一种基于TSV的电感值可调的磁芯电感器的制作方法

文档序号:18241469发布日期:2019-07-24 09:02阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种基于TSV的电感值可调的磁芯电感器,其特征在于,包括二氧化硅基板c(3),所述二氧化硅基板c(3)的上下表面均嵌有“回”字形磁芯(4),所述二氧化硅基板c(3)上下表面分别设有二氧化硅基板a(1)和二氧化硅基板b(2),所述二氧化硅基板c(3)上表面的“回”字形磁芯(4)位于二氧化硅基板a(1)与二氧化硅基板c(3)之间,所述二氧化硅基板c(3)下表面的“回”字形磁芯(4)位于二氧化硅基板b(2)与二氧化硅基板c(3)之间,所述二氧化硅基板c(3)上设有若干硅通孔,若干所述硅通孔设置“回”字形磁芯(4)的内部和外部,所述二氧化硅基板a(1)下表面蚀刻有重布线层a和重布线层b,所述二氧化硅基板b(2)上表面蚀刻有重布线层c和重布线层d,所述重布线层a与布线层c之间、重布线层b与重布线层d之间通过若干硅通孔连接。

2.如权利要求1所述的一种基于TSV的电感值可调的磁芯电感器,其特征在于,所述重布线层a、重布线层b、重布线层c和重布线层d均为折线形,若干所述硅通孔的上端分别与重布线层a和重布线层c的结点连接,若干所述硅通孔的下端分别与重布线层c和重布线层d的结点连接。

3.如权利要求2所述的一种基于TSV的电感值可调的磁芯电感器,其特征在于,所述重布线层a和重布线层b镜像对称,所述重布线层c和重布线层d的镜像对称,所述重布线层a和重布线层c相同,所述重布线层b和重布线层d相同。

4.如权利要求2所述的一种基于TSV的电感值可调的磁芯电感器,其特征在于,所述硅通孔内的填充金属为铜。

5.如权利要求2所述的一种基于TSV的电感值可调的磁芯电感器,其特征在于,所述“回”字形磁芯(4)为铁氧体磁芯。

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