技术特征：
技术总结
公开了一种化学蚀刻装置以及使用的方法。用于化学蚀刻的装置包括被设计为容纳第一液体的容器。液体供应管沿所述容器的底部部分延伸。所述液体供应管具有沿着沿所述容器的所述底部部分的所述液体供应管的长度的第一多个开口。气体供应管沿所述容器的所述底部部分延伸。所述气体供应管具有沿着沿所述容器的所述底部部分的所述气体供应管的长度的第二多个开口。所述液体供应管经由所述第一多个开口将第二液体引入到所述第一液体中，并且所述气体供应管经由所述第二多个开口将气体引入到所述第一液体中。
技术研发人员：孙文斌;蒋阳波;汪亚军;顾立勋;徐融;吴良辉
受保护的技术使用者：长江存储科技有限责任公司
技术研发日：2018.05.17
技术公布日：2018.12.21