单晶硅片之间的空气排出，利用大气压将单晶硅片固定在吸附盘3054的底部，利用香柏油作为吸附盘3054与单晶硅片之前的介质避免了吸附盘3054与单晶硅片之间产生刚性接触造成影裂的产生，利用高透玻璃制成的吸附盘3054具有强透光的作用，通过灯盘3053在单晶硅片顶部提供光源，完整的单晶硅片具有隔光的特性，通过转动限位齿轮205从而调整显光板203观察有无通过单晶硅片的灯盘3053光线，从而判断单晶硅片的好坏，利用弹簧207推动卡块208将限位齿轮205卡住，从而起到固定显光板203的作用。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。