技术特征：
技术总结
离子束中和系统，通常称为等离子体桥中和器(PBN)，作为离子束(蚀刻)系统的一部分。该系统采用改进的灯丝热电子发射器PBN设计，当其在特定的操作方法中使用时，极大地延长灯丝寿命并最小化长时间工作期间中和器工作参数的变化。PBN包括在PBN内产生轴向磁场的螺线管电磁体和促进磁场对齐并抑制杂散场的聚磁器。PBN可以容易地提供至少500小时的灯丝寿命。
技术研发人员：R·叶夫图霍夫;I·切伦科夫;B·德鲁兹;A·海耶斯;R·希罗尼米
受保护的技术使用者：维易科仪器有限公司
技术研发日：2019.02.20
技术公布日：2019.08.27