1.一种确定扫描电子显微镜的视场的畸变的方法，包括：
-提供样本，所述样本包括在第一方向上延伸的多条基本平行的线；
-沿着在扫描方向上延伸的相应的多个扫描轨迹来在所述样本的视场上执行多个扫描；所述扫描方向基本垂直于所述第一方向；
-检测由所述样本的所述扫描引起的所述样本的响应信号；
-基于所述响应信号来确定线的第一线段与所述线的第二线段之间的距离，其中所述第一线段和所述第二线段中的每个线段与多个扫描轨迹相交；
-针对所述视场内的多个位置执行先前的步骤，以及
-基于在所述多个位置处确定的所述距离来确定所述视场上的畸变。
2.根据权利要求1所述的方法，其中每个线段与所述多个扫描的子集相交，所述子集包括多个扫描轨迹。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述距离是在所述扫描方向上的距离。
4.根据权利要求1或2所述的方法，其中确定所述距离的步骤包括：确定在所述扫描方向上所述第二线段相对于所述第一线段的位置。
5.根据权利要求1或2所述的方法，其中通过在所述第一线段与所述第二线段之间执行间隙测量来确定所述距离。
6.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述畸变包括所述线段的相对位置。
7.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中确定所述畸变的步骤包括：基于所确定的所述距离来执行一维或二维拟合。
8.根据权利要求7所述的方法，其中所述一维或二维拟合包括分段线性拟合。
9.根据权利要求6所述的方法，其中所述畸变包括基于所述线段的相对位置的分段线性曲线。
10.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述距离是基于所述线段的边缘测量来确定的。
11.一种检查工具，包括：
-载物台，被配置为接收样本，所述样本包括在第一方向上延伸的多条基本平行的线；
-电子束源，被配置为生成电子束；
-束操纵器，被配置为将电子引导到所述样本上；
-检测器，被配置为检测由所述电子束与所述样本的相互作用而引起的所述样本的响应信号；
-控制单元，被配置为控制所述束操纵器沿着在扫描方向上延伸的相应的多个扫描轨迹，来在所述样本的视场上执行多个扫描；所述扫描方向基本垂直于所述第一方向，其中所述控制单元还被配置为在所述扫描期间，针对所述视场内的多个位置执行基于所述样本的响应信号来确定线的第一线段与所述线的第二线段之间的距离的步骤，其中所述第一线段和所述第二线段中的每个线段与多个扫描轨迹相交，并且所述控制单元被配置为基于在所述多个位置处确定的所述距离来确定所述视场上的畸变。
12.根据权利要求11所述的检查工具，其中所述控制单元被配置为通过基于所确定的所述距离执行一维或二维拟合来确定所述畸变。