以非重叠方式施加频率和匹配调谐以处理衬底的系统和方法与流程

本发明的实施方案涉及用于以非重叠方式施加频率和匹配调谐以处理衬底的系统和方法。

背景技术：

在一些等离子体处理系统中，射频(rf)信号被提供至等离子体室内的电极。rf信号被用于在等离子体室内产生等离子体。等离子体被用于各种操作，例如清理放置在下电极上的衬底、蚀刻衬底等。在利用等离子体处理衬底期间，rf信号是脉冲式的。

本发明中所描述的实施方案就是在该背景下产生的。

技术实现要素：

本发明的实施方案提供了用于以非重叠方式施加频率和匹配调谐以处理衬底的系统、设备、方法和计算机程序。应理解，本发明的实施方案能够以各种方式实现，例如以处理、设备、系统、装置、或计算机可读介质上的方法实现。下面将说明一些实施方案。

脉冲等离子体在等离子体蚀刻工业中被积极地使用。在脉冲等离子体下，选择性、轮廓控制和蚀刻速率的改善均得到提高。在脉冲模式下，rf产生器的射频(rf)波形输出为大致矩形或矩形，每个脉冲的开始处都有峰值。峰值的幅值和持续时间取决于等离子体化学成分、条件和rf产生器的结构。rf产生器允许用户设置持续时间和功率电平，直至产生器的最大输出。然而，有时，持续时间和功率电平的设置导致点火问题，例如功率电平不足导致等离子体点火的缺乏，或者在高功率状态下时间过多导致对晶片的过度蚀刻。这是因为在使用基于真空电容器的阻抗匹配时，阻抗匹配调谐为固定的等离子体阻抗。但是，在脉冲等离子体中，等离子体阻抗在整个脉冲中都在变化。频率调谐足够快以调谐脉冲内的等离子体阻抗，但是，频率调谐受限于其调谐范围，并且在有限的阻抗空间内进行调谐。如果在频率调谐的同时使用阻抗匹配，则用于调谐rf产生器的rf频率的频率调谐算法和用于调谐阻抗匹配的调谐算法之间的相互作用通常会由于不必要的频率或匹配调谐而导致反射功率的振荡。

通过在脉冲的开始处使用频率调谐，在每个点火瞬变期间的反射功率的持续时间被最小化，并且在脉冲的其余部分期间调谐阻抗匹配。通过将脉冲主动分解为频率调谐时间段和匹配调谐时间段，可以使用两种等离子体阻抗调谐方法，而不会互相干扰。例如，在不调谐阻抗匹配的时间间隔期间调谐rf产生器的频率，在不调谐频率的时间间隔期间调谐阻抗匹配。频率调谐和阻抗匹配调谐之间的间隔有助于实现脉冲到脉冲的可重复性。rf产生器通过在每个脉冲期间分别施加频率调谐和匹配调谐来产生具有从脉冲到脉冲的一致性的rf波形。rf波形能以在每个脉冲的开始的限定的时间以及以限定的高功率在从脉冲到脉冲重复，该高功率是峰值功率，其超过了rf产生器的连续波最大功率。因此，由rf产生器产生rf波形的侧向“t”形包络，其不仅有助于点火，而且减小了离子角分布并增加了峰值离子能量，以允许高深宽比蚀刻。

脉冲的限定时间也可以在rf产生器处由rf产生器通过计算朝rf产生器反射的功率的反射系数以及减小速率来自动确定。通过计算朝rf产生器反射的功率的反射系数和减小速率，确定等离子体点火的发生并自动控制峰值。例如，减少峰值以使其停止。

在一些实施方案中，在脉冲的开始执行rf产生器的频率调谐，并且在脉冲的结束执行阻抗匹配调谐。因此，即使同时使用了频率调谐和阻抗匹配调谐，它们也保持彼此隔开(clear)，并且不会同时相互作用。通常，随着脉冲中时间的流逝，等离子体阻抗变得更加稳定。因此，如果阻抗匹配对出现峰值的脉冲的点火部分中的等离子体阻抗变化不可见，则阻抗匹配将看到相对稳定的等离子体阻抗，并且将能够对其进行调谐而不会带来太大麻烦。但是，每个脉冲的开始都会看到非常大的反射功率峰值，其如果足够高，则会导致rf产生器折回并且无法提供预期的功率。通过在脉冲开始时启用频率调谐并在匹配调谐开始之前将频率调谐为固定频率，将反射功率峰值降至最低。

在多种实施方案中，应用了针对频率调谐算法的以脉冲百分比表示的开始时间和停止时间。以此方式，rf产生器在脉冲开始后的一定持续时间后开始频率调谐，并在停止时间后停止。阻抗匹配具有以脉冲百分比表示的开始时间，其中阻抗匹配忽略了调谐该频率的脉冲百分比。在调谐rf产生器频率的停止时间之后，调谐阻抗匹配。

在一些实施方案中，将频率调谐设置为基于点火检测算法自动停止，该点火检测算法将查看反射系数和反射系数的导数，并基于每个的阈值确定何时点燃了等离子体。rf产生器与阻抗匹配进行通信，以便阻抗匹配在脉冲期间频率调谐结束后立即开始调谐。

在多种实施方案中，在每个脉冲内的不同时间段的脉冲期间启用频率调谐和匹配调谐。

本文描述的系统和方法的一些优点包括工艺空间的扩展。通过在调谐阻抗匹配之前调谐rf产生器的频率，可以创建新的工艺，否则其将因高反射功率而受到限制。

本文描述的系统和方法的附加优点包括系统功率效率的提高，系统功率效率具有环境和经济影响。频率调谐用于减小在等离子体室内点燃等离子体的点火阶段期间的反射功率。

该系统和方法的进一步优点包括延长rf产生器的寿命以缩短平均系统停机时间。由于rf产生器的故障而导致系统停机。通过在调谐阻抗匹配之前调谐频率，可以减少点火阶段期间的功率峰值，从而减少rf产生器发生故障的机会。

根据下文结合附图的详细说明，其他方面将变得清楚。

附图说明

参考下面结合附图的说明将最佳地了解本发明的实施方案。

图1a提供了曲线图的实施方案，其示出了在脉冲信号的工作周期的一部分期间对射频(rf)产生器的参数的调谐以及在工作周期的其余部分期间对阻抗匹配的调谐。

图1b示出了曲线图的实施方案，其示出了针对小于脉冲信号的工作周期的一半调谐rf产生器，而针对大于脉冲信号的工作周期的一半调谐阻抗匹配。

图1c示出了曲线图的实施方案，其示出了针对大于脉冲信号的工作周期的一半调谐rf产生器，而针对小于脉冲信号的工作周期的一半调谐阻抗匹配。

图2a示出了曲线图的实施方案，其示出了在脉冲信号的每个脉冲期间在调谐rf产生器之前针对脉冲信号的工作周期的一半调谐阻抗匹配。

图2b示出了曲线图的实施方案，其示出了在脉冲信号的每个脉冲期间在调谐rf产生器之前针对小于脉冲信号的工作周期的一半调谐阻抗匹配。

图2c示出了曲线图的实施方案，其示出了在脉冲信号的每个脉冲期间在调谐rf产生器之前针对大于脉冲信号的工作周期的一半调谐阻抗匹配。

图3a示出了曲线图的实施方案，其示出了在脉冲信号的工作周期的一半和脉冲信号关断的时间间隔的一半期间调谐阻抗匹配。

图3b示出了曲线图的实施方案，其示出了在脉冲信号的工作周期的一半和脉冲信号关断的时间间隔的一半期间调谐rf产生器。

图3c示出了曲线图的实施方案，其示出了在脉冲信号关断的时间间隔的一半期间调谐rf产生器，并且在脉冲信号关断的时间间隔的其余一半期间调谐阻抗匹配。

图3d示出了曲线图的实施方案，其示出了在脉冲信号关断的时间间隔的一半期间调谐阻抗匹配，并且在脉冲信号关断的时间间隔的其余一半期间调谐rf产生器。

图4示出了曲线图的实施方案，其示出了rf参数调谐信号和匹配调谐信号之间的非重叠。

图5a是系统的实施方案的图，其示出了脉冲信号、rf参数调谐信号和匹配调谐信号的产生。

图5b是系统的实施方案的图，其示出了阻抗匹配的逻辑电路，该逻辑电路用于施加匹配调谐信号以改变阻抗匹配的电路分量的变量。

图5c是系统的实施方案的图，其示出了逻辑电路从脉冲信号生成匹配调谐信号并且还从脉冲信号生成rf参数调谐信号。

图5d是系统的实施方案的示图，其示出了由阻抗匹配的逻辑电路从脉冲信号产生匹配调谐信号以及由rf产生器的数字信号处理器从脉冲信号产生rf参数调谐信号。

图5e是系统的实施方案的图，其示出了由rf产生器的数字信号处理器对电路部件进行调谐。

图5f是系统的实施方案的图，其示出了基于由逻辑电路从rf产生器的数字信号处理器接收到的脉冲信号来生成匹配调谐信号。

图5g是系统的实施方案的图，其示出了基于从rf产生器的数字信号处理器接收到的脉冲信号，由阻抗匹配的逻辑电路生成匹配调谐信号和rf参数调谐信号。

图5h是系统的实施方案的图，其示出了时间间隔的确定，针对该时间间隔调谐rf产生器以基于脉冲信号来调谐rf信号。

图5i是系统的实施方案的图，其示出了功率传感器与图5f的系统一起使用，其中不使用主计算机。

具体实施方式

下列的实施方案说明用于以非重叠方式施加频率和匹配调谐以处理衬底的系统和方法。应理解，可在缺乏这些特定细节的部分或全部的情况下实施本发明的实施方案。在其他情况下，不详细说明公知的处理操作以免不必要地使本发明的实施方案难以理解。

图1a提供了曲线图102、106、110和144的实施方案，以示出在脉冲信号104的工作周期(例如脉冲)的一部分期间对射频(rf)产生器的参数的调谐以及在工作周期的其余部分期间对阻抗匹配的调谐。参数的示例包括rf产生器的频率和功率或由rf产生器产生的rf信号的频率和功率。脉冲信号104的工作周期为约50％，例如在45％至55％之间的范围。脉冲信号104的工作周期在时间间隔期间发生，例如在时间间隔ta或时间间隔tc期间发生。曲线图102绘制了脉冲信号104的电平之间的过渡与时间t的关系。例如，脉冲信号104从诸如位1之类的高电平过渡为诸如位0之类的低电平。脉冲信号104在两种电平之间周期性地过渡。例如，在每个时钟周期期间，脉冲信号104从高电平过渡为低电平。脉冲信号的高电平在时间间隔ta内发生，脉冲信号的低电平在时间间隔tb内发生。时间间隔tb连续地跟随时间间隔ta。

脉冲信号104的每个不同的电平具有不同的状态。例如，脉冲信号104的高电平在时间间隔ta具有状态s1，而脉冲信号104的低电平在时间间隔tb具有状态s2。状态s1和s2周期性地重复，使得s2在状态s1之后出现预定时间段，并且状态s2在状态s1之后出现预定时间段。例如，状态s1在时间间隔tb之后再次重复。状态s1在时间间隔tc期间重复，时间间隔tc连续地跟随时间间隔tb。此外，状态s2在时间间隔tc之后再次重复。状态s2在时间间隔td期间重复，该时间间隔td连续地跟随时间间隔tc。

脉冲信号104在时间间隔ta期间具有高电平，并且在时间间隔tb期间具有低电平。此外，脉冲信号104在时间间隔tc期间具有高电平，并且在时间间隔td期间具有低电平。应该注意的是，每个时间间隔ta、tb、tc和td具有大致相同的时间长度。例如，每个时间间隔ta、tb、tc和td具有相同数量的时间单位，例如微秒或毫秒。时间间隔ta和tb形成一个时钟周期，时间间隔tc和td形成另一个时钟周期。

时间间隔ta被分成基本上相等的时间间隔t1和t2。例如，时间间隔ta被分成相等的时间间隔t1和t2。作为另一示例，时间间隔t1在时间间隔ta的45％至55％之间，并且时间间隔t2在时间间隔ta的45％至55％之间。类似地，时间间隔tc被分成基本上相等的时间间隔t3和t4。应当注意，时间间隔t1、t2、t3和t4中的每个基本相同。例如，每个时间间隔t1、t2、t3和t4具有相同数量的时间单位，例如微秒或毫秒。

在一些实施方案中，脉冲信号104是由时钟源(诸如由多个逻辑门制成的数字时钟振荡器)产生的数字时钟信号。数字时钟信号具有多个时钟周期，并且每个时钟周期具有工作周期，数字时钟信号在该工作周期而具有高电平。在多种实施方案中，数字时钟振荡器被集成在处理器中，例如在中央处理单元(cpu)、微处理器和专用集成电路(asic)或可编程逻辑器件(pld)中。

曲线图106绘制了rf产生器产生的rf功率与时间t的关系图。rf产生器产生rf信号108。rf信号108具有：在时间间隔ta具有功率电平p1的rf功率，以及在时间间隔tb具有近似零的功率电平。例如，rf信号108在时间间隔tb期间具有为零的功率电平或范围在p1的0％至10％之间的功率电平。状态s1期间的功率电平p1大于状态s2期间的rf信号108的功率电平。类似地，rf信号108在时间间隔tc期间具有功率电平p1，并且在时间间隔td期间具有近似零的功率电平。

曲线图110绘制了rf参数调谐信号112与时间t的关系。rf参数调谐信号112是数字脉冲信号，该数字脉冲信号指示调谐rf产生器的参数的时间间隔和不调谐参数的时间间隔。rf参数调谐信号112由产生脉冲信号102的同一数字时钟振荡器或另一数字时钟振荡器产生，以上提供了其示例。

rf参数调谐信号112在导通电平(例如位1)和关断电平(例如位0)之间周期性地过渡。例如，在过渡时间tr1期间，rf参数调谐信号112从从关断电平过渡到导通电平。在时间间隔t1期间，rf参数调谐信号112处于导通电平。此外，在过渡时间tr2期间，rf参数调谐信号112从导通电平过渡为关断电平。过渡时间tr2发生在时间间隔t1和时间间隔t2之间。类似地，过渡时间tr1出现在时间间隔t1和脉冲信号102的在时间间隔t1之前的时间间隔之间。这样，在时间间隔t1期间调谐参数。

在时间间隔t2期间，不调谐参数。此外，在时间间隔tb期间，不调谐参数。例如，在时间间隔t2和tb期间，rf参数调谐信号112处于关断电平。

在时间间隔t3期间，参数被调谐。例如，在过渡时间tr5期间，rf参数调谐信号112从关断电平过渡为导通电平。在时间间隔t3期间，rf参数调谐信号112处于导通电平。此外，在过渡时间tr6期间，rf参数调谐信号112从导通电平过渡为关断电平。过渡时间tr6发生在时间间隔t3和时间间隔t4之间。类似地，过渡时间tr5出现在时间间隔tb和时间间隔t3之间。这样，在时间间隔t3期间调谐参数。

在时间间隔t4期间，不调谐参数。此外，在时间间隔td期间，不调谐参数。例如，在时间间隔t4和td期间，rf参数调谐信号112处于关断电平。

rf参数调谐信号112在时间间隔ta、tb、tc和td期间周期性地重复。例如，rf参数调谐信号112在时间间隔t1期间具有导通电平，连续地在时间间隔t2和tb期间具有关断电平，进一步连续地在时间间隔t3期间具有导通电平，以及连续地在时间间隔t4和td期间具有关断电平。

曲线图114绘制了匹配调谐信号116与时间t的关系。匹配调谐信号116是数字脉冲信号，其指示在其间调谐阻抗匹配的变量(例如，电容或电感)的时间间隔和在其间不调谐阻抗匹配的变量的时间间隔。匹配调谐信号116由产生脉冲信号102的数字时钟振荡器或产生rf参数调谐信号112的数字时钟振荡器或另一数字时钟振荡器产生，上面提供了其示例。

匹配调谐信号116在导通电平和关断电平之间周期性地过渡。例如，匹配调谐信号116在时间间隔t1期间处于关断电平，并且在过渡时间tr3期间，匹配调谐信号116从关断电平过渡为导通电平。在时间间隔t2期间，匹配调谐信号116处于导通电平。此外，在过渡时间tr4期间，匹配调谐信号116从导通电平过渡为关断电平。过渡时间tr4发生在时间间隔t2和时间间隔tb之间。类似地，过渡时间tr3发生在时间间隔t1和时间间隔t2之间。这样，阻抗匹配的变量在时间间隔t2期间被调谐，而在时间间隔t1期间未被调谐。

在时间间隔tb期间，阻抗匹配的变量未被调谐。此外，在时间间隔t3期间，不调谐变量。例如，在时间间隔tb和t3期间，匹配调谐信号116处于关断电平。

在时间间隔t4期间，阻抗匹配的变量被调谐。例如，在过渡时间tr7期间，匹配调谐信号116从关断电平过渡为导通电平。在时间间隔t4期间，匹配调谐信号116处于导通电平。此外，在过渡时间tr8期间，匹配调谐信号116从导通电平过渡为关断电平。过渡时间tr8发生在时间间隔t4和时间间隔td之间。类似地，过渡时间tr7发生在时间间隔t3和时间间隔t4之间。这样，在时间间隔t4期间对变量进行了调谐。

在时间间隔td期间，阻抗匹配的变量未被调谐。例如，在时间间隔td期间，匹配调谐信号114处于关断电平。

当调谐rf产生器的参数时，不调谐阻抗匹配的变量，并且当调谐变量时，不调谐参数。例如，在时间间隔t1和t3期间，rf参数调谐信号112导通，例如处于导通电平。在时间间隔t1和t3中的每个期间，匹配调谐信号116关断，例如处于关断电平。此外，rf参数调谐信号112在时间间隔t2和t4期间关断。在时间间隔t2和t4中的每个期间，匹配调谐信号116导通。

匹配调谐信号116在时间间隔ta、tb、tc和td期间周期性地重复。例如，匹配调谐信号116在时间间隔t1期间具有关断电平，连续地在时间间隔t2期间具有导通电平，进一步连续地在时间间隔tb和tc期间具有关断电平，连续地在时间间隔t4期间具有导通电平，并且连续地在时间间隔td期间具有关断电平。

在一些实施方案中，在调谐信号处于导通电平的时间段期间，发生从调谐信号(例如，本文描述的rf参数调谐信号或匹配调谐信号)的关断电平到导通电平的过渡。举例而言，在时间间隔t1期间发生过渡tr1和tr2，并且在时间间隔t2期间发生过渡tr3和tr4。

图1b示出了曲线图102、曲线图106、曲线图118和曲线图122的实施方案，其示出了在不到脉冲信号104工作周期的一半调谐rf产生器，并且在大于脉冲信号104的工作周期的一半调谐阻抗匹配。曲线图118绘制了rf参数调谐信号120与时间t的关系。此外，曲线图122绘制了匹配调谐信号124与时间t的关系。除了在脉冲信号104的工作周期期间，rf参数调谐信号120在小于时间间隔t1的时间间隔处于导通电平并且在大于时间间隔t2的时间间隔处于关断电平，rf参数调谐信号120与图1a的rf参数调谐信号110相同。例如，在具有时间间隔ta的脉冲信号102的工作周期期间，rf参数调谐信号120在过渡时间从关断电平过渡到导通电平并且在小于时间间隔t1的时间间隔t5保持在导通电平。在保持在导通电平之后，rf参数调谐信号120在时间间隔t1结束之前的过渡时间从导通电平过渡到关断电平。在过渡到关断电平之后，rf参数调谐信号120在时间间隔t1的一部分期间、在时间间隔t2期间以及在时间间隔tb期间保持在关断电平。然后，rf参数调谐信号120在时间间隔tb结束时并且在过渡时间过渡到导通电平。rf参数调谐信号120在小于时间间隔t3的时间间隔t5保持在导通电平。然后，rf参数调谐信号120在过渡间隔t3结束之前的过渡时间从导通电平过渡为关断电平。rf参数调谐信号120在时间间隔t3的一部分、时间间隔t4和时间间隔td中保持在关断电平。这样，rf参数调谐信号120在时间间隔ta、tb、tc和td期间在导通电平和关断电平之间周期性地重复。

类似地，除了在脉冲信号104的每个工作周期期间，匹配调谐信号124在小于时间间隔t1的时间间隔处于关断电平并且在大于时间间隔t2的时间间隔具有导通电平，匹配调谐信号124与图1a的匹配调谐信号116相同。例如，在具有时间间隔ta的脉冲信号102的工作周期期间，匹配调谐信号124在时间间隔t1的一部分保持在关断电平。然后，匹配调谐信号124在从过渡时间从关断电平过渡到导通电平，并且在大于时间间隔t2的时间间隔t6保持在导通电平。在保持在导通电平之后，匹配调谐信号124在时间间隔t2结束时的过渡时间从导通电平过渡到关断电平。在过渡到关断电平之后，匹配调谐信号124在时间间隔tb期间以及在时间间隔t3的一部分期间保持在关断电平。然后，匹配调谐信号124在时间间隔t3结束之前的过渡时间过渡到的导通电平，并且在时间间隔t4保持在导通电平。这样，匹配调谐信号124在大于时间间隔t4的时间间隔t6保持在导通电平。然后，匹配调谐信号124在时间间隔t4结束时的过渡时间处从导通电平过渡为关断电平。匹配调谐信号124在时间间隔td保持在关断电平。这样，匹配调谐信号124在时间间隔ta、tb、tc和td期间在导通电平和关断电平之间周期性地重复。

应当注意，在时间间隔ta、tb和tc中的每个期间，rf参数调谐信号120在时间间隔t5处于导通电平，对于该时间间隔t5，信号124中的匹配处于关断电平。类似地，在时间间隔ta、tb和tc中的每个期间，rf参数调谐信号120在时间间隔t6处于关断电平，对于该时间间隔t6，信号124中的匹配处于导通电平。

在一些实施方案中，应注意，如本文所述，过渡时间是过渡时间间隔或过渡时间的时间段。

图1c示出了曲线图102、曲线图106、曲线图126和曲线图130的实施方案，其示出了在大于脉冲信号的工作周期的一半对rf产生器进行调谐，并且在小于脉冲信号的工作周期的一半对阻抗匹配进行调谐。曲线图126绘制了rf参数调谐信号128与时间t的关系。此外，曲线图130绘制了匹配调谐信号132与时间t的关系。除了在脉冲信号104的每个工作周期期间，rf参数调谐信号128在大于时间间隔t1的时间间隔处于导通电平并且在小于时间间隔t2的时间间隔具有关断电平，rf参数调谐信号128与图1a的rf参数调谐信号110相同。例如，在具有时间间隔ta的脉冲信号102的工作周期的开始处，rf参数调谐信号128在过渡时间从关断电平过渡到导通电平并且在大于时间间隔t1的时间间隔t6保持在导通电平。在保持在导通电平之后，rf参数调谐信号128在时间间隔t1结束之后并且在时间间隔t2结束之前的过渡时间从导通电平过渡到关断电平。在过渡到关断电平之后，rf参数调谐信号128在时间间隔t2的一部分期间以及在时间间隔tb期间保持在关断电平。然后，rf参数调谐信号128在时间间隔tc开始时的过渡时间过渡到导通电平。rf参数调谐信号128在大于时间间隔t3的时间间隔t6保持在导通电平。然后，rf参数调谐信号128在时间间隔t3之后的过渡时间从导通电平过渡为关断电平。rf参数调谐信号120在时间间隔t4的一部分和时间间隔td保持在关断电平。这样，rf参数调谐信号128在时间间隔ta、tb、tc和td期间在导通电平和关断电平之间周期性地重复。

类似地，匹配调谐信号132与图1a的匹配调谐信号116相同，除了匹配调谐信号132在大于时间间隔t1的时间间隔处于关断电平并且在小于时间间隔t2的时间间隔具有导通电平的信号。例如，在脉冲信号102的具有时间间隔ta的工作周期期间，匹配调谐信号132在大于时间间隔t1的时间间隔保持在关断电平。然后，在时间间隔t2期间，匹配调谐信号124在过渡时间从关断电平过渡到导通电平，并且在小于时间间隔t2的时间间隔t5保持在导通电平。在保持在导通电平之后，匹配调谐信号132在时间间隔t2结束时的过渡时间从导通电平过渡到关断电平。在过渡到关断电平之后，匹配调谐信号132在时间间隔tb、时间间隔t3期间以及在时间间隔t4的一部分期间保持在关断电平。然后，匹配调谐信号132在时间间隔t4结束之前的时间间隔t4期间并且在过渡时间处从关断电平过渡到的导通电平。匹配调谐信号132在时间间隔t5保持在导通电平。然后，匹配调谐信号132在时间间隔t4结束时的过渡时间从导通电平过渡为关断电平。匹配调谐信号132在时间间隔td保持在关断电平。这样，匹配调谐信号132在时间间隔ta、tb、tc和td期间在导通电平和关断电平之间周期性地重复。

应当注意，在时间间隔ta、tb和tc中的每个期间，rf参数调谐信号128在让信号132中的匹配处于关断电平的时间间隔t6处于导通电平。类似地，在时间间隔ta、tb和tc中的每个期间，rf参数调谐信号128在让匹配调谐信号132处于导通电平的时间间隔t5处于关断电平。

图2a示出了曲线图102、曲线图106、曲线图202和曲线图206的实施方案，其示出了在脉冲信号104的每个脉冲期间调谐rf产生器之前，在脉冲信号104的工作周期的一半调谐阻抗匹配。曲线图202绘制了rf参数调谐信号204与时间t的关系。此外，曲线图206绘制了匹配调谐信号208与时间t的关系。除了rf参数调谐信号208在时间间隔t1期间处于关断电平，在时间间隔t2期间处于导通电平，在时间间隔t3中处于关断电平，并且在时间间隔t4中处于导通电平，rf参数调谐信号204与图1a的rf参数调谐信号112相同。例如，rf参数调谐信号208在过渡时间tr3从关断电平过渡为导通电平，在时间间隔t2保持在导通电平，并且在过渡时间tr4从导通电平过渡为关断电平。rf参数调谐信号208在时间间隔tb和时间间隔t3期间保持关断电平，然后在过渡时间tr7从关断电平过渡为导通电平。rf参数调谐信号208在时间间隔t4期间保持在导通电平，在过渡时间tr8从导通电平过渡为关断电平，并且在时间间隔td保持在关断电平。

类似地，除了匹配调谐信号204在时间间隔t1期间处于导通电平，在时间间隔t2期间处于关断电平，在时间间隔t3期间处于导通电平，并且在时间间隔t4期间处于关断电平之外，匹配调谐信号204与图1a的匹配调谐信号116相同。例如，匹配调谐信号204在过渡时间tr1从关断电平过渡为导通电平，在时间间隔t1保持在导通电平，并且在过渡时间tr2从导通电平过渡为关断电平。匹配调谐信号204在时间间隔t3和时间间隔tb期间保持关断电平，然后在过渡时间tr5从关断电平过渡为导通电平。匹配调谐信号204在时间间隔t3期间保持在导通电平，在过渡时间tr6从导通电平过渡为关断电平，并且在时间间隔t4和td期间保持在关断电平。

应该注意的是，在时间间隔ta期间，rf参数调谐信号208在让信号204中的匹配处于导通电平的时间间隔t1处于关断电平。类似地，在时间间隔ta期间，rf参数调谐信号208在让匹配调谐信号132处于关断电平的时间间隔t2处于导通电平。此外，应当注意，在时间间隔tc期间，rf参数调谐信号208在让信号204中的匹配处于导通电平的时间间隔t3处于关断电平。类似地，在时间间隔tc期间，rf参数调谐信号208在让匹配调谐信号132处于关断电平的时间间隔t4处于导通电平。

图2b示出了曲线图102、曲线图106、曲线图210和曲线图214的实施方案，其示出了在脉冲信号104的每个脉冲期间调谐rf产生器之前，在小于脉冲信号104的工作周期的一半调谐阻抗匹配。曲线图210绘制了匹配调谐信号212与时间t的关系。此外，曲线图214绘制了rf参数调谐信号214与时间t的关系。除了在时间间隔t5期间，匹配调谐信号212处于导通电平，并且在时间间隔t6期间，匹配调谐信号212处于关断电平，匹配调谐信号212与图1b的匹配调谐信号124相同。例如，在脉冲信号102的具有时间间隔ta的工作周期的开始，匹配调谐信号212在过渡时间从关断电平过渡到导通电平，并且在小于时间间隔t1的时间间隔t5保留在导通电平。在保持在导通电平之后，匹配调谐信号212在时间间隔t1结束之前的过渡时间从导通电平过渡到关断电平。在过渡到关断电平之后，匹配调谐信号212在时间间隔t1的一部分期间、在时间间隔t2期间以及在时间间隔tb期间保留在关断电平。匹配调谐信号212然后在时间间隔tb结束时的过渡时间过渡到导通电平。匹配调谐信号212在小于时间间隔t3的时间间隔t5保持在导通电平。匹配调谐信号212然后在时间间隔t4开始之前的过渡时间从导通电平过渡为关断电平。匹配调谐信号212在过渡间隔t3结束之前的过渡时间从导通电平过渡为关断电平。匹配调谐信号212在时间间隔t3的一部分、时间间隔t4和时间间隔td保留在关断电平。这样，匹配调谐信号212在时间间隔ta、tb、tc和td期间在导通电平和关断电平之间周期性地重复。

类似地，除了在脉冲信号104的每个工作周期期间，rf参数调谐信号216在小于时间间隔t1的时间间隔处于关断电平并且在大于时间间隔t2的时间间隔具有导通电平之外，rf参数调谐信号216与图1b的rf参数调谐信号120相同。例如，在具有时间间隔ta的脉冲信号104的工作周期期间，rf参数调谐信号216在时间间隔t1的一部分(例如时间间隔t5)保持在关断电平。然后，rf参数调谐信号216在过渡时间从关断电平过渡到导通电平，并且在大于时间间隔t2的时间间隔t6保留在导通电平。在保持在导通电平之后，rf参数调谐信号216在时间间隔t2结束时的过渡时间从导通电平过渡到关断电平。在过渡到关断电平之后，rf参数调谐信号216在时间间隔t2期间以及在时间间隔t3的一部分期间保留在关断电平。时间间隔t3的让rf参数调谐信号216处于关断电平的部分是t5。然后，rf参数调谐信号216在时间间隔t3结束之前的时间间隔t3期间的过渡时间过渡到导通电平。rf参数调谐信号216在大于时间间隔t4的时间间隔t6保持在导通电平。然后，rf参数调谐信号216在时间间隔t4结束时的过渡时间从导通电平过渡为关断电平。rf参数调谐信号216在时间间隔td保留在关断电平。这样，rf参数调谐信号216在时间间隔ta、tb、tc和td期间在导通电平和关断电平之间周期性地重复。

应当注意，在时间间隔ta、tb和tc中的每个期间，rf参数调谐信号216在让匹配调谐信号212处于关断电平的时间间隔t6处于导通电平。类似地，在时间间隔ta、tb和tc中的每个期间，rf参数调谐信号216在让匹配调谐信号212处于导通电平的时间间隔t5处于关断电平。

图2c示出了曲线图102、曲线图106、曲线图218和曲线图222的实施方案，其示出了在脉冲信号104的每个脉冲期间调谐rf产生器之前，在大于脉冲信号104的工作周期的一半调谐阻抗匹配。曲线图218绘制了匹配调谐信号220与时间t的关系。此外，曲线图222绘制了rf参数调谐信号224与时间t的关系。除了在时间间隔t6期间，匹配调谐信号220处于导通电平，并且在时间间隔t5期间，匹配调谐信号220处于关断电平，匹配调谐信号220与图1c的匹配调谐信号132相同。例如，在脉冲信号102的具有时间间隔ta的工作周期的开始，匹配调谐信号220在过渡时间从关断电平过渡到导通电平，并且在大于时间间隔t1的时间间隔t6保留在导通电平。在保持在导通电平之后，匹配调谐信号220在时间间隔t1之后的过渡时间从导通电平过渡到关断电平。在过渡到关断电平之后，匹配调谐信号220在时间间隔t2的一部分期间以及在时间间隔tb期间保留在关断电平。匹配调谐信号220然后在时间间隔tc开始时的过渡时间过渡到导通电平。匹配调谐信号220在大于时间间隔t3的时间间隔t6保持在导通电平。匹配调谐信号220然后在时间间隔t3开始之后的过渡时间从导通电平过渡为关断电平。匹配调谐信号220在时间间隔t4的一部分和时间间隔td保留在关断电平。这样，匹配调谐信号220在时间间隔ta、tb、tc和td期间在导通电平和关断电平之间周期性地重复。

类似地，除了在时间间隔t6期间，rf参数调谐信号224处于关断电平，并且在时间间隔t5期间，rf参数调谐信号224处于导通电平之外，rf参数调谐信号224与图1c的rf参数调谐信号128相同。例如，在脉冲信号102的具有时间间隔ta的工作周期期间，rf参数调谐信号224在大于时间间隔t1的时间间隔以及在时间间隔t2的一部分保持在关断电平。然后，在时间间隔t2期间并且在时间间隔t2的结束之前，rf参数调谐信号224在过渡时间从关断电平过渡到导通电平，并且在小于时间间隔t2的时间间隔t5保留在导通电平。在保持在导通电平之后，rf参数调谐信号224在时间间隔t2结束时的过渡时间从导通电平过渡到关断电平。在过渡到关断电平之后，rf参数调谐信号224在时间间隔tb、时间间隔t3期间以及在时间间隔t4的一部分期间保留在关断电平。rf参数调谐信号224在时间间隔t4结束之前的时间间隔t4期间的过渡时间从关断电平过渡到导通电平。rf参数调谐信号224在时间间隔t5保持在导通电平。然后，rf参数调谐信号224在时间间隔t4结束时的过渡时间从导通电平过渡为关断电平。rf参数调谐信号224在时间间隔td保留在关断电平。这样，rf参数调谐信号224在时间间隔ta、tb、tc和td期间在导通电平和关断电平之间周期性地过渡。

应当注意，在时间间隔ta、tb和tc中的每个期间，rf参数调谐信号224在让匹配调谐信号212处于关断电平的时间间隔t5处于导通电平。类似地，在时间间隔ta、tb和tc中的每个期间，rf参数调谐信号224在让匹配调谐信号220处于导通电平的时间间隔t6处于关断电平。

图3a示出了曲线图102、曲线图302、曲线图306和曲线图310的实施方案，其示出了在脉冲信号104的工作周期的一半和让脉冲信号104关断的时间间隔的一半期间调谐阻抗匹配。脉冲信号102的时间间隔tb基本上均等地分成两个时间间隔t7和t8。例如，时间间隔t7具有与时间间隔t8大致相同的时间单位数。举例而言，时间间隔t7的长度在时间间隔t8的长度的90％到100％之内。作为另一示例，时间间隔t7具有与时间间隔t8相同的时间单位数。类似地，脉冲信号102的时间间隔td基本上均等地分成两个时间间隔t9和t10。例如，时间间隔t9具有与时间间隔t10大致相同的时间单位数。举例而言，时间间隔t9的长度在时间间隔t10的长度的90％到100％之内。作为另一示例，时间间隔t9具有与时间间隔t10相同的时间单位数。

时间间隔t2连续跟随时间间隔t1，并且时间间隔t7连续跟随时间间隔t2。此外，时间间隔t8连续地跟随时间间隔t7。而且，时间间隔t3连续地跟随时间间隔t8。时间间隔t4连续地跟随时间间隔t3。此外，时间间隔t9连续地跟随时间间隔t4。时间间隔t10连续地跟随时间间隔t9。

曲线图302绘制了由rf产生器产生的rf信号304的rf功率与时间t的关系图。rf信号304在时间间隔ta期间具有功率电平p1，并且在时间间隔tb期间具有功率电平p2。例如，rf信号304具有大于零且小于功率电平p1的功率电平p2。类似地，rf信号108在时间间隔tc期间具有功率电平p1，并且在时间间隔td期间具有功率电平p2。除了rf信号304在时间间隔tb和td期间具有功率电平p2而不是近似零的功率电平之外，rf信号304与图1a-2c的rf信号108相同。

功率电平p1大于功率电平p2。例如，功率电平p1的值为2000瓦，而功率电平p2的值为400瓦。作为另一个示例，p1的功率电平的值为1000瓦，而p2的功率电平的值为300瓦。

此外，曲线图306绘制了用于调谐rf信号304的rf参数调谐信号308与时间t的关系图。rf参数调谐信号308是数字脉冲信号，其指示期间rf产生器的参数被调谐的时间间隔和期间参数不被调谐的时间间隔。rf参数调谐信号308由产生脉冲信号102的同一数字时钟振荡器或另一数字时钟振荡器产生，以上提供了其示例。

rf参数调谐信号308在时间间隔t1的开始时在过渡时间从关断电平过渡到导通电平，并在时间间隔t1保留在导通电平。rf参数调谐信号308在时间间隔t1结束时在过渡时间从导通电平过渡到关断电平，并且在时间间隔t2和时间间隔t7期间保留在关断电平。rf参数调谐信号308在时间间隔t8的开始时在过渡时间从关断电平过渡到导通电平，并且在时间间隔t8和t3保留在导通电平。rf参数调谐信号308在时间间隔t3结束时在过渡时间从导通电平过渡到关断电平，并且在时间间隔t4和t9保留在关断电平。rf参数调谐信号308在时间间隔t9结束时从关断电平过渡为导通电平，并且在时间间隔t10保留在导通电平。这样，rf参数调谐信号308在时间间隔ta、tb、tc和td期间在导通电平和关断电平之间周期性地过渡。

此外，曲线图310绘制了匹配调谐信号312与时间t的关系图。匹配调谐信号312是数字脉冲信号，该数字脉冲信号指示期间调谐阻抗匹配的变量的时间间隔和期间不调谐阻抗匹配的变量的时间间隔。匹配调谐信号312由产生脉冲信号102的数字时钟振荡器或产生rf参数调谐信号308的数字时钟振荡器或另一数字时钟振荡器产生，以上提供了其示例。

在时间间隔t1期间，匹配调谐信号312处于关断电平。匹配调谐信号312在时间间隔t2开始时在过渡时间从关断电平过渡到导通电平，并且在时间间隔t2和t7保留在导通电平。匹配调谐信号312在时间间隔t7结束时在过渡时间从导通电平过渡到关断电平，并且在时间间隔t8和t3期间保留在关断电平。匹配调谐信号312在时间间隔t4开始时在过渡时间从关断电平过渡到导通电平，并且在时间间隔t4和t9保留在导通电平。匹配调谐信号312在时间间隔t9结束时从导通电平过渡为关断电平，并且在时间间隔t10保留在关断电平。这样，匹配调谐信号312在时间间隔ta、tb、tc和td期间在导通电平和关断电平之间周期性地过渡。

因此，当rf参数调谐信号308处于导通电平时，匹配调谐信号312处于关断电平，并且当rf参数调谐信号308处于关断电平时，匹配调谐信号312处于导通电平。例如，在时间间隔t1、t8、t3和t10期间，rf参数调谐信号308处于导通电平，并且匹配调谐信号312处于关断电平。此外，在时间间隔t2、t7、t4和t9期间，rf参数调谐信号308处于关断电平，并且匹配调谐信号312处于导通电平。

图3b示出了曲线图102、曲线图302、曲线图314和曲线图318的实施方案，其示出了在脉冲信号104的工作周期的一半和让脉冲信号104关断的时间间隔的一半期间调谐rf产生器。曲线图314绘制了匹配调谐信号316与时间t的关系图，并且曲线图318绘制了rf参数调谐信号320与时间t的关系图。

除了当匹配调谐信号312处于关断电平时，匹配调谐信号316处于导通电平，并且当匹配调谐信号312处于导通电平时，匹配调谐信号316处于关断电平之外，匹配调谐信号316以与图3a的匹配调谐信号312相同的方式生成。例如，匹配调谐信号316在时间间隔t1开始时在过渡时间从关断电平过渡到导通电平，并且在时间间隔t1保留在导通电平。匹配调谐信号316在时间间隔t1结束时在过渡时间从导通电平过渡到关断电平，并且在时间间隔t1和时间间隔t7期间保持在关断电平。匹配调谐信号316在时间间隔t8开始时在过渡时间从关断电平过渡到导通电平，并且在时间间隔t8和t3保留在导通电平。匹配调谐信号316在时间间隔t3结束时在过渡时间从导通电平过渡到关断电平，并且在时间间隔t4和t9保留在关断电平。匹配调谐信号316在时间间隔t9结束时从关断电平过渡为导通电平，并且在时间间隔t10保留在导通电平。这样，匹配调谐信号316在时间间隔ta、tb、tc和td期间在导通电平和关断电平之间周期性地过渡。

类似地，除了当rf参数调谐信号308处于关断电平时，rf参数调谐信号320处于导通电平，并且当rf参数调谐信号308处于导通电平时，rf参数调谐信号320处于关断电平之外，rf参数调谐信号320以与图3a的rf参数调谐信号308相同的方式生成。例如，rf参数调谐信号320在时间间隔t1期间处于关断电平。rf参数调谐信号320在时间间隔t2开始时在过渡时间从关断电平过渡到导通电平，并且在时间间隔t2和t7保留在导通电平。rf参数调谐信号320在时间间隔t7结束时在过渡时间从导通电平过渡到关断电平，并且在时间间隔t8和t3期间保留在关断电平。rf参数调谐信号320在时间间隔t4开始时在过渡时间从关断电平过渡到导通电平，并且在时间间隔t4和t9保留在导通电平。rf参数调谐信号320在时间间隔t9结束时从导通电平过渡为关断电平，并且在时间间隔t10保留在关断电平。这样，rf参数调谐信号320在时间间隔ta、tb、tc和td期间在导通电平和关断电平之间周期性地过渡。

因此，当rf参数调谐信号316处于导通电平时，匹配调谐信号320处于关断电平，并且当rf参数调谐信号316处于关断电平时，匹配调谐信号320处于导通电平。例如，在时间间隔t1、t8、t3和t10期间，匹配调谐信号320处于导通电平，并且rf参数调谐信号316处于关断电平。此外，在时间间隔t2、t7、t4和t9期间，匹配调谐信号320处于关断电平，并且rf参数调谐信号316处于导通电平。

图3c示出了曲线图102、曲线图302、曲线图322和曲线图326的实施方案，其示出了在让脉冲信号104关断的时间间隔的一半期间调谐rf产生器，并且让脉冲信号104关断的时间间隔的其余一半期间调谐阻抗匹配。曲线图322绘制了rf参数调谐信号324与时间t的关系图，而曲线图326绘制了匹配调谐信号328与时间t的关系图。

rf参数调谐信号324是数字脉冲信号，该数字脉冲信号指示期间调谐rf产生器的参数的时间间隔和期间不调谐该参数的时间间隔。rf参数调谐信号324由产生脉冲信号102的同一数字时钟振荡器或另一数字时钟振荡器产生，以上提供了其示例。

rf参数调谐信号324在时间间隔t1开始时在过渡时间从关断电平过渡到导通电平，并且在时间间隔t1保留在导通电平。在时间间隔t1结束时，rf参数调谐信号324在过渡时间从导通电平过渡到关断电平，并且在时间间隔t2保留在关断电平。此外，在时间间隔t2结束时，rf参数调谐信号324在过渡时间从关断电平过渡到导通电平，并且在时间间隔t7保留在导通电平。而且，在时间间隔t7结束时，rf参数调谐信号324在过渡时间从导通电平过渡到关断电平，并且在时间间隔t8保留在关断电平。在时间间隔t8结束时，rf参数调谐信号320从关断电平过渡为导通电平，并且在时间间隔t3保留在导通电平。此外，在时间间隔t3结束时，rf参数调谐信号320从导通电平过渡为关断电平，并且在时间间隔t4保留在关断电平。在时间间隔t4结束时，rf参数调谐信号320从关断电平过渡为导通电平，并且在时间间隔t9保留在导通电平。在时间间隔t9结束时，rf参数调谐信号320从导通电平过渡为关断电平，并且在时间间隔t10保留在关断电平。在时间间隔t10结束时，rf参数调谐信号320从关断电平过渡为导通电平。

匹配调谐信号328是数字脉冲信号，该数字脉冲信号指示在其期间调谐阻抗匹配的变量的时间间隔和在其期间不调谐阻抗匹配的变量的时间间隔。匹配调谐信号328由产生脉冲信号102的数字时钟振荡器或产生rf参数调谐信号324的数字时钟振荡器或另一数字时钟振荡器产生，以上提供了其示例。

匹配调谐信号328在时间间隔t1开始时在过渡时间从导通电平过渡到关断电平，并在时间间隔t1保留在关断电平。在时间间隔t1结束时，匹配调谐信号328在过渡时间从关断电平过渡到导通电平，并且在时间间隔t2保留在导通电平。此外，在时间间隔t2结束时，匹配调谐信号328在过渡时间从导通电平过渡到关断电平，并且在时间间隔t7保留在关断电平。而且，在时间间隔t7结束时，匹配调谐信号328在过渡时间从关断电平过渡到导通电平，并且在时间间隔t8保留在导通电平。在时间间隔t8结束时，匹配调谐信号328从导通电平过渡为关断电平，并且在时间间隔t3内保留在关断电平。此外，在时间间隔t3结束时，匹配调谐信号328从导通电平过渡为导通电平，并且在时间间隔t4内保留在导通电平。在时间间隔t4结束时，匹配调谐信号328从导通电平过渡为关断电平，并且在时间间隔t9保留在关断电平。在时间间隔t9结束时，匹配调谐信号328从关断电平过渡为导通电平，并且在时间间隔t10内保留在导通电平。在时间间隔t10结束时，匹配调谐信号328从导通电平过渡为关断电平。

因此，当rf参数调谐信号324处于导通电平时，匹配调谐信号328处于关断电平，并且当rf参数调谐信号324处于关断电平时，匹配调谐信号328处于导通电平。例如，在时间间隔t2、t8、t4和t10期间，匹配调谐信号328处于导通电平，并且rf参数调谐信号324处于关断电平。此外，在时间间隔t1、t7、t3和t9期间，匹配调谐信号328处于关断电平，并且rf参数调谐信号324处于导通电平。

图3d示出了曲线图102、曲线图302、曲线图330和曲线图334的实施方案，其示出了在让脉冲信号104关断的时间间隔的一半期间调谐阻抗匹配，并且在让脉冲信号104关断的时间间隔的其余一半期间调谐rf产生器。曲线图330绘制了rf参数调谐信号332与时间t的关系图，而曲线图334绘制了匹配调谐信号336与时间t的关系图。

匹配调谐信号336与图3c的匹配调谐信号328相同，除了当匹配调谐信号328处于关断电平时，匹配调谐信号336处于导通电平，并且当匹配调谐信号328处于导通电平时，匹配调谐信号336处于关断电平。例如，匹配调谐信号336在时间间隔t1开始时在过渡时间从关断电平过渡到导通电平，并且在时间间隔t1保留在导通电平。在时间间隔t1结束时，匹配调谐信号336在过渡时间从导通电平过渡到关断电平，并且在时间间隔t2保留在关断电平。此外，在时间间隔t2结束时，匹配调谐信号336在过渡时间从关断电平过渡到导通电平，并且在时间间隔t7保留在导通电平。而且，在时间间隔t7结束时，匹配调谐信号336在过渡时间从导通电平过渡到关断电平，并且在时间间隔t8保留在关断电平。在时间间隔t8结束时，匹配调谐信号336从关断电平过渡为导通电平，并且在时间间隔t3保留在导通电平。此外，在时间间隔t3结束时，匹配调谐信号336从导通电平过渡为关断电平，并且在时间间隔t4保留在关断电平。在时间间隔t4结束时，匹配调谐信号336从关断电平过渡为导通电平，并且在时间间隔t9保留在导通电平。在时间间隔t9结束时，匹配调谐信号336从导通电平过渡为关断电平，并且在时间间隔t10保留在关断电平。在时间间隔t10结束时，匹配调谐信号336从关断电平过渡为导通电平。

rf参数调谐信号336与图3c的rf参数调谐信号324相同，除了当rf参数调谐信号324处于关断电平时，参数调谐信号336处于导通电平，并且当rf参数调谐信号324处于导通电平时，rf参数调谐信号336处于关断电平。例如，rf参数调谐信号336在时间间隔t1开始时在过渡时间从导通电平过渡到关断电平，并在时间间隔t1保留在关断电平。在时间间隔t1结束时，rf参数调谐信号336在过渡时间从关断电平过渡到导通电平，并且在时间间隔t2保留在导通电平。此外，在时间间隔t2结束时，rf参数调谐信号336在过渡时间从导通电平过渡到关断电平，并且在时间间隔t7保留在关断电平。而且，在时间间隔t7结束时，rf参数调谐信号336在过渡时间从关断电平过渡到导通电平，并且在时间间隔t8保留在导通电平。在时间间隔t8结束时，rf参数调谐信号336从导通电平过渡为关断电平，并且在时间间隔t3保留在关断电平。此外，在时间间隔t3结束时，rf参数调谐信号336从关断电平过渡为导通电平，并且在时间间隔t4内保留在导通电平。在时间间隔t4结束时，rf参数调谐信号336从导通电平过渡为关断电平，并且在时间间隔t9保留在关断电平。在时间间隔t9结束时，rf参数调谐信号336从关断电平过渡为导通电平，并且在时间间隔t10内保留在导通电平。在时间间隔t10结束时，rf参数调谐信号336从导通电平过渡为关断电平。

这样，当rf参数调谐信号336处于导通电平时，匹配调谐信号332处于关断电平，并且当rf参数调谐信号336处于关断电平时，匹配调谐信号332处于导通电平。例如，在时间间隔t2、t8、t4和t10期间，匹配调谐信号332处于关断电平，并且rf参数调谐信号336处于导通电平。此外，在时间间隔t1、t7、t3和t9期间，匹配调谐信号332处于导通电平，并且rf参数调谐信号336处于关断电平。

图4示出了曲线图402和曲线图406的实施方案，其示出了rf参数调谐信号404和匹配调谐信号408之间的非重叠。曲线图402绘制了rf参数调谐信号404与时间t的关系，而曲线图406绘制了匹配调谐信号408与时间t的关系。rf参数调谐信号404是由产生脉冲信号102(图1a-2c)的同一数字时钟振荡器或另一数字时钟振荡器产生的数字脉冲信号，其示例在上面提供。rf参数调谐信号404提供了在其期间调谐rf产生器的参数以调谐rf信号108(图1a-2c)或rf信号308(图3a-3d)的参数的时间间隔和在其期间不调谐rf产生器的时间间隔。类似地，匹配调谐信号408是数字脉冲信号，该数字脉冲信号指示在其期间调谐阻抗匹配的变量的时间间隔和在其期间不调谐阻抗匹配的变量的时间间隔。匹配调谐信号328由产生脉冲信号102的数字时钟振荡器或产生rf参数调谐信号404的数字时钟振荡器或另一数字时钟振荡器产生，上文提供了其示例。

使用rf参数调谐信号404进行rf产生器的调谐与使用匹配调谐信号408进行阻抗匹配的调谐之间存在间隙。例如，rf参数调谐信号404在过渡时间间隔从关断电平过渡为导通电平，并且在时间间隔t1的一部分保持在导通电平。rf参数调谐信号404的从关断电平到导通电平的过渡时间间隔发生在时间间隔t1的前一半的一部分期间。在时间间隔t1结束之前，例如在时间间隔t1中的间隙g1之前，rf参数调谐信号404在过渡时间间隔从导通电平过渡到关断电平，并且在间隙g1和时间间隔t2期间保持在关断电平。rf参数调谐信号404的从导通电平到关断电平的过渡时间间隔发生在时间间隔t1的后一半的一部分期间。应当注意，间隙g1是时间间隔t1的后一半的一部分。

类似地，rf参数调谐信号404在过渡时间间隔从关断电平过渡到导通电平，并且在时间间隔t7的一部分中保持在导通电平。rf参数调谐信号404的从关断电平到导通电平的过渡时间间隔发生在时间间隔t7的前一半的一部分期间。在时间间隔t7结束之前，例如在时间间隔t7中的间隙g3之前，rf参数调谐信号404在过渡时间间隔从导通电平过渡到关断电平，并在间隙g3和时间间隔t8期间保持在关断电平。rf参数调谐信号404的从导通电平到关断电平的过渡时间间隔发生在时间间隔t7的后一半的一部分期间。应当注意，间隙g3是时间间隔t7的后一半的一部分。

此外，rf参数调谐信号404在过渡时间间隔从关断电平过渡到导通电平，并且在时间间隔t3的一部分中保持在导通电平。rf参数调谐信号404的从关断电平到导通电平的过渡时间间隔发生在时间间隔t3的前一半的一部分期间。在时间间隔t3结束之前，例如在时间间隔t3中的间隙g5之前，rf参数调谐信号404在过渡时间间隔从导通电平过渡到关断电平，并在间隙g5和时间间隔t4期间保持在关断电平。rf参数调谐信号404的从导通电平到关断电平的过渡时间间隔发生在时间间隔t3的后一半的一部分期间。应当注意，间隙g5是时间间隔t3的后一半的一部分。

另外，rf参数调谐信号404在过渡时间间隔从关断电平过渡到导通电平，并且在时间间隔t9的一部分中保持在导通电平。rf参数调谐信号404的从关断电平到导通电平的过渡时间间隔发生在时间间隔t9的前一半的一部分期间。在时间间隔t9结束之前，例如在时间间隔t9中的间隙g7之前，rf参数调谐信号404在过渡时间间隔从导通电平过渡到关断电平，并在间隙g7和时间间隔t10期间保持在关断电平。rf参数调谐信号404的从导通电平到关断电平的过渡时间间隔发生在时间间隔t9的后一半的一部分期间。应当注意，间隙g7是时间间隔t9的后一半的一部分。

作为另一示例，匹配调谐信号408在时间间隔t1处于关断电平，并且在过渡时间间隔从关断电平过渡到导通电平，并且在时间间隔t2的一部分中保持在导通电平。匹配调谐信号408的从关断电平到导通电平的过渡时间间隔发生在时间间隔t2的前一半的一部分期间。在时间间隔t2结束之前，例如在时间间隔t2中的间隙g2之前，匹配调谐信号408在过渡时间间隔从导通电平过渡到关断电平，并在间隙g2和时间间隔t7期间保持在关断电平。匹配调谐信号408的从导通电平到关断电平的过渡时间间隔发生在时间间隔t2的后一半的一部分期间。应当注意，间隙g2是时间间隔t2的后一半的一部分。

此外，匹配调谐信号408在过渡时间间隔从关断电平过渡到导通电平，并且在时间间隔t8的一部分中保持在导通电平。匹配调谐信号408的从关断电平到导通电平的过渡时间间隔发生在时间间隔t8的前一半的一部分期间。在时间间隔t8结束之前，例如在时间间隔t8中的间隙g4之前，匹配调谐信号408在过渡时间间隔从导通电平过渡到关断电平，并在间隙g4和时间间隔t3期间保持在关断电平。匹配调谐信号408的从导通电平到关断电平的过渡时间间隔发生在时间间隔t8的后一半的一部分期间。应当注意，间隙g4是时间间隔t8的后一半的一部分。

另外，匹配调谐信号408在过渡时间间隔从关断电平过渡到导通电平，并且在时间间隔t4的一部分中保持在导通电平。匹配调谐信号408的从关断电平到导通电平的过渡时间间隔发生在时间间隔t4的前一半的一部分期间。在时间间隔t4结束之前，例如在时间间隔t4中的间隙g6之前，匹配调谐信号408在过渡时间间隔从导通电平过渡到关断电平，并在间隙g6和时间间隔t9期间保持在关断电平。匹配调谐信号408的从导通电平到关断电平的过渡时间间隔发生在时间间隔t4的后一半的一部分期间。应当注意，间隙g6是时间间隔t4的后一半的一部分。

此外，匹配调谐信号408在过渡时间间隔从关断电平过渡到导通电平，并且在时间间隔t10的一部分中保持在导通电平。匹配调谐信号408的从关断电平到导通电平的过渡时间间隔发生在时间间隔t10的前一半的一部分期间。在时间间隔t10结束之前，例如在时间间隔t10中的间隙g8之前，匹配调谐信号408在过渡时间间隔从导通电平过渡到关断电平，并在间隙g6和连续地跟随时间间隔t10的时间间隔期间保持在关断电平。匹配调谐信号408的从导通电平到关断电平的过渡时间间隔发生在时间间隔t10的后一半的一部分期间。应当注意，间隙g8是时间间隔t10的后一半的一部分。

这样，rf参数调谐信号404和匹配调谐信号408交替地在导通电平和关断电平之间过渡，其中在rf参数调谐信号404的从导通电平到关断电平的过渡和匹配调谐信号408的从关断电平到导通电平的过渡之间存在间隙以及在匹配调谐信号408从导通电平到关断电平的过渡与rf参数调谐信号404的从关断电平到导通电平的过渡之间存在间隙。

在多种实施方案中，每个间隙g1到g8的时间长度占据时间间隔t1到t10中的对应时间间隔的一半(例如后一半)以上。例如，间隙g1具有以时间为单位测量的长度，该长度占据时间间隔t1的比时间间隔t1的一半大于的一部分。

应该注意的是，如本文所述，rf信号的功率电平是rf信号的包络或峰-峰幅值。例如，rf信号是正弦信号并且具有峰-峰幅值。还应该注意的是，当匹配调谐信号处于导通电平时，调谐阻抗匹配的变量，而当匹配调谐信号处于关断电平时，不调谐阻抗匹配的变量。类似地，当rf参数调谐信号处于导通电平时，调谐rf产生器的参数，而当rf参数调谐信号处于关断电平时，不调谐rf产生器的参数。

在一些实施方案中，不出现间隙g1至g8。例如，时间间隔t1不包括间隙g1。类似地，时间间隔t2不包括间隙g2。作为又一示例，匹配调谐信号408在rf参数调谐信号404的脉冲化之后立即产生脉冲，并且rf参数调谐信号404在匹配调谐信号408的脉冲化之后立即产生脉冲。

在多种实施方案中，匹配调谐信号408在脉冲信号104的工作周期期间rf参数调谐信号404脉冲化之前在脉冲信号104的工作周期期间产生脉冲。

图5a是系统500的实施方案的图，其示出了脉冲信号104、rf参数调谐信号508和匹配调谐信号512的生成。rf参数调谐信号508的示例包括rf参数调谐信号112(图1a)、rf参数调谐信号120(图1b)、rf参数调谐信号128(图1c)、rf参数调谐信号208(图2a)、rf参数调谐信号216(图2b)、rf参数调谐信号224(图2c)、rf参数调谐信号308(图3a)、rf参数调谐信号320(图3b)、rf参数调谐信号324(图3c)、rf参数调谐信号336(图3d)、rf参数调谐信号404(图4)以及本文所述的任何其他rf参数调谐信号。匹配调谐信号512的示例包括匹配调谐信号116(图1a)、匹配调谐信号124(图1b)、匹配调谐信号132(图1c)、匹配调谐信号204(图2a)、匹配调谐信号212(图2b)、匹配调谐信号220(图2c)、匹配调谐信号312(图3a)、匹配调谐信号316(图3b)、匹配调谐信号328(图3c)、匹配调谐信号332(图3d)、匹配调谐信号408(图4)和本文所述的任何其他匹配调谐信号。

系统500包括主计算机502、rf产生器(rfg)514、阻抗匹配网络(imn)516和等离子体室524。阻抗匹配网络516是阻抗匹配的示例。主机502的示例包括台式计算机、膝上型计算机、平板电脑或智能电话。主计算机502包括处理器504和存储器设备506。处理器504耦合到存储设备506。如本文所使用的，处理器是专用集成电路(asic)或可编程逻辑设备(pld)、或中央处理器(cpu)、或微处理器、或调谐器、或数字信号处理器、或逻辑电路、或微控制器，并且在某些实施方案中，这些术语在本文中可互换使用。逻辑电路被配置为执行用于执行本文描述的方法的逻辑。如本文所使用的，控制器是asic、或逻辑电路、或pld、或cpu、或微处理器、或微控制器、或处理器。存储器设备的示例包括随机存取存储器(ram)和只读存储器(rom)。举例而言，存储器设备是闪存、硬盘或存储设备等。存储器设备是计算机可读介质的示例。

rf产生器514包括数字信号处理器(dsp)、用于状态s1的功率控制器(pwrs1)、用于状态s2的功率控制器(pwrs2)和用于状态s1的自动频率调谐器(afts1)，以及用于状态s2的自动频率调谐器(afts2)和rf电源536。rf电源536的示例是生成正弦信号的rf振荡器。

rf电源536通过rf电缆532耦合到阻抗匹配网络516的多个电路部件518。电路部件518的示例包括一个或多个电容器、或一个或多个电感器、或一个或多个电阻器、或其组合。举例而言，一个或多个电容器串联耦合以产生电路部件518的串联电容。作为另一示例，电容器以并联配置耦合，其中电容器的一端连接到地电位，而电容器的另一端耦合到将rf电缆532耦合到rf传输线534的导体。作为又一示例，一个或多个电容器彼此串联耦合。一个或多个电容器的一端耦合到rf电缆532，而另一端耦合到rf传输线534。另外，电容器以并联配置在一端耦合到一个或多个电容器，并且在相反的一端与地电位耦合。应当注意，电路部件518以串联集成或并联配置或其组合彼此耦合。

rf电缆532是同轴电缆。此外，rf传输线534具有rf杆和rf护套，该rf护套围绕rf杆，并且在rf杆和rf护套之间具有绝缘体。在一些实施方案中，rf传输线534具有一个或多个rf带和rf圆筒体。rf杆通过一个或多个rf带和rf圆筒体耦合到rf圆筒体。rf传输线534，例如rf传输线534的rf圆筒体，耦合到等离子体室524的卡盘526，例如静电卡盘或基座。上电极530位于卡盘526的相对面并且面对卡盘526，卡盘526包括下电极。例如，卡盘526包括附接到下部电极的顶表面的陶瓷层和附接到下部电极的底表面的设施板。下电极由金属制成，例如，由阳极氧化铝、铝合金等制成。下电极的示例是栅格。而且，上电极530由金属制成。上电极530耦合到地电位。

衬底528(例如半导体晶片)被支撑在卡盘526的上表面上，以用于处理衬底528。集成电路(例如，asic、pld等)被形成在衬底528上，并且集成电路用于各种设备，例如手机、平板电脑、智能手机、计算机、笔记本电脑、网络设备等。

系统500进一步包括驱动器522，其具有一个或多个晶体管以驱动马达520。驱动器522耦合至马达520。马达520是将电能转变成机械能的电机。马达520是直流(dc)马达或交流(ac)马达。马达520包括转子和定子。

马达520通过诸如一或多个杆，或一个或多个齿轮和一个或多个杆的组合之类的连接机构耦合到电路部件518以控制电路部件518的变量，例如电感、或电容、或电阻。处理器504耦合到驱动器522。

处理器504产生脉冲信号104并通过传输电缆tc1将脉冲信号104发送到rf产生器514的数字信号处理器。如本文所用，传输电缆的示例包括串行传输电缆、并行传输电缆和通用串行总线(usb)电缆。另外，处理器504生成rf参数调谐信号508，并且经由传输电缆将rf参数调谐信号508提供给rf产生器514的数字信号处理器。

基于脉冲信号104，数字信号处理器控制rf电源536以生成具有多个不同功率电平的rf信号533。例如，数字信号处理器在脉冲信号104的状态s1期间将信号发送到rf电源536以生成具有功率电平p1(图1a-2c)的rf信号533，并且在状态s2期间将信号发送到rf电源536以产生具有大约为零或p2的功率电平(图3a-3d)的rf信号533。rf信号533的示例包括rf信号108(图1a-2d)和rf信号304(图3a-3d)。在从数字信号处理器接收到功率电平p1或大约为零的功率电平或p2时，rf电源536产生rf信号533。

此外，基于rf参数调谐信号508，在脉冲信号104的状态s1的一部分期间，rf产生器514的数字信号处理器将rf供应控制信号发送到功率控制器pwrs1。例如，在时间间隔ta或tb或tc或td的一部分期间(图1a-3d)，rf产生器514的数字信号处理器将rf供应控制信号发送到功率控制器pwrs1。作为另一个示例，在时间间隔tc的一部分期间(图1a-3d)，rf产生器514的数字信号处理器将rf供应控制信号发送到功率控制器pwrs1。功率控制器pwrs1在状态s1的一部分期间接收到rf供应控制信号后，将信号发送到rf电源536，以调谐由rf电源536生成的rf信号533。发送到rf电源536的信号包括rf信号533的针对状态s1的一部分的功率值的预定范围。rf信号533的针对状态s1的一部分的功率值的预定范围对应于将在状态s1的一部分期间在系统500中的一个或多个位置实现的因数，例如等离子体阻抗、反射功率、供应功率、电压驻波比或输送功率。一个或多个位置的示例包括rf电源536的输出o1、rf电缆532上的点、阻抗匹配网络516的输入i1、阻抗匹配网络516的输出、rf传输线534上的点、或卡盘526的顶表面或底表面或等离子体室524内的位置。针对状态s1的一部分的在该因数与功率值的预定范围之间的对应关系存储在功率控制器pwrs1的存储器设备中以供功率控制器pwrs1的处理器访问。rf电源536在从功率控制器pwrs1接收到信号之后，在状态s1的一部分期间将rf信号533的功率值修改至处于功率值的预定范围内以调谐rf信号533。针对状态s1的一部分的功率值的预定范围在状态s1期间在rf信号533的功率值(例如峰-峰值)的预定百分比内，例如在0％到10％之间。

此外，基于rf参数调谐信号508，在脉冲信号104的状态s1的任何其余部分期间，rf产生器514的数字信号处理器不会将rf供应控制信号发送到功率控制器pwrs1。当没有将rf供应控制信号发送到功率控制器pwrs1时，在状态s1的其余部分期间，功率控制器pwrs1不将信号发送到rf电源536，以避免针对状态s1的其余部分对rf电源536的功率进行任何调谐。

类似地，基于rf参数调谐信号508，在脉冲信号104的状态s2的一部分期间，rf产生器514的数字信号处理器将rf供应控制信号发送到功率控制器pwrs2。例如，在时间间隔tb的一部分期间(图1a-3d)，rf产生器514的数字信号处理器将rf供应控制信号发送到功率控制器pwrs2。作为另一个示例，在时间间隔td的一部分期间(图1a-3d)，rf产生器514的数字信号处理器将rf供应控制信号发送到功率控制器pwrs2。功率控制器pwrs2在状态s2的一部分期间接收到rf供应控制信号后，将信号发送到rf电源536，以调谐由rf电源536生成的rf信号533。发送到rf电源536的信号包括rf信号533的针对状态s2的一部分的功率值的预定范围。rf信号533的针对状态s2的一部分的功率值的预定范围对应于将在状态s2的一部分期间在系统500中的一个或多个位置实现的因数。针对状态s2的一部分的在该因数与功率值的预定范围之间的对应关系存储在功率控制器pwrs2的存储器设备中以供功率控制器pwrs2的处理器访问。rf电源536在从功率控制器pwrs2接收到信号之后，在状态s2的一部分期间将rf信号533的功率值修改至处于功率值的预定范围内以调谐rf信号533。针对状态s2的一部分的功率值的预定范围在状态s2期间在rf信号533的功率值(例如峰-峰值)的预定百分比内。

此外，基于rf参数调谐信号508，在脉冲信号104的状态s2的任何其余部分期间，rf产生器514的数字信号处理器不会将rf供应控制信号发送到功率控制器pwrs2。当没有将rf供应控制信号发送到功率控制器pwrs2时，在状态s2的其余部分期间，功率控制器pwrs2不将信号发送到rf电源536，以避免针对状态s2的其余部分对rf电源536的功率进行任何调谐。

类似地，基于rf参数调谐信号508，在脉冲信号104的状态s1的一部分期间，rf产生器514的数字信号处理器将rf供应控制信号发送到自动频率调谐器afts1。例如，在时间间隔ta的一部分期间，rf产生器514的数字信号处理器将rf供应控制信号发送到自动频率调谐器afts1。作为另一个示例，在时间间隔tc的一部分期间，rf产生器514的数字信号处理器将rf供应控制信号发送到自动频率调谐器afts1。自动频率调谐器afts1在状态s1的一部分期间接收到rf供应控制信号后，将信号发送到rf电源536，以调谐由rf电源536生成的rf信号533。发送到rf电源536的信号包括rf信号533的针对状态s1的一部分的频率值的预定范围。rf信号533的针对状态s1的一部分的频率值的预定范围对应于将在状态s1的一部分期间在系统500中的一个或多个位置处实现的因数。针对状态s1的一部分，该因数与频率值的预定范围之间的对应关系被存储在自动频率调谐器afts1的存储器设备中，以供自动频率调谐器afts1的处理器访问。rf电源536在从自动频率调谐器afts1接收到信号后，在状态s1的一部分期间将rf信号533的频率值修改为处于频率值的预定范围内以调谐rf信号533。针对状态s1的一部分的频率值的预定范围在rf信号533的频率值的预设百分比之内，例如在零到10％之间。

此外，基于rf参数调谐信号508，在脉冲信号104的状态s1的任何其余部分期间，rf产生器514的数字信号处理器不会将rf供应控制信号发送到自动频率调谐器afts1。当没有将rf供应控制信号发送到自动频率调谐器afts1时，在状态s1的其余部分期间，自动频率调谐器afts1不将信号发送到rf电源536，以避免针对状态s1的其余部分对rf电源536的频率进行任何调谐。

类似地，基于rf参数调谐信号508，在脉冲信号104的状态s2的一部分期间，rf产生器514的数字信号处理器将rf供应控制信号发送到自动频率调谐器afts2。例如，在时间间隔tb的一部分期间，rf产生器514的数字信号处理器将rf供应控制信号发送到自动频率调谐器afts2。作为另一个示例，在时间间隔td的一部分期间，rf产生器514的数字信号处理器将rf供应控制信号发送到自动频率调谐器afts2。自动频率调谐器afts2在状态s2的一部分期间接收到rf供应控制信号后，将信号发送到rf电源536，以调谐由rf电源536生成的rf信号533。发送到rf电源536的信号包括rf信号533的针对状态s2的一部分的频率值的预定范围。rf信号533的针对状态s2的一部分的频率值的预定范围对应于将在状态s2的一部分期间在系统500中的一个或多个位置实现的因数。针对状态s2的一部分的在该因数与频率值的预定范围之间的对应关系存储在自动频率调谐器afts2的存储器设备中以供自动频率调谐器afts2的处理器访问。rf电源536在从自动频率调谐器afts2接收到信号之后，在状态s2的一部分期间将rf信号533的频率值修改至处于频率值的预定范围内以调谐rf信号533。针对状态s2的一部分的频率值的预定范围是在rf信号533的频率值的预定百分比内。

此外，基于rf参数调谐信号508，在脉冲信号104的状态s2的任何其余部分期间，rf产生器514的数字信号处理器不会将rf供应控制信号发送到自动频率调谐器afts2。当没有将rf供应控制信号发送到自动频率调谐器afts2时，在状态s2的其余部分期间，自动频率调谐器afts2不将信号发送到rf电源536，以避免针对状态s2的其余部分对rf电源536的功率进行任何调谐。

处理器504生成匹配调谐信号512并将其发送到驱动器522。驱动器522在接收到匹配调谐信号522的过程中，在状态s1的一部分期间，将驱动器信号发送至马达520以针对状态s1的一部分启动马达520。例如，驱动器522在接收到匹配调谐信号522时，在时间间隔ta的一部分期间，生成驱动器信号并将其发送至马达520。作为另一示例，驱动器522在接收到匹配调谐信号522时，在时间间隔tc的一部分期间，产生驱动器信号并将其发送到马达520。针对状态s1的一部分，马达520在接收到驱动器信号时启动。当针对状态s1的一部分启动马达520时，转子相对于定子旋转，以改变电路部件518的变量。例如，当转子旋转以改变电路部件518的电容器的极板之间的面积时，电路部件518的电容改变。作为另一示例，当转子旋转以相对于电感器的绕组改变铁心的位置时，电路部件518的电感改变。绕组围绕铁心。当针对状态s1的一部分改变变量时，针对状态s1的一部分调谐变量。在状态s1的时间间隔的一部分(在该部分期间调谐电路部件518的变量)期间，不调谐rf电源536。

对于状态s1的任何其余部分(在该其余部分，调谐rf电源536以调谐rf信号533)，驱动器522不将驱动器信号发送到马达520。在没有收到驱动信号时，针对状态s1的其余部分，马达520关闭。当针对状态s1的其余部分关闭马达520时，针对状态s1的其余部分不调谐电路部件518的变量。

类似地，驱动器522在接收到匹配调谐信号522的过程中，在状态s2的一部分期间，将驱动器信号发送至马达520以针对状态s2的一部分启动马达520。例如，驱动器522在接收到匹配调谐信号522时，在时间间隔tb的一部分期间，生成驱动器信号并将其发送至马达520。作为另一示例，驱动器522在接收到匹配调谐信号522时，在时间间隔td的一部分期间，产生驱动器信号并将其发送到马达520。针对状态s2的一部分，马达520在接收到驱动器信号时启动。当针对状态s2的一部分启动马达520时，转子相对于定子旋转，以改变电路部件518的变量。当针对状态s2的一部分改变变量时，调谐变量。在状态s2的时间间隔的一部分(在该部分期间调谐电路部件518的变量)期间，不调谐rf电源536。

对于状态s2的任何其余部分(在该其余部分，调谐rf电源536以调谐rf信号533)，驱动器522不将驱动器信号发送到马达520。在没有收到驱动信号时，针对状态s2的其余部分，马达520关闭。当针对状态s2的其余部分关闭马达520时，针对状态s2的其余部分不调谐电路部件518的变量。

根据rf参数调谐信号508调谐的rf信号533通过rf电缆532提供给具有根据匹配调谐信号512调谐的变量的电路部件518。电路部件518使耦合到该阻抗匹配的输出的负载的阻抗与耦合到该阻抗匹配的输入i1的源的阻抗匹配。负载的示例包括等离子体室524，在等离子体室524中被点燃时的等离子体以及rf传输线534。源的示例包括rf电缆532和rf产生器514。

被调谐以调谐变量的电路部件518使负载的阻抗与源的阻抗匹配，以在阻抗匹配的输出处生成经修改的rf信号。经修改的rf信号经由rf传输线534被提供给卡盘526。当一种或多种处理气体从气体供应源(未示出)被提供给等离子体室524中的上电极530和卡盘526之间的间隙，并且将经修改的rf信号提供给等离子体室524时，在等离子体室524内激励等离子体或保持等离子体。一种或多种处理气体的示例包括诸如o2之类的含氧气体。一种或多种处理气体的其他示例包括含氟气体，例如四氟甲烷(cf4)、六氟化硫(sf6)、六氟乙烷(c2f6)等。等离子体室524中的等离子体用于处理衬底528，例如将材料沉积在衬底528上、蚀刻、溅射或清洁衬底528。

在一些实施方案中，功率控制器pwrs1和pwrs2以及自动频率调谐器afts1和afts2是由rf产生器514的数字信号处理器执行的计算机程序的模块，例如逻辑模块。在多种实施方案中，rf产生器514的数字信号处理器、功率控制器pwrs1和pwrs2以及自动频率调谐器afts1和afts2被集成在处理器或控制器内。在一些实施方案中，功率控制器pwrs1、功率控制器pwrs2、自动频率调谐器afts1和自动频率调谐器afts2中的每一个是执行逻辑的控制器，并且该控制器具有用于存储逻辑和/或处理逻辑的数据的存储器设备。在这些实施方案中，rf产生器514不具有数字信号处理器，并且控制器中的每个都耦合到处理器504。例如，功率控制器pwrs1是控制器，功率控制器pwrs2是控制器，自动频率调谐器afts1是控制器，并且自动频率调谐器afts2是控制器。

在多种实施方案中，驱动器522被集成在处理器504内。例如，驱动器522是处理器504的一部分。

应该注意的是，在一些实施方案中，在电路部件518使耦合到阻抗匹配的负载的阻抗与源的阻抗匹配的时间段内，通过匹配调谐信号512调谐电路部件518的变量。

在一些实施方案中，在电路部件518使负载的阻抗与源的阻抗匹配之前或之后，通过匹配调谐信号512来调谐电路部件518的变量。

在若干实施方案中，基于rf参数调谐信号508，针对脉冲信号104的状态s1，rf产生器514的数字信号处理器不将rf供应控制信号发送到功率控制器pwrs1。当没有将rf供应控制信号发送到功率控制器pwrs1时，功率控制器pwrs1在状态s1期间不将信号发送到rf电源536，以避免针对状态s1的rf电源536的任何功率调谐。

在若干实施方案中，基于rf参数调谐信号508，针对脉冲信号104的状态s1，rf产生器514的数字信号处理器不将rf供应控制信号发送到自动频率调谐器afts1。当没有将rf供应控制信号发送到自动频率调谐器afts1时，自动频率调谐器afts1在状态s1期间不将信号发送到rf电源536，以避免针对状态s1的rf电源536的任何功率调谐。

类似地，在一些实施方案中，基于rf参数调谐信号508，针对脉冲信号104的状态s2，rf产生器514的数字信号处理器不将rf供应控制信号发送到功率控制器pwrs2。当没有将rf供应控制信号发送到功率控制器pwrs2时，功率控制器pwrs2在状态s2期间不将信号发送到rf电源536，以避免针对状态s2的rf电源536的任何功率调谐。

在若干实施方案中，基于rf参数调谐信号508，针对脉冲信号104的状态s2，rf产生器514的数字信号处理器不将rf供应控制信号发送到自动频率调谐器afts2。当没有将rf供应控制信号发送到自动频率调谐器afts2时，自动频率调谐器afts2在状态s2期间不将信号发送到rf电源536，以避免针对状态s2的rf电源536的任何功率调谐。

在一些实施方案中，对于状态s1(其中调谐rf电源536以调谐rf信号533)，驱动器522不向马达520发送驱动器信号。当不接收驱动器信号时，针对状态s1，关闭马达520。当针对状态s1关闭马达520时，在状态s1期间不调谐电路部件518的变量。

在多种实施方案中，对于状态s2(其中调谐rf电源536以调谐rf信号533)，驱动器522不向马达520发送驱动器信号。当不接收驱动器信号时，针对状态s2，关闭马达520。当针对状态s2关闭马达520时，在状态s2期间不调谐电路部件518的变量。

图5b是系统540的实施方案的图，其示出了阻抗匹配网络542的逻辑电路544，用于施加匹配调谐信号512以改变电路部件518的变量。阻抗匹配网络542是阻抗匹配的一个例子。系统540包括主机502，rf产生器514，阻抗匹配网络542和等离子体室524。阻抗匹配网络542包括驱动器522和马达520。逻辑电路544的示例是asic、pld或处理器。

处理器504通过传输电缆tc1将脉冲信号104发送到rf产生器514的数字信号处理器。rf产生器514的数字信号处理器从脉冲信号104产生rf参数调谐信号508，并且还从脉冲信号104产生匹配调谐信号512。例如，rf产生器514的数字信号处理器产生rf参数调谐信号508和匹配调谐信号512，使得rf参数调谐信号508的脉冲不与匹配调谐信号512的脉冲一致，并且rf参数调谐信号508和匹配输入信号512都与脉冲信号104同步。例如，在脉冲信号104的状态s1的一部分期间，rf产生器514的数字信号处理器产生rf参数调谐信号508的脉冲，并且在脉冲信号104的状态s1的其余部分期间，数字信号处理器产生匹配调谐信号512的脉冲，并且在状态s2期间不产生rf参数调谐信号508和匹配调谐信号512的脉冲。作为另一示例，在脉冲信号104的状态s2的一部分期间，rf产生器514的数字信号处理器产生rf参数调谐信号508的脉冲，并且在脉冲信号104的状态s2的其余部分期间，数字信号处理器产生匹配调谐信号512的脉冲。

rf产生器514的数字信号处理器以上述方式控制rf电源536、功率控制器pwrs1和pwrs2和/或自动频率调谐器afts1和afts2，使得rf电源536产生基于rf参数调谐信号508调谐的rf信号533。此外，阻抗匹配网络546的逻辑电路544通过传输电缆tc2接收匹配调谐信号512，该传输电缆tc2将rf产生器514的数字信号处理器耦合到逻辑电路544。逻辑电路544从rf产生器514的数字信号处理器接收匹配调谐信号512。逻辑电路544将匹配调谐信号512提供给驱动器522以便以上述方式控制电路部件518，从而进一步调谐电路元件518的变量。例如，逻辑电路544以与处理器504经由驱动器522和马达520控制电路部件518相同的方式，经由马达520和驱动器522控制电路部件518。

图5c是系统550的实施方案的图，其示出了逻辑电路544从脉冲信号104生成匹配调谐信号512，并且进一步从脉冲信号104生成rf参数调谐信号508。系统550包括主计算机502、rf产生器514、阻抗匹配网络542和等离子体室524。逻辑电路544通过传输电缆tc3耦合到处理器504，其示例在上文提供。

逻辑电路544通过传输电缆tc3从处理器504接收脉冲信号104，并以与rf产生器514的数字信号处理器从脉冲信号104产生rf参数调谐信号508和匹配调谐信号512相同的方式从脉冲信号104生成rf参数调谐信号508和匹配调谐信号512。逻辑电路544通过传输电缆tc2将rf参数调谐信号508提供给rf产生器514的数字信号处理器。rf产生器514的数字信号处理器在从逻辑电路544接收到rf参数调谐信号508时，基于rf参数调谐信号508，经由功率控制器pwrs1和pwrs2和/或经由自动频率调谐器afts1和afts2来调谐rf信号533。此外，逻辑电路544根据匹配调谐信号512经由驱动器522和马达520来调谐电路部件518的变量。

图5d是系统560的实施方案的图，其示出了阻抗匹配网络542的逻辑电路544从脉冲信号104产生匹配调谐信号512和rf产生器514的数字信号处理器从脉冲信号104产生rf参数调谐信号508。系统516包括主计算机502、rf产生器514、阻抗匹配网络542和等离子体室524。处理器504通过传输电缆tc1提供脉冲信号104到rf产生器514的数字信号处理器，并且还通过传输电缆tc2将脉冲信号104提供到逻辑电路544。此外，处理器504向数字信号处理器提供指令以生成rf参数调谐信号508，从而避免rf参数调谐信号508的脉冲与匹配调谐信号512的脉冲之间的任何重叠。作为示例，指令包括用于产生匹配调谐信号512的脉冲的时间间隔和用于不产生匹配调谐信号512的脉冲的时间间隔和/或用于产生rf参数调谐信号508的脉冲的时间间隔和用于不产生rf参数调谐信号508的脉冲的时间间隔或其组合。此外，处理器经由传输电缆tc2提供相同的指令至逻辑电路544以避免重叠。

在从处理器504接收到脉冲信号104和指令之后，rf产生器514的数字信号处理器产生rf参数调谐信号508，并且逻辑电路544或产生匹配调谐信号512。数字信号处理器控制功率控制器pwrs1和pwrs2、自动频率调谐器afts1和afts2或其组合，以调谐rf电源436以进一步调谐rf信号533。此外，逻辑电路544根据匹配调谐信号512，经由驱动器522和马达520调谐电路部件518的变量。

图5e是系统570的实施方案的图，其示出了通过rf产生器514的数字信号处理器对电路部件518进行的调谐。应当注意，系统570不包括主计算机502。

系统570包括rf产生器514、驱动器522、马达520、阻抗匹配网络516和等离子体室524。rf产生器514的数字信号处理器通过传输电缆tc4耦合到驱动器522。

rf产生器514的数字信号处理器以上述方式产生脉冲信号104，并基于脉冲信号104产生rf参数调谐信号508和匹配调谐信号512。数字信号处理器控制rf电源536以与脉冲信号104同步生成rf信号533。此外，rf产生器514的数字信号处理器通过控制功率控制器pwrs1和pwrs2、自动频率调谐器afts1和afts2或它们的组合来调谐rf信号533。

rf产生器514的数字信号处理器通过传输电缆tc4将匹配调谐信号512发送到驱动器522。在接收到匹配调谐信号512时，驱动器522被启动或关闭以进一步启动或关闭马达522，从而调谐或不调谐电路部件518的变量。

在一些实施方案中，驱动器522是rf产生器514的数字信号处理器的一部分。例如，驱动器522被集成在rf产生器514的数字信号处理器的电路内。

图5f是系统580的实施方案的图，其示出了基于由逻辑电路544从rf产生器514的数字信号处理器接收的脉冲信号104产生匹配调谐信号512。系统580包括rf产生器514、阻抗匹配网络542和等离子体室524。rf产生器514的数字信号处理器产生脉冲信号104，并且从脉冲信号104产生rf参数调谐信号508。另外，rf产生器514的数字信号处理器通过传输电缆tc4将脉冲信号104提供给逻辑电路544。此外，rf产生器514的数字信号处理器通过传输电缆tc4将指令提供给逻辑电路544，以用于从脉冲信号104产生匹配调谐信号512，使得匹配调谐信号512的脉冲与rf参数调谐信号508的脉冲不重合。在接收到指令和脉冲信号104之后，逻辑电路544将指令施加到脉冲信号104以从脉冲信号104产生匹配调谐信号512。

rf产生器514的数字信号处理器根据rf参数调谐信号508，经由功率控制器pwrs1和pwrs2、或者自动频率调谐器afts1和afts2、或者其组合，来调谐由rf电源536产生的rf信号533。此外，逻辑电路504基于匹配调谐信号512经由驱动器522和马达520来调谐电路部件518的变量。

图5g是系统590的实施方案的图，其示出了阻抗匹配网络542的逻辑电路544基于从rf产生器514的数字信号处理器接收到的脉冲信号104生成匹配调谐信号512和rf参数调谐信号508。系统590包括rf产生器514，阻抗匹配网络542和等离子体室524。

rf产生器514的数字信号处理器产生脉冲信号104并将其经由传输电缆tc4发送到逻辑电路544。在接收到脉冲信号104时，逻辑电路104从脉冲信号104产生rf参数调谐信号508和匹配调谐信号512。例如，在从脉冲信号104生成rf参数调谐信号508和匹配调谐信号512的同时，保留了上面参照图1a-3d中的任何一个所述的时序关系。逻辑电路544通过驱动器522和马达520根据匹配调谐信号512来调谐电路部件518的变量。

逻辑电路544通过传输电缆tc4将rf参数调谐信号508发送到rf产生器514的数字信号处理器。在从逻辑电路544接收到rf参数调谐信号508后，rf产生器514控制功率控制器pwrs1和pwrs2、或自动频率调谐器afts1和afts2、或其组合，以调谐由rf电源536产生的rf信号533。

图5h是系统592的实施方案的图，其示出了确定时间间隔(针对该时间间隔，对rf产生器514进行调谐以基于脉冲信号104调谐rf信号533)，该时间间隔例如时间间隔t1(图1a、3a-3d和4)、或时间间隔t2(图2a、3a-3d和4)、或时间间隔t5(图1b和2c)或时间间隔t6(图1c和2b)。除了系统592包括耦合到rf电源536的输出o1的功率传感器594之外，系统592与图5a的系统500相同。rf电源536的输出o1与rf产生器514的输出o1相同，并且经由rf电缆532耦合到阻抗匹配的输入端i1。阻抗匹配的输入i1与阻抗匹配的电路部件518的输入i1相同。功率传感器594的示例包括用于测量功率特性的传感器，功率特性诸如在rf产生器514的输出o1处反射的功率或在输出o1处的功率反射系数。功率反射系数是在输出o1处反射的功率与在输出o1处提供给电路部件518的rf信号533的功率之比。在输出o1处反射的功率是从等离子体室经由rf传输线534、阻抗匹配和rf电缆532朝向rf产生器514反射的功率。

功率传感器594通过传输电缆tc5耦合到处理器504。在脉冲信号104的第一个脉冲的开始的时间间隔期间，处理器504在通过传输电缆tc5从功率传感器594接收到功率特性后，确定功率特性是否小于预定阈值，并且功率特性的变化率(例如减小)是否大于预设限度。在时间间隔ta出现第一脉冲。在脉冲信号104的第一脉冲开始时的时间间隔的示例是时间间隔ta的一部分(图1a-3d和图4)。当确定功率特性大于预定阈值并且功率特性的变化率小于预设限度时，处理器504通过rf产生器514的数字信号处理器和功率控制器pwrs1和pwrs2、或者通过数字信号处理器和自动频率调谐器afts1和afts2、或者通过数字信号处理器和功率控制器pwrs1和pwrs2以及自动频率调谐器afts1和afts2来控制rf电源536以针对时间间隔t1、t5或t6对rf信号533进行调谐。处理器504在脉冲信号104的第一脉冲的开始的时间间隔期间继续调谐rf产生器514以调谐rf信号533，直到功率特性小于预定阈值并且功率特性的变化率大于预设限度。

响应于确定功率特性小于预定阈值并且功率特性的变化率大于预设限度，处理器504停止调谐rf产生器514以停止调谐rf信号533，并且在脉冲信号104的第一个脉冲的其余时间间隔期间，开始对电路部件518进行调谐，以调谐电路部件518的变量。例如，处理器504通过驱动器522和马达520针对时间间隔t2或t6或t5对电路部件518的变量进行调谐。处理器504从脉冲信号104确定在第一脉冲之后的第二脉冲是否已经开始，在第二脉冲开始期间接收功率特性，并且重复其在第一脉冲期间执行的过程。在时间间隔tc出现第二个脉冲。以这种方式，对于脉冲信号104的每个脉冲，调谐rf信号532所针对的时间间隔和调谐电路部件518的变量所针对的时间间隔是不同的。

图5i是系统596的实施方案的图，其示出了功率传感器594与图5f的系统580一起使用。除了在系统596中使用功率传感器594之外，系统596与系统580相同。功率传感器596通过传输电缆tc6耦合到rf产生器514的数字信号处理器。在脉冲信号104的第一脉冲的开始的时间间隔期间，rf产生器514的数字信号处理器在通过传输电缆tc6从功率传感器594接收到功率特性后，确定功率特性是否小于预定阈值以及功率特性的变化率是否大于预设限度。当确定功率特性大于预定阈值并且功率特性的变化率小于预设限度时，rf产生器514的数字信号处理器经由功率控制器pwrs1和pwrs2、或者经由自动频率调谐器afts1和afts2、或者经由功率控制器pwrs1和pwrs2以及自动频率调谐器afts1和afts2来控制rf电源536以针对时间间隔t1、t5或t6调谐rf信号533。rf产生器514的数字信号处理器在脉冲信号104的第一脉冲的开始的时间间隔期间继续调谐rf电源536以调谐rf信号533，直到功率特性小于预定阈值以及功率特性的变化率大于预设限度。

在确定功率特性小于预定阈值并且功率特性的变化率大于预设限度时，rf产生器514的数字信号处理器停止调谐rf电源536以停止调谐rf信号533，并通过传输电缆tc4将脉冲信号104和命令信号发送到逻辑电路544，以在脉冲信号104的第一脉冲的其余时间间隔期间调谐电路部件518的变量。逻辑电路544在接收到命令信号和脉冲信号104后，通过驱动器522和马达524启动对电路部件518的调谐，并针对脉冲信号104的第一个脉冲的其余时间间隔继续调谐。例如，逻辑电路544通过驱动器522和马达520在时间间隔t2或t5或t6调谐电路部件518的变量，直到第一脉冲结束。rf产生器514的数字信号处理器从脉冲信号104确定在第一脉冲之后的第二脉冲是否已经开始，在第二脉冲开始期间接收功率特性，并且重复其在第一脉冲期间执行的过程。以这种方式，对于脉冲信号104的每个脉冲，调谐rf信号532所针对的时间间隔和调谐电路部件518的变量所针对的时间间隔是不同的。

在一些实施方案中，代替施加功率特性和功率特性的变化率两者，而是施加功率特性或变化率。例如，在确定功率特性大于预定阈值或功率特性的变化率小于预设限度时，rf电源536经由功率控制器pwrs1和pwrs2、或经由自动频率调谐器afts1和afts2、或经由功率控制器pwrs1和pwrs2以及自动频率调谐器afts1和afts2来控制以针对时间间隔t1、t5或t6调谐rf信号533。作为另一示例，响应于确定功率特性小于预定阈值或功率特性的变化率大于预设限度，rf产生器514不再被调谐以在脉冲信号104的第一脉冲的时间间隔期间在之后停止调谐rf信号533，并且在脉冲信号104的第一脉冲的其余时间间隔期间开始对电路部件518的调谐，以调谐电路部件518的变量。

在一些实施方案中，代替传送脉冲信号1004和命令信号，rf产生器514的数字信号处理器产生匹配调谐信号512，并且经由传输电缆tc4将匹配调谐信号512发送到逻辑电路544。在接收到匹配调谐信号512后，逻辑电路544经由驱动器522和马达520控制电路部件518以调谐电路部件518的变量。

在一些实施方案中，本文所述的任何时间间隔，例如时间间隔t1、或t2、或t5、或t6、或t7、或t8、或t9、或t10被存储在rf产生器514的数字信号处理器的存储器设备中、或在阻抗匹配网络542的逻辑电路544的存储器设备中或在主计算机502的存储器设备506中。

应当注意，在多种实施方案中，卡盘526的下部电极耦合到地电位，而上部电极530耦合到rf传输线534。

在若干实施方案中，上电极530耦合到rf传输线，例如rf传输线534。此外，rf传输线耦合到阻抗匹配网络，例如阻抗匹配网络516或542。阻抗匹配网络耦合到rf产生器(例如rf产生器514)，rf产生器耦合到主机计算机502。

在不使用主计算机502的一些实施方案中，经由阻抗匹配网络将rf信号提供给上电极530的rf产生器不与主计算机502耦合。

可通过包含下列各项的各种计算机系统构造以实行本文所述的实施方案：手持硬件单元、微处理器系统、基于微处理器的或可编程的消费性电子产品、迷你计算机、主计算机等。还可在分布式计算环境中实行所述的实施方案，在这些分布式计算环境中工作经由通过网络链接的远程处理硬件单元执行。

在一些实施方案中，控制器为系统的一部分，该系统可为上述示例的一部分。这样的系统包含半导体处理设备，该半导体处理设备包含一个或多个处理工具、一个或多个室、一个或多个处理用平台和/或特定的处理组件(晶片基座、气体流动系统等)。这些系统与电子设备整合，以在半导体晶片或衬底之处理之前、期间、以及之后，控制其运作。电子设备被称为控制器，其可控制一个或者多个系统的各种组件或子部件。取决于处理需求和/或系统类型，将控制器编程设计成控制本文所公开的处理中的任何处理，包含处理气体的传送、温度设定(例如，加热和/或冷却)、压力设定、真空设定、功率设定、rf产生器设定、rf匹配电路设定、频率设定、流速设定、流体传送设定、位置和操作设定、进出与系统耦合或接合的工具及其他转移工具和/或负载锁的晶片转移。

广义而言，在许多实施方案中，将控制器定义为具有接收指令、发布指令、控制运作、启动清洗操作、启动终点测量等的许多集成电路、逻辑、内存和/或软件的电子设备。集成电路包含：储存程序指令的硬件形式的芯片、数字信号处理器(dsps)、定义为asics的芯片、可编程逻辑装置(plds)和/或一或更多微处理器、或执行程序指令(例如，软件)的微控制器。程序指令为以不同的单独设定(或程序档案)的形式而传达至控制器或系统的指令，该单独设定(或程序档案)为实行特定处理(在半导体晶片上，或是对半导体晶片或对系统)而定义操作参数、因子、变量等。在一些实施方案中，程序指令由工艺工程师所定义的配方的一部分，以在一或多个(种)层、材料、金属、氧化物、硅、二氧化硅、表面、电路和/或晶片的管芯的制造期间实现一个或多个处理步骤。

在一些实施方案中，控制器为计算机的一部分，或耦合至计算机，该计算机与系统整合、耦合至系统、或以网络连接至系统、或以其组合方式连接至系统。例如，控制器在容许晶片处理的远程访问的“云端”或晶片厂(fab)主计算机系统的全部或部分中。控制器使系统能够远程访问，以监控制造运作的当前进度、检查过去制造运作的历史、由多个制造运作而检查趋势或效能指标，以改变当前处理的参数、设定当前处理之后的处理步骤、或开始新的处理。

在一些实施方案中，远程计算机(例如，服务器)通过网络提供处理配方至系统，该网络包含局域网络或因特网。远程计算机包含用户接口，其可实现参数和/或设定的输入、或对参数和/或设定进行程序化，接着将该参数和/或该设定由远程计算机传达至系统。在一些示例中，控制器接收数据形式的指令，这些指令指定在一或多个操作期间将进行的每一处理步骤用的参数、因子和/或变量。应理解，所述参数、因子和/或变量特别针对待执行的处理的类型及控制器用于接合或控制的工具的类型。因此，如上所述，控制器为分布式，例如通过包含以网络的方式连接彼此且朝向共同目的(例如，本文所述的处理和控制)而运作的一或更多分离的控制器。用于此目的的分布式控制器的示例包含在室上、与位于远程的一或更多集成电路(例如，在平台水平处、或作为远程计算机的一部分)进行通信的一或更多集成电路，两者结合以控制室中的处理。

在多种实施方案中，可应用方法的示例性系统包括但不限于，等离子体蚀刻室或模块、沉积室或模块、旋转冲洗室或模块、金属镀室或模块、清洁室或模块、边缘蚀刻室或模块、物理气相沉积(pvd)室或模块、化学气相沉积(cvd)室或模块、原子层沉积(ald)室或模块、原子层蚀刻(ale)室或模块、离子注入室或模块、轨道室或模块以及和半导体晶片的制造相关及/或用于制造的任何其他半导体处理系统。

还应注意，在一些实施方案中，上述操作应用于若干类型的等离子体室，如包含感应耦合等离子体(icp)反应器的等离子体室，变压器耦合等离子体室，导体工具，介电工具，包含电子回旋共振(ecr)反应器的等离子体室等。例如，一或多个rf产生器耦合至icp反应器内的电感器。电感器形状的示例包含螺管、圆顶形线圈、平面形线圈等。

如上所述，取决于将通过工具执行的一个或多个处理步骤，主计算机与半导体制造工厂中的一或更多的以下各项进行通信：其他工具电路或模块、其他工具组件、群集工具、其他工具接口、邻近的工具、相邻的工具、遍布工厂的工具、主计算机、另一控制器、或材料运输中所使用的工具，该材料运输中所使用的工具将晶片容器往返于工具位置和/或装载端口输送。

考虑到上述实施方案，应理解，一些实施方案使用涉及储存在计算机系统中的数据的各种计算机实现的操作。这些操作是在物理上操控物理量的操作。形成实施方案的在本文中所述操作中的任何操作都是有用的机械操作。

实施方案中的一些还涉及硬件单元或执行这些操作的设备。该设备特别地针对专用计算机而构建。当被定义为专用计算机时，该计算机执行其他处理、程序执行或非特殊用途的部分且同时仍能操作用于特殊用途的例程。

在一些实施方案中，通过储存于计算机内存中、高速缓存中、或通过计算机网络获取的计算机程序以选择性地启用或配置的计算机来执行所述操作。当数据通过计算机网络获取时，可通过计算机网络上的其他计算机(例如，计算资源的云端)以处理该数据。

还可将所述的一或更多个实施方案制造成非瞬时计算机可读介质上的计算机可读码。非瞬时计算机可读介质是储存数据的任何数据储存硬件单元(例如存储器装置等)，所述数据之后通过计算机系统读取。非瞬时计算机可读介质的示例包含硬盘、网络附加储存(nas)、rom、ram、只读光盘(cd-roms)、可录式光盘(cd-rs)、可重写光盘(cd-rws)、磁带以及其他光学式及非光学式数据储存硬件单元。在一些实施方案中，非瞬时计算机可读介质包含分布于网络耦合计算机系统范围内的计算机可读有形介质，使得计算机可读码以分散方式储存及执行。

尽管上述的一些方法操作是以特定顺序描述，但应理解，在许多实施方案中，在多个操作之间执行其他内务操作，或者，将方法操作调整成使得这些方法操作在稍微不同的时间发生，或者这些方法操作分布于容许多个方法操作以多种间隔发生的系统中，或者这些方法操作以不同于上述的顺序执行。

应进一步注意，在一实施方案中，来自上述任何实施方案的一或更多特征与任何其他实施方案的一或更多特征结合，而不偏离本发明所述的各种实施方案所描述的范围。

虽然前述的实施方案已针对清楚理解的目的而相当详细地加以描述，但应明白，一些改变与修改可在所附的权利要求的范围内实施。因此，本发明的实施方案应被视为说明性而非限制性的，且这些实施方案不应受限于本文中所提供的细节。