技术特征：
技术总结
本发明提供了一种薄膜晶体管、阵列基板及其制作方法、显示装置，属于显示技术领域。其中，薄膜晶体管的制作方法，包括：提供一衬底基板；在所述衬底基板上形成栅极，所述栅极的至少部分区域采用透明导电材料；形成覆盖所述栅极的栅绝缘层；在所述栅绝缘层上形成非晶硅图形，所述至少部分区域在所述衬底基板上的正投影与所述非晶硅图形在所述衬底基板上的正投影至少部分重合；从所述非晶硅图形背离所述衬底基板的一侧和所述衬底基板背离所述非晶硅图形的一侧同时对所述非晶硅图形进行激光退火处理。本发明的技术方案能够加快多晶硅薄膜晶体管制作过程中，形成多晶硅时的结晶速度，提高多晶硅薄膜晶体管的生产效率。
技术研发人员：曹可;桂学海;刘融;罗标;杨成绍
受保护的技术使用者：合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司
技术研发日：2019.03.25
技术公布日：2019.06.07