1.一种太阳能电池的制造方法,是包含晶体基板的太阳能电池的制造方法,包括:
第1工序,在所述晶体基板的一侧主面侧,形成第1导电型半导体层,
第2工序,对于所述第1导电型半导体层,依次层叠形成包含硅系薄膜材料的、第1提离层和第2提离层,
第3工序,在所述一侧主面的一部分,通过除去所述第2提离层、所述第1提离层和所述第1导电型半导体层,生成所述第1导电型半导体层的非形成区域,另一方面,在所述一侧主面的剩余部分,将所述第1导电型半导体层、所述第1提离层和所述第2提离层残留,
第4工序,对所述残留的所述第2提离层和所述非形成区域,层叠形成第2导电型半导体层,以及
第5工序,使用第1蚀刻溶液,除去所述第1提离层和所述第2提离层,并且,还除去层叠于所述第2提离层的所述第2导电型半导体层;
并且,对于所述第1蚀刻溶液,第1导电型半导体层、第1提离层和第2提离层的蚀刻速度满足以下的关系式:
第1导电型半导体层的蚀刻速度<第2提离层的蚀刻速度<第1提离层的蚀刻速度……[关系式1]。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法,其中,所述第1提离层和所述第2提离层是以氧化硅为主成分的层,以550nm的波长测定的折射率满足以下的关系式:
第2提离层的折射率>第1提离层的折射率……[关系式2]。
3.根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法,其中,所述第1提离层和所述第2提离层是以氧化硅为主成分的膜,将其主成分表示为siox时的x的值满足以下的关系式:
第1提离层的x>第2提离层的x……[关系式3]。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的太阳能电池的制造方法,其中,
所述晶体基板具有第1纹理结构,
在形成于所述晶体基板的所述一侧主面侧的、所述第1导电型半导体层和所述第2导电型半导体层的各面,包含反映所述第1纹理结构的第2纹理结构。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的太阳能电池的制造方法,其中,所述非形成区域中,所述晶体基板的所述一侧主面的一部分露出。
6.根据权利要求1~5中任一项所述的太阳能电池的制造方法,其中,
所述第3工序中,在所述第2提离层形成开口部,并且使第2蚀刻溶液通过所述开口部而附着于所述第1提离层,除去该第1提离层。
7.根据权利要求6所述的太阳能电池的制造方法,其中,所述第3工序中,除去所述第1提离层,并且,使所述第2蚀刻溶液也附着于所述第1导电型半导体层,除去该第1导电型半导体层。
8.根据权利要求6或7所述的太阳能电池的制造方法,其中,
所述第1蚀刻溶液中包含的蚀刻剂的浓度高于所述第2蚀刻溶液中包含的蚀刻剂的浓度。