准分子灯及准分子灯的制造方法与流程

本发明涉及一种准分子灯及准分子灯的制造方法，尤其涉及一种应用于半导体或液晶显示元件的制程的准分子灯及准分子灯的制造方法。

背景技术：

在半导体或液晶显示元件的制程中，利用紫外线的干式洗净方法被广泛地应用于分解并去除附着于半导体基板的硅晶圆或液晶基板的玻璃基板的表面的有机化合物。特别是，使用准分子灯来进行的紫外线的干式洗净方法能够有效率地在短时间加以洗净。

然而，准分子灯于使用时或使用后，由于位于准分子灯中的焊接部(焊料)因接触清洁液(乙醇、异丙醇)、酸气(硫酸、硝酸、醋酸等)、紫外线或是准分子灯本身冷却不足时，会导致焊接部氧化或温度过高而软化的情形，产生焊接部剥离或异常放电、电极烧毁、准分子灯损坏的问题。

技术实现要素：

有鉴于此，本发明提供一种耐久性佳的准分子灯及制程简单的准分子灯的制造方法。

本发明提供一种准分子灯，包括：放电容器、一对电极、一对连接部、一对引线以及一对非经转化的保护膜。放电容器由透光介质所构成。放电容器的内部存在密封空间，其中密封空间存在放电用气体。放电容器具有相对的第一外表面及第二外表面。一对电极分别设置于放电容器的第一外表面及第二外表面。一对连接部分别设置于一对电极上，并且一对连接部各自包括焊料。一对引线经由一对连接部分别电性连接至一对电极。一对非经转化的保护膜分别覆盖在一对连接部的表面上。

本发明还提供一种准分子灯的制造方法，包括：首先，提供具有相对的第一外表面及第二外表面的放电容器。接着，于一对电极上分别设置一对连接部，并且一对连接部各自包括焊料。然后，于一对连接部上分别设置一对引线，以使一对引线经由一对连接部分别电性连接至一对电极。于一对连接部的表面上分别形成一对非经转化的保护膜。其中，放电容器由透光介质所构成，并且放电容器的内部存在密封空间，密封空间存在放电用气体。

基于上述，本发明提供一种耐久性佳的准分子灯及制程简单的准分子灯的制造方法。具体而言，本发明的准分子灯经由在连接部上形成非经转化的保护膜，该非经转化的保护膜可保护连接部中的焊料，防止焊料因接触清洁液、酸气、紫外线或是准分子灯本身冷却不足时，导致焊接部氧化或温度过高而软化，造成准分子灯损坏的情形，藉此可有效提升准分子灯的耐久性。另外，经由本发明的准分子灯的制造方法，非经转化的保护膜的形成方法中无需经过额外加热等转化步骤，因此可以大幅简化准分子灯的制程，提升生产效率。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。

附图说明

图1(a)是依照本发明的第一实施例的一种准分子灯的上视图；

图1(b)是依照本发明的第一实施例的一种准分子灯的侧视图；

图1(c)是依照本发明的第一实施例的一种准分子灯的下视图；

图2是沿着图1(b)中的a-a'剖面的示意图；

图3(a)～图3(d)是依照本发明的第一实施例的一种准分子灯的制造方法的示意图。

附图标号说明：

100：准分子灯

120：放电容器

122：密封空间

130：第一电极

140：第二电极

150：第一引线

150a：第一芯线露出部

150b：第一被覆层

160：第二引线

160a：第二芯线露出部

160b：第二被覆层

170：第一连接部

170a：第一表面

170b：第三表面

172：第一焊料

174：第一金属片

176：第一非经转化的保护膜

180：第二连接部

180a：第二表面

180b：第四表面

182：第二焊料

184：第二金属片

186：第二非经转化的保护膜

c：黏着剂组成物

s1：第一外表面

s2：第二外表面

x、y、z：方向

具体实施方式

<准分子灯>

图1(a)～图1(c)分别是依照本发明的第一实施例的一种准分子灯100的上视图、侧视图以及下视图。图2是沿着图1(b)中的a-a'剖面的示意图。特别说明的是，为求清楚表示与便于说明，对图1(a)～图1(c)及图2中的各元件的厚度或比例被适度地放大或缩小，并不代表各元件的实际厚度或比例。请同时参照图1(a)～图1(c)及图2，准分子灯100包括放电容器120、第一电极130、第二电极140(第一电极130及第二电极140亦称为“一对电极”)、第一连接部170、第二连接部180(第一连接部170及第二连接部180亦称为“一对连接部”)、第一引线150、第二引线160(第一引线150及第二引线160亦称为“一对引线”)、第一非经转化的保护膜176以及第二非经转化的保护膜186(第一非经转化的保护膜176及第二非经转化的保护膜186亦称为“一对保护膜”)。

具体来说，放电容器120具有相对的第一外表面s1及第二外表面s2。第一电极130设置于放电容器120的第一外表面s1。第二电极140设置于放电容器120的第二外表面s2。又，第一连接部170及第二连接部180分别设置于第一电极130及第二电极140上。第一引线150及第二引线160分别电性连接至第一电极130及第二电极140。第一非经转化的保护膜176及第二非经转化的保护膜186分别覆盖在第一连接部170及第二连接部180上。

具体而言，放电容器120是由透光介质所构成。透光介质可列举合成石英玻璃。放电容器120的外观大致上为呈现扁平状的长方体。放电容器120的内部存在密封空间122。密封空间122存在放电用气体。放电用气体例如是氙气、氯气或者xecl。不同的放电用气体可以产生不同波长的准分子光，并且应用在不同的半导体制程。具体来说，若选用氙气作为放电用气体，则可放出波长为172nm的紫外线，藉此可将准分子灯应用于臭氧洗净制程。另外，若选用xecl作为放电用气体，则可放出波长为308nm的紫外线，藉此可将准分子灯应用于墨水硬化制程。

第一电极130是由金属膜所构成，其中金属膜形成于放电容器120的第一外表面s1的整个平面的成膜区域内。第二电极140是由金属膜所构成，其中金属膜是以网状的图案(格子状)形成于放电容器120的第二外表面s2的成膜区域内。

通过对第一电极130与第二电极140施加高频高压，而于由透光介质体构成的放电容器120的内部的密封空间122内产生介电体阻障放电(dielectricbarrierdischarge)并且放射真空紫外线，故而可穿过下平坦面的第二电极140的网眼的间隙而向下方放出真空紫外线。

第一连接部170及第二连接部180设置于放电容器120的同一端部，以便于电性连接至提供电源的插座。需注意的是，另外，第一连接部170与第二连接部180在x-y平面、x-z平面以及y-z平面的投影不重叠。

第一连接部170设置于第一电极130上。更进一步来说，第一连接部170较佳为与第一电极130互相接触。第一连接部170具有不与第一电极130接触的第一表面170a以及与第一电极130接触的第三表面170b。具体来说，以第一连接部170为具有前表面、后表面、上表面、下表面、左侧表面以及右侧表面的六个面的长方体为例，在长方体的下表面与第一电极130互相接触的情况下，前表面、后表面、上表面、左侧表面以及右侧表面属于第一表面170a，下表面属于第三表面170b。

第二连接部180设置于第二电极140上。更进一步来说，第二连接部180较佳为与第二电极140互相接触，其中第二连接部180具有不与第二电极140接触的第二表面180a以及与第二电极140接触的第四表面180b。具体来说，以第二连接部180为具有前表面、后表面、上表面、下表面、左侧表面以及右侧表面的六个面的长方体为例，在长方体的上表面与第二电极140互相接触的情况下，前表面、后表面、下表面、左侧表面以及右侧表面属于第二表面180a，上表面属于第四表面180b。

第一引线150的一端经由第一连接部170电性连接至第一电极130，并且另一端连接至电源(图未示)。

第二引线160的一端经由第二连接部180电性连接至第二电极140，并且另一端连接至电源(图未示)。

第一非经转化的保护膜176覆盖在第一连接部170的表面上。进一步而言，第一非经转化的保护膜176覆盖在经由第一电极130而露出的第一表面170a上。具体来说，如图2所示，第一非经转化的保护膜176覆盖在第一连接部170的与第一电极130接触的第三表面170b以外的第一表面170a上。第一非经转化的保护膜176可以防止第一连接部170因接触清洁液、酸气、紫外线而劣化，并提升准分子灯的耐久性。

在另一实施例中，第一非经转化的保护膜176较佳为进一步延伸而覆盖第一引线150的后述第一芯线露出部150a上。如此一来，可确保第一引线150的第一芯线露出部150a因接触清洁液、酸气、紫外线而劣化，并且更进一步提升准分子灯的耐久性。

第二非经转化的保护膜186覆盖在第二连接部180的表面上。进一步而言，第二非经转化的保护膜186覆盖在经由第二电极140而露出的第二表面180a上。具体来说，如图2所示，第二非经转化的保护膜186覆盖在第二连接部180的与第二电极140接触的第四表面180b以外的第二表面180a上。藉此，可防止第二连接部180因接触清洁液、酸气、紫外线而劣化，并提升准分子灯的耐久性。

在另一实施例中，第二非经转化的保护膜186较佳为进一步延伸而覆盖第二引线160的后述第二芯线露出部160a上。如此一来，可确保第二引线160的后述第二芯线露出部160a因接触清洁液、酸气、紫外线而劣化，并且更进一步提升准分子灯的耐久性。

第一非经转化的保护膜176及第二非经转化的保护膜186是由黏着剂组成物c所形成。黏着剂组成物c为一种陶瓷胶，其包括氧化铝、二氧化硅、金属硅酸盐以及水的黏着剂。

在一实施例中，黏着剂组成物c包括1质量％～3质量％的氧化铝、63质量％～73质量％的二氧化硅、4质量％～8质量％的金属硅酸盐以及21质量％～29质量％的水。金属硅酸盐包括硅酸钼、硅酸锂、硅酸钙、硅酸钠、硅酸钾、或其组合。

需注意的是，在使用黏着剂组成物c的情况下，只要在常温下进行干燥，无须经过加热、照光或加湿处理等转化步骤，即可在焊料的表面上形成保护膜，因此可有效简化制程，达到提升准分子灯的耐久性的功效。另外，非经转化的保护膜可确保焊接部(焊料)的绝缘效果及提升耐腐蚀性，避免焊接部异常放电、电极烧毁、准分子灯损坏等情形。又，由黏着剂组成物c所形成的非经转化的保护膜，通过使用状态下的准分子灯的加热，无需通过额外热处理，即可进一步提升保护膜的硬化效果，藉此提升绝缘效果及耐腐蚀性。

在本文中，所谓的“非经转化”是指黏着剂组成物在形成保护膜的过程中，不会进行由单体、寡聚物或聚合物进行化学反应转化成另一种单体、寡聚物或聚合物的步骤。因此，在本实施例中，第一非经转化的保护膜176及第二非经转化的保护膜186在黏着剂组成物c中的水分挥发干燥而形成，没有经过额外的热处理来进行转化步骤。

反之，“经转化”是指组成物在形成硬化膜的过程中，单体、寡聚物或聚合物会经由化学反应转化成另一种聚合物。具体来说，“经转化”的具体例可列举将聚硅胺烷加热形成二氧化硅的步骤；或者是将丙烯酸系单体、丙烯酸系改性环氧树脂或环氧树脂与硬化剂或催化剂于室温下混合硬化的步骤。将聚硅胺烷加热形成二氧化硅的过程中，需要额外的加热制程，因此会使制程复杂化，且耗能耗时。另外，丙烯酸系改性环氧树脂、丙烯酸系改性环氧树脂以及环氧树脂由于照射紫外线后有劣化的风险，因此不适合作为焊料表面上的保护膜。

接着，请同时参照图2及图3(d)。需注意的是，图3(d)为准分子灯的局部放大示意图，事实上，第一连接部170与第二连接部180在x-y平面、x-z平面以及y-z平面的投影皆不重叠。

如图2及图3(d)所示，自放电容器120的第一外表面s1起往+y方向依序为第一电极130、第一连接部170以及第一引线150，并且第一非经转化的保护膜176覆盖在第一连接部170的第一表面170a以及一部分的第一引线150。此处，箭头所指的方向为+y方向，箭头所指的方向的反方向为-y方向。

第一连接部170包括第一焊料172及第一金属片174。第一焊料172及第一金属片174形成堆叠于第一电极130上的结构。第一焊料172位于第一电极130与第一金属片174之间，并且第一金属片174经由第一焊料172连接至第一电极130。第一金属片174作为电性连接至第一电极130的接触片。

第一焊料172没有特别的限制，例如是锡合金等锡膏。

第一金属片174的材质可列举表面形成金的镍片、镍片、铜片、银片、铝片、或其他金属片。就耐腐蚀性及耐高温的观点而言，第一金属片174较佳为表面形成金的镍片。表面形成金的镍片例如是以溅镀或蒸镀的方式在镍片上形成金来制作。

值得注意的是，第一非经转化的保护膜176覆盖在第一焊料172的表面上。藉此，可确保第一焊料172不会因接触清洁液(乙醇、异丙醇)、酸气、紫外线或准分子灯100的管体冷却不足时，导致焊接部氧化或温度过高而软化，造成准分子灯损坏的情形，藉此提升准分子灯100的耐久性。

第一引线150经由第一连接部170电性连接至第一电极130。详细来说，第一引线150是由第一芯线露出部150a及覆盖于第一芯线周围的第一被覆层150b所构成。第一被覆层150b是由绝缘材料所构成。第一芯线露出部150a是由芯线经去除一部分的第一被覆层150b而露出。第一引线150的第一芯线露出部150a连接于第一连接部170的第一金属片174。第一引线150的第一芯线露出部150a连接于第一金属片174的方式没有特别的限制，例如是在第一金属片174形成环，再将第一芯线露出部150a扣接于第一金属片174上；或者将第一芯线露出部150a直接焊接于第一金属片174。

类似地，自放电容器120的第二外表面s2起往-y方向依序为第二电极140、第二连接部180以及第二引线160，并且第二非经转化的保护膜186覆盖在第二连接部180的第二表面180a以及一部分的第二引线160。

第二连接部180包括第二焊料182及第二金属片184。第二焊料182及第二金属片184形成堆叠于第二电极140上的结构。第二焊料182位于第二电极140与第二金属片184之间，并且第二金属片184经由第二焊料182连接至第二电极140。第二金属片184作为电性连接至第二电极140的接触片。

第二焊料182没有特别的限制，例如是锡合金等锡膏。

第二金属片184的材质的具体例与第一金属片174的材质的具体例相同，在此不另行赘述。第一金属片174与第二金属片184可为相同材质，亦可为不同材质。

值得注意的是，第二非经转化的保护膜186覆盖在第二焊料182的表面上。藉此，可确保第二焊料182不会因接触清洁液(乙醇、异丙醇)、酸气、紫外线或准分子灯100的管体冷却不足时，导致焊接部氧化或温度过高而软化，造成准分子灯损坏的情形，藉此提升准分子灯100的耐久性。

第二引线160经由第二连接部180电性连接至第二电极140。详细来说，第二引线160是由第二芯线露出部160a及覆盖于第二芯线周围的第二被覆层160b所构成。第二被覆层160b是由绝缘材料所构成。第二芯线露出部160a是由芯线经去除一部分的第二被覆层160b而露出。第二引线160的第二芯线露出部160a连接于第二连接部180的第二金属片184。第二引线160的第二芯线露出部160a连接于第二金属片184的方式没有特别的限制，例如是在第二金属片184形成环，再将第二芯线露出部160a扣接于第二金属片184上；或者将第二芯线露出部160a直接焊接于第二金属片184。

<准分子灯100的制造方法>

图3(a)～图3(d)是依照本发明的第一实施例的一种准分子灯100的制造方法的示意图。特别说明的是，为求清楚表示与便于说明，对图3(a)～图3(d)中的各元件的厚度或比例被适度地放大或缩小，并不代表各分层的实际厚度或比例。

请参照图3(a)。首先，提供放电容器120，其具有相对的第一外表面s1及第二外表面s2。接着，以印刷、溅镀或蒸镀的方式在放电容器120的第一外表面s1及第二外表面s2分别设置第一电极130及第二电极140。第一电极130及第二电极140例如是金、银、铜、镍、铬等具有耐蚀性的金属所构成。就导电性及耐久性而言，第一电极130及第二电极140较佳为金。

然后，请参照图3(b)。在第一电极130上放置焊料的块体后，将焊料的块体加热熔融，以形成熔融状态的第一焊料172。加热熔融的温度与锡合金的熔点有关，具体来说，加热熔融的温度约为300℃。接着，再将第一金属片174放置于第一电极130上的第一焊料172上，以将第一金属片174黏着于第一电极130上的第一焊料172上。亦即第一金属片174经由第一焊料172连接至第一电极130。如此一来，可于第一电极130上设置第一连接部170。接着，将第一引线150的第一芯线露出部150a设置于第一金属片174上，以使第一引线150经由第一连接部170电性连接至第一电极130。将第一引线150的第一芯线露出部150a设置于第一金属片174的方式没有特别的限制，例如是在第一金属片174形成环，再将第一芯线露出部150a扣接于第一金属片174上；或者将第一芯线露出部150a直接焊接于第一金属片174。

又，于第二电极140上设置第二连接部180的方法及于第二连接部180上设置第二引线160的方法分别与于第一电极130上设置第一连接部170的方法及于第一连接部170上设置第一引线150的方法相同，在此不另行赘述。

接着，请同时参照图3(c)及图3(d)。在第一连接部170经由第一电极130而露出的第一表面170a上以及在第二连接部180经由第二电极140而露出的第二表面180a上涂布黏着剂组成物c，并且在常温下进行干燥，藉此分别在第一表面170a及第二表面180a上形成第一非经转化的保护膜176及第二非经转化的保护膜186。黏着剂组成物c的组成如前文所述，在此不另行赘述。

综上所述，本发明提供一种耐久性佳的准分子灯及制程简单的准分子灯的制造方法。具体而言，本发明的准分子灯经由在焊料上形成非经转化的保护膜，该非经转化的保护膜可保护焊料，防止焊料因接触清洁液、酸气、紫外线或是准分子灯本身冷却不足时，导致焊接部氧化或温度过高而软化，造成准分子灯损坏的情形，藉此可有效提升准分子灯的耐久性。又，非经转化的保护膜的形成方法无需经过加热等转化步骤，因此可以大幅简化准分子灯的制程，有效提升生产效率。

虽然本发明已以实施例揭示如上，然其并非用以限定本发明，任何所属技术领域中技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更改与润饰，故本发明的保护范围当视权利要求所界定的为准。