多层电容器的制作方法

文档序号:19934831发布日期:2020-02-14 22:26阅读:116来源:国知局
多层电容器的制作方法

本申请要求于2018年8月2日在韩国知识产权局提交的第10-2018-0090454号韩国专利申请的优先权的权益,该韩国专利申请的全部公开内容出于所有目的通过引用被包含于此。

本公开涉及一种多层电容器。



背景技术:

多层电容器在小型化和实现高容量方面具有积极特性,并且易于安装。因此,多层电容器可安装在包括显示装置(诸如液晶显示器(lcd)、等离子体显示面板(pdp)等)、计算机、智能电话和移动电话的各种类型的电子产品的电路板上,以用于充电或放电。

这样的多层电容器在长度方向和宽度方向上设置有边缘,并且这些边缘可用于保护内电极免受电应力、潮湿和镀液的影响。

因此,为了确保可靠性,应确保最小的边缘。在这种边缘不足的情况下,产品会有缺陷。



技术实现要素:

提供本发明内容以按照简化形式介绍选择的构思,以下在具体实施方式中进一步描述所述构思。本发明内容既不意在确定所要求保护的主题的关键特征或必要特征,也不意在用于帮助确定所要求保护的主题的范围。

本公开的一方面在于提供一种至少可确保电容器主体的相对最小边缘以确保可靠性的多层电容器。

根据本公开的一方面,一种多层电容器包括:电容器主体,包括有效区域以及分别设置在所述有效区域的上表面和下表面上的上覆盖层和下覆盖层,所述有效区域具有多个介电层以及交替地设置的多个第一内电极和多个第二内电极,且所述介电层介于所述第一内电极与所述第二内电极之间,所述电容器主体具有彼此相对的第一表面和第二表面、连接到所述第一表面和所述第二表面并且彼此相对的第三表面和第四表面以及连接到所述第一表面和所述第二表面、连接到所述第三表面和所述第四表面并且彼此相对的第五表面和第六表面,所述多个第一内电极的一端通过所述第三表面暴露,所述多个第二内电极的一端通过所述第四表面暴露;第一外电极和第二外电极,分别设置在所述电容器主体的端部上;以及多个虚设电极,设置在所述有效区域中的所述多个介电层中的每个介电层上,并通过所述介电层的拐角暴露。所述多个虚设电极中的每个虚设电极的长度等于所述第一内电极与所述电容器主体的所述第四表面之间的距离的60%或更小,或者等于所述第二内电极与所述电容器主体的所述第三表面之间的距离的60%或更小,所述长度位于从所述电容器主体的所述第三表面到所述第四表面的方向上。

根据本公开的另一方面,一种多层电容器包括:电容器主体,包括有效区域以及分别设置在所述有效区域的上表面和下表面上的上覆盖层和下覆盖层,所述有效区域具有多个介电层以及交替地设置的多个第一内电极和多个第二内电极,且所述介电层介于所述第一内电极与所述第二内电极之间,所述电容器主体具有彼此相对的第一表面和第二表面、连接到所述第一表面和所述第二表面并且彼此相对的第三表面和第四表面以及连接到所述第一表面和所述第二表面、连接到所述第三表面和所述第四表面并且彼此相对的第五表面和第六表面,所述多个第一内电极的一端通过所述第三表面暴露,所述多个第二内电极的一端通过所述第四表面暴露;第一外电极和第二外电极,分别设置在所述电容器主体的端部上;以及多个虚设电极,设置在所述有效区域中的所述多个介电层中的每个介电层上,并通过所述介电层的拐角暴露。所述多个虚设电极中的每个虚设电极的宽度等于所述第一内电极与所述电容器主体的所述第五表面或所述第六表面之间的距离的60%或更小或者等于所述第二内电极与所述电容器主体的所述第五表面或所述第六表面之间的距离的60%或更小,所述宽度位于从所述电容器主体的所述第五表面到所述第六表面的方向上。

所述多个虚设电极中的每个虚设电极在从所述电容器主体的所述第三表面到所述第四表面的方向上的长度可等于所述第一内电极与所述电容器主体的所述第四表面之间的距离的50%至60%,或者等于所述第二内电极与所述电容器主体的所述第三表面之间的距离的50%至60%。

所述多个虚设电极可按照总共四个虚设电极设置,所述四个虚设电极中的每个虚设电极设置在设置有所述第一内电极或所述第二内电极的单个介电层的四个拐角中的一个拐角上。

设置在一个介电层上的两个虚设电极的通过所述电容器主体的所述第三表面或所述第四表面暴露的暴露部分的长度比可满足1:9至5:5。

设置在一个介电层上的两个虚设电极的通过所述电容器主体的所述第五表面或所述第六表面暴露的暴露部分的长度比可满足1:9至5:5。

所述第一外电极可包括第一连接部和第一带部,所述第一连接部设置在所述电容器主体的所述第三表面上以连接到所述第一内电极,所述第一带部从所述第一连接部延伸到所述电容器主体的所述第一表面的一部分、所述第二表面的一部分、所述第五表面的一部分以及所述第六表面的一部分,所述第二外电极可包括第二连接部和第二带部,所述第二连接部设置在所述电容器主体的所述第四表面上以连接到所述第二内电极,所述第二带部从所述第二连接部延伸到所述电容器主体的所述第一表面的一部分、所述第二表面的一部分、所述第五表面的一部分以及所述第六表面的一部分。

通过下面的具体实施方式、附图和权利要求,本公开的其他特征和方面将是显而易见的。

附图说明

通过下面结合附图进行的详细描述,本公开的以上和其他方面、特征及优点将被更加清楚地理解,在附图中:

图1是示出根据本公开的实施例的多层电容器的示例的透视图;

图2是沿着图1中的线i-i'截取的截面图;

图3是省略了第一外电极和第二外电极的图1的透视图;以及

图4a是示出在图3的电容器主体中包括的虚设电极和第一内电极的示例的平面图,图4b是示出在图3的电容器主体中包括的虚设电极和第二内电极的示例的平面图。

在整个附图和具体实施方式中,相同的附图标记指示相同的元件。附图可不按比例绘制,并且为了清楚、说明和方便,可夸大附图中的元件的相对尺寸、比例和描绘。

具体实施方式

提供以下具体实施方式以帮助读者获得对在此所描述的方法、设备和/或系统的全面理解。然而,在理解本申请的公开内容之后,在此所描述的方法、设备和/或系统的各种改变、修改及等同物将是显而易见的。例如,在此所描述的操作的顺序仅仅是示例,并且不限于在此所阐述的顺序,而是除了必须以特定顺序发生的操作之外,可做出如在理解本申请的公开内容之后将是显而易见的改变。此外,为了提高清楚性和简洁性,可省略本领域中已知的特征的描述。

在此所描述的特征可以以不同的形式实施,并且不应被解释为限于在此所描述的示例。更确切地说,已经提供了在此所描述的示例,仅仅是为了示出在理解本申请的公开内容之后将是显而易见的实现在此描述的方法、设备和/或系统的诸多可行方式中的一些可行方式。

在整个说明书中,当元件(诸如,层、区域或基板)被描述为“在”另一元件“上”、“连接到”另一元件或“结合到”另一元件时,该元件可直接“在”另一元件“上”、直接“连接到”另一元件或直接“结合到”另一元件,或者可存在介于它们之间的一个或更多个其他元件。相比之下,当元件被描述为“直接在”另一元件“上”、“直接连接到”另一元件或“直接结合到”另一元件时,可不存在介于它们之间的其他元件。

在此使用的术语仅用于描述各种示例,并不用于限制本公开。如在此所使用的,术语“和/或”包括相关所列项中的任意一个和任意两个或更多个的任意组合。除非上下文另有明确说明,否则单数形式旨在也包括复数形式。

关于示例或实施例的术语“可”的使用(例如,关于示例或实施例可包括或实现什么)意味着存在包括或实现这种特征的至少一个示例或实施例,而所有示例和实施例不限于此。

尽管可在此使用诸如“第一”、“第二”和“第三”的术语来描述各种构件、组件、区域、层或部分,但是这些构件、组件、区域、层或部分不受这些术语限制。更确切地说,这些术语仅用于将一个构件、组件、区域、层或部分与另一构件、组件、区域、层或部分相区分。因此,在不脱离示例的教导的情况下,在此所描述的示例中所称的第一构件、第一组件、第一区域、第一层或第一部分也可被称为第二构件、第二组件、第二区域、第二层或第二部分。

为了易于描述,在此可使用诸如“上方”、“上面”、“下方”和“下面”的空间关系术语,以描述如附图所示的一个元件与另一元件的关系。这样的空间关系术语意图除了包含在附图中所描绘的方位之外,还包含装置在使用或操作中的不同方位。例如,如果附图中的装置被翻转,则被描述为相对于另一元件在“上方”或“上面”的元件随后将相对于另一元件在“下方”或“下面”。因此,术语“上方”根据装置的空间方位而包含“上方”和“下方”两种方位。所述装置还可以以其他方式定位(例如,旋转90度或处于其他方位),并将对在此使用的空间关系术语做出相应的解释。

由于制造技术和/或公差,可出现附图中所示的形状的变化。因此,在此所描述的示例不限于附图中所示的特定形状,而是包括在制造期间出现的形状的改变。

在下文中,当限定电容器主体110的方向以清楚地解释本公开的实施例时,附图中示出的x、y和z分别表示电容器主体110的长度方向、宽度方向和厚度方向。此外,在以下描述的示例中,z方向可按照与层叠介电层的层叠方向相同的概念被使用。

图1是示出多层电容器的示例的透视图,图2是沿着图1的线i-i'截取的截面图,图3是省略了第一外电极和第二外电极的图1的透视图,图4a是示出在图3的电容器主体中包括的第一内电极和虚设电极的平面图,图4b是示出在图3的电容器主体中包括的第二内电极和虚设电极的平面图。

参照图1至图4b,根据示例的多层电容器100包括电容器主体110、第一外电极131和第二外电极132以及多个第一虚设电极123和多个第二虚设电极124。

电容器主体110通过在z方向上层叠多个介电层111、然后对层叠的多个介电层111进行烧结来形成。在这种情况下,形成电容器主体110的多个介电层111可处于烧结状态,并且可成为一体,使得在不使用扫描电子显微镜(sem)的情况下会难以确认相邻介电层111之间的边界。

在这种情况下,电容器主体110可具有通常的六面体形状,但电容器主体的形状不限于此。电容器主体110的形状和尺寸以及介电层111的层叠的层的数量不限于附图中示出的电容器主体110的形状和尺寸以及介电层111的层叠的层的数量。

在此示例中,为了便于说明,电容器主体110在z方向上彼此相对的两个表面被称为第一表面1和第二表面2,电容器主体110的连接到第一表面1和第二表面2并且在x方向上彼此相对的两个表面被称为第三表面3和第四表面4,并且电容器主体110的连接到第一表面1和第二表面2并且在y方向上彼此相对的两个表面被称为第五表面5和第六表面6。在此示例中,第一表面1可以是安装方向上的表面。

介电层111可包括具有高介电常数的陶瓷材料,例如,钛酸钡(batio3)基或钛酸锶(srtio3)基陶瓷粉末等,但陶瓷材料不限于此。例如,可使用任意陶瓷材料,只要可从所述陶瓷材料获得足够的电容即可。

还可将陶瓷添加剂、有机溶剂、塑化剂、粘合剂、分散剂等与陶瓷粉末一起添加到介电层111。

陶瓷添加剂可以是例如过渡金属氧化物或过渡金属碳化物、稀土元素、镁(mg)、铝(al)等。

电容器主体110可被构造为包括:有效区域,用作对电容器的电容形成有贡献的部分;以及上覆盖层112和下覆盖层113,分别形成在有效区域的上部和下部上作为上边缘部和下边缘部。

有效区域包括交替设置的多个第一内电极121和多个第二内电极122,且介电层111介于第一内电极121和第二内电极122之间,并且第一内电极121的一端通过电容器主体110的第三表面3暴露,第二内电极122的一端通过电容器主体110的第四表面4暴露。

除了上覆盖层112和下覆盖层113不包括内电极以外,上覆盖层112和下覆盖层113可具有与介电层111的材料和构造相同的材料和构造。

上覆盖层112和下覆盖层113可通过分别在有效区域的在z方向上的上表面和下表面上层叠单个介电层或者两个或更多个介电层而形成。上覆盖层112和下覆盖层113可主要用于防止内电极121和122被物理应力或化学应力损坏。

第一内电极121和第二内电极122是具有不同极性的电极,并且通过在介电层111上将包含导电金属的导电膏印刷至预定厚度而形成,并且可通过设置在第一内电极121和第二内电极122之间的介电层111彼此电绝缘。

导电金属可以是例如银(ag)、钯(pd)、铂(pt)、镍(ni)和铜(cu)中的一种或它们的合金,但不限于此。

导电膏可通过丝网印刷方法、凹版印刷方法等印刷,但是其示例不限于此。

第一内电极121和第二内电极122通过第一内电极和第二内电极的通过电容器主体110的第三表面3和第四表面4交替暴露的部分分别电连接到第一外电极131和第二外电极132。

因此,当电压施加到第一外电极131和第二外电极132时,电荷在第一内电极121与第二内电极122之间累积。

在这种情况下,多层电容器100的电容与在有效区域中在z方向上彼此叠置的第一内电极121和第二内电极122的叠置面积成比例。

不同极性的电压被提供给第一外电极131和第二外电极132。第一外电极131和第二外电极132分别设置在电容器主体110在x方向上的两个端部上,以分别与第一内电极121的暴露部分和第二内电极122的暴露部分接触,从而分别电连接到第一内电极121和第二内电极122。

可根据需要在第一外电极131和第二外电极132的表面上形成镀层(未示出)。

例如,第一外电极131可包括第一导电层、形成在第一导电层上的第一镍(ni)镀层和形成在第一镍镀层上的第一锡(sn)镀层,第二外电极132可包括第二导电层、形成在第二导电层上的第二镍(ni)镀层和形成在第二镍镀上的第二锡(sn)镀层。

第一外电极131可包括第一连接部131a和第一带部131b。

第一连接部131a设置在电容器主体110的第三表面3上,以连接到第一内电极121。第一带部131b被构造为从第一连接部131a延伸到电容器主体110的第一表面1的一部分、第二表面2的一部分、第五表面5的一部分和第六表面6的一部分。

第二外电极132可包括第二连接部132a和第二带部132b。

第二连接部132a设置在电容器主体110的第四表面4上,以连接到第二内电极122。第二带部132b被构造为从第二连接部132a延伸到电容器主体110的第一表面1的一部分、第二表面2的一部分、第五表面5的一部分和第六表面6的一部分。

在此示例中的虚设电极的情况下,多个虚设电极按照虚设电极通过介电层111的拐角暴露这样的方式设置在有效区域中的在z方向上层叠的介电层111的每个介电层上。

虚设电极包括:第一虚设电极123,设置在其上设置有第一内电极121的介电层111上;以及第二虚设电极124,设置在其上设置有第二内电极122的介电层111上。

在这种情况下(在第一虚设电极123和第二虚设电极124的情况下),考虑到介电层111大体上是四边形,可在一个介电层111的四个拐角上分别设置总共四个虚设电极。详细地,每个虚设电极设置在一个介电层111的每个拐角上,并且与第一内电极121和第二内电极122分开。

如上所述,设置在一个介电层111的拐角上的四个第一虚设电极123或四个第二虚设电极124在x方向和y方向上彼此分开。

如上所述构造的第一虚设电极123和第二虚设电极124暴露于电容器主体110的拐角(稍后描述),以能够用于确定是否确保了电容器主体110的在x方向和y方向上的最小边缘值。

另一方面,在从电容器主体110的第三表面3到电容器主体110的第四表面4的x方向上,每个第一虚设电极123的长度l1可以是第一内电极121与电容器主体110的第四表面4之间的距离lm1的60%或更小,每个第二虚设电极124的长度l2可以是第二内电极122与电容器主体110的第三表面3之间的距离lm2的60%或更小。如果l1与lm1的比以及l2与lm2的比超过60%,则由于第一虚设电极123与第一内电极121之间的距离以及第二虚设电极124与第二内电极122之间的距离减小,因此会发生诸如电流泄漏和短路的问题。

此外,在从电容器主体110的第五表面5到电容器主体110的第六表面6的y方向上,每个第一虚设电极123的宽度w1可以是第一内电极121与电容器主体110的第五表面5或第六表面6之间的距离wm1的60%或更小,每个第二虚设电极124的宽度w2可以是第二内电极122与电容器主体110的第五表面5或第六表面6之间的距离wm2的60%或更小。如果w1与wm1的比以及w2与wm2的比超过60%,则由于第一虚设电极123与第一内电极121之间的距离以及第二虚设电极124与第二内电极122之间的距离减小,因此会发生诸如电流泄漏和短路的问题。

在根据现有技术的多层电容器的制造工艺中,将多个生片层叠、压制并且然后切割成预定尺寸,以提供作为层叠体的电容器主体。

在这种情况下,在层叠生片并切割生片的工艺期间,电容器主体的边缘可移到一侧。

因此,在现有技术中为了确保电容器主体110的y方向的最小边缘,可在切割生片后形成外电极之前执行宏观检测等,以使用自动装置或肉眼检测生片的长度-宽度方向截面,从而检测在x方向上的最小边缘和在y方向上的最小边缘两者,以确定缺陷片。

然而,在以上提及的根据现有技术的缺陷芯片筛选方法中,缺陷片的筛选比例根据于检查者或检测环境而存在严重偏差。此外,在一些情况下,可能错误地将在一侧上(例如,在y方向的边缘中)具有几μm的过小的缺陷的一些缺陷产品选择为可接受的产品。

由于在没有确保最小边缘的缺陷产品的情况下绝缘电阻(ir)比参考值小,因此为了减小这样的缺陷,需要增加对切割缺陷片的检测,以确保在x方向上的最小边缘和在y方向上的最小边缘。

另外,在本公开的示例中,多个第一虚设电极123和多个第二虚设电极124分别设置在介电层111的四个拐角上并且分别通过介电层111的四个拐角暴露。

第一虚设电极123可包括:1-1虚设电极123a,通过电容器主体110的第三表面3和第六表面6暴露;1-2虚设电极123b,通过电容器主体110的第四表面4和第六表面6暴露;1-3虚设电极123c,通过电容器主体110的第三表面3和第五表面5暴露;以及1-4虚设电极123d,通过电容器主体110的第四表面4和第五表面5暴露。

在这种情况下,例如,当1-1虚设电极123a的通过电容器主体110的第六表面6暴露的暴露部分和1-2虚设电极123b的通过电容器主体110的第六表面6暴露的暴露部分的尺寸比(例如,长度比)满足1:9至5:5时,所述片被认为是正常的切割片。

例如,当1-3虚设电极123c的通过电容器主体110的第五表面5暴露的暴露部分和1-4虚设电极123d的通过电容器主体110的第五表面5暴露的暴露部分的尺寸比满足1:9至5:5时,所述片被认为是正常的切割片。

如果所述比小于1:9或者超过5:5,则所述片会容易被分类为缺陷片。在所述比小于1:9的情况下,由于虚设电极的尺寸非常小,因此几乎就好像什么都没有一样。因此,在此示例中,1:9的比可被设置为如上所述的缺陷筛选的最小参考值。

这还适用于电容器主体110的y方向,因此,在1-1虚设电极123a的通过电容器主体110的第三表面3暴露的暴露部分和1-3虚设电极123c的通过电容器主体110的第三表面3暴露的暴露部分的尺寸比满足1:9至5:5的情况下,所述片被认为是正常的切割片。

当1-2虚设电极123b的通过电容器主体110的第四表面4暴露的暴露部分和1-4虚设电极123d的通过电容器主体110的第四表面4暴露的暴露部分的尺寸比满足1:9至5:5时,所述片被认为是正常的切割片。

如果其尺寸比小于1:9或超过5:5,则所述片可容易被分类为缺陷片。

第二虚设电极124包括:2-1虚设电极124a,通过电容器主体110的第三表面3和第六表面6暴露;2-2虚设电极124b,通过电容器主体110的第四表面4和第六表面6暴露;2-3虚设电极124c,通过电容器主体110的第三表面3和第五表面5暴露;以及2-4虚设电极124d,通过电容器主体110的第四表面4和第五表面5暴露。

在这种情况下,当2-1虚设电极124a的通过电容器主体110的第六表面6暴露的暴露部分和2-2虚设电极124b的通过电容器主体110的第六表面6暴露的暴露部分的尺寸比满足1:9至5:5时,所述片被认为是正常的切割片。

例如,当2-3虚设电极124c的通过电容器主体110的第五表面5暴露的暴露部分和2-4虚设电极124d的通过电容器主体110的第五表面5暴露的暴露部分的尺寸比满足1:9至5:5时,所述片被认为是正常的切割片。

如果其尺寸比小于1:9或超过5:5,则所述片会容易被分类为缺陷片。

这同样可适用于电容器主体110的y方向,因此,当2-1虚设电极124a的通过电容器主体110的第三表面3暴露的暴露部分和2-3虚设电极124c的通过电容器主体110的第三表面3暴露的暴露部分的尺寸比满足1:9至5:5时,所述片会被认为是正常的切割片。

当2-2虚设电极124b的通过电容器主体110的第四表面4暴露的暴露部分和2-4虚设电极124d的通过电容器主体110的第四表面4暴露的暴露部分的尺寸比满足1:9至5:5时,所述片会被认为是正常的切割片。

如果其尺寸比小于1:9或超过5:5,则所述片会容易被分类为缺陷片。

试验示例

表1示出了使用不同长度的虚设电极的高温和高湿度(rh)负载测试的结果。

层叠多个生片和多个内电极,然后进行切割以制备层叠体。在执行塑化工艺和烧制工艺之后,可在两个端部上形成外电极,并且可形成镍镀层和锡镀层。制成品的长度和宽度分别为16mm和8mm,从而制造具有47μf的电特性的多层电容器。

在这种情况下,定义比较示例(ref)是未形成虚设电极的情况,并且在本公开中的实施例的情况下,存在:样品a,设置有具有相对于y方向的边缘的宽度的10%的宽度的虚设电极;样品b,设置有具有相对于y方向的边缘的宽度的20%的宽度的虚设电极;样品c,设置有具有相对于y方向的边缘的宽度的30%的宽度的虚设电极;样品d,设置有具有相对于y方向的边缘的宽度的40%的宽度的虚设电极;样品e,设置有具有相对于y方向的边缘的宽度的50%的宽度的虚设电极;样品f,设置有具有相对于y方向的边缘的宽度的60%的宽度的虚设电极;样品g,设置有具有相对于y方向的边缘的宽度的70%的宽度的虚设电极;样品h,设置有具有相对于y方向的边缘的宽度的80%的宽度的虚设电极。

在这种情况下,选择性地排除如下样品:两个虚设电极的通过电容器主体的第三表面暴露的暴露长度的比小于1:9的样品、两个虚设电极的通过电容器主体的第四表面暴露的暴露长度的比小于1:9的样品,或者一侧虚设电极不可见的样品。

表1示出了针对每种样品的400个样本、在85℃、85rh(%)和6.3v的条件下共100小时的负载测试的结果。在这种情况下,即使当一个样本未通过测试时,相关样品也被确定为是有缺陷的。

[表1]

参照表1,可确认的是,在虚设电极在y方向上的宽度与电容器主体的在y方向上的边缘的宽度的比为60%或更小的样品a至样品f的情况下,没有观察到缺陷,在比较示例中以及在虚设电极在y方向上的宽度与电容器主体的在y方向上的边缘的宽度的比超过60%的样品g和样品h中,2小时后发生缺陷。

因此,可领会的是,虚设电极的y方向的宽度与电容器主体的y方向的边缘的宽度的比可以为60%或更小。

如下表2所示,这些数值还可类似地应用于虚设电极的x方向的长度与电容器主体的x方向的边缘的长度的比。

[表2]

下表3示出了针对具有不同宽度的虚设电极、虚设电极的可接触性的高温和高湿度负载测试的结果。

下表3中的电容接触可表示内电极与外电极之间的电连接。例如,在内电极的一部分未连接到外电极的情况下,可测量到的电容小于参考电容。下表3中的数值表示可测量到的电容与参考电容的百分比。

[表3]

参照表3,由于样品a、样品b、样品c和样品d中的虚设电极的宽度相对不大,因此与比较示例相比,针对样品a、样品b、样品c和样品d的可接触性未观察到显著差异。然而,在样品e、样品f、样品g和样品h的情况下,可确认是,与比较示例相比,可接触性显著改善。因此,可看出,虚设电极的y方向的宽度与电容器主体的y方向的边缘的宽度的比具体为50%或更大至60%或更小。

表3中的这些数值还可类似地应用于虚设电极的x方向的长度与电容器主体的x方向的边缘的长度的比。也就是说,虚设电极的x方向的长度与电容器主体的x方向的边缘的长度的比具体为50%至60%。

如以上所阐述的,根据示例性实施例,虚设电极可设置在有效区域中的介电层的拐角上,以确保电容器主体在长度方向和宽度方向上的相对最小的边缘,从而确保多层电容器的可靠性。

虽然本公开包括特定的示例,但是在理解本申请的公开内容之后将显而易见的是,在不脱离权利要求及其等同物的精神和范围的情况下,可在这些示例中做出形式和细节上的各种改变。在此所描述的示例将仅被视为描述性意义,而非出于限制的目的。在每个示例中本公开的特征或方面的描述将被认为可适用于其他示例中的本公开的类似的特征或方面。如果以不同的顺序执行描述的技术,和/或如果以不同的方式组合描述的系统、架构、装置或者电路中的组件,和/或用其他组件或者它们的等同物来替换或者补充描述的系统、架构、装置或者电路中的组件,则可获得适当的结果。因此,本公开的范围不由具体实施方式限定,而是由权利要求及其等同物限定,并且在权利要求及其等同物的范围内的所有变化将被解释为被包括在本公开中。

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