一种晶圆级芯片封装结构及制备方法与流程

文档序号:22920637发布日期:2020-11-13 16:09阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种晶圆级芯片封装结构的制备方法,其特征在于,包括步骤:

提供一待处理晶圆级芯片封装结构,所述待处理晶圆级芯片封装结构包括:基底、重新布线层、封装层,所述重新布线层形成于所述基底上,所述封装层形成于所述重新布线层上,所述待处理晶圆级芯片封装结构具有划片槽区域,所述待处理晶圆级芯片封装结构具有翘曲;

于所述封装层上形成凹槽,所述凹槽位于所述划片槽区域上,所述凹槽降低所述待处理晶圆级芯片封装结构内部的应力,以获得平坦化的晶圆级芯片封装结构。

2.根据权利要求1所述的晶圆级芯片封装结构的制备方法,其特征在于:所述凹槽位于所述划片槽区域内。

3.根据权利要求1所述的晶圆级芯片封装结构的制备方法,其特征在于:所述凹槽贯穿所述封装层。

4.根据权利要求1所述的晶圆级芯片封装结构的制备方法,其特征在于:所述凹槽未贯穿所述封装层,且所述凹槽的深度占所述封装层厚度的比例介于1/2~4/5之间。

5.根据权利要求1所述的晶圆级芯片封装结构的制备方法,其特征在于:形成所述凹槽的方法包括机械方法、激光开槽方法及化学刻蚀方法中的一种。

6.根据权利要求1所述的晶圆级芯片封装结构的制备方法,其特征在于:形成所述凹槽后还包括退火处理。

7.根据权利要求6所述的晶圆级芯片封装结构的制备方法,其特征在于:所述退火处理的加热温度不超过200℃。

8.根据权利要求6所述的晶圆级芯片封装结构的制备方法,其特征在于:所述退火处理包括冷却的步骤,所述冷却的方法包括自然冷却。

9.根据权利要求1所述的晶圆级芯片封装结构的制备方法,其特征在于:还包括于所述凹槽内及所述封装层的上表面形成保护层,所述保护层还覆盖所述凹槽的边角区域。

10.根据权利要求9所述的晶圆级芯片封装结构的制备方法,其特征在于:所述保护层的材料包括环氧树脂。

11.一种晶圆级芯片封装结构,其特征在于,包括:

基底;

重新布线层,形成于所述基底上,所述重新布线层具有划片槽区域;

封装层,形成于所述重新布线层上;

凹槽,形成于所述封装层中,所述凹槽位于所述划片槽区域上。

12.根据权利要求11所述的晶圆级芯片封装结构,其特征在于:所述凹槽位于所述划片槽区域内。

13.根据权利要求11所述的晶圆级芯片封装结构,其特征在于:所述凹槽贯穿所述封装层。

14.根据权利要求11所述的晶圆级芯片封装结构,其特征在于:所述凹槽未贯穿所述封装层,且所述凹槽的深度占所述封装层厚度的比例介于1/2~4/5之间。

15.根据权利要求11所述的晶圆级芯片封装结构,其特征在于:还包括保护层,所述保护层形成于所述凹槽内及所述封装层的上表面,所述保护层覆盖所述凹槽的边角区域。

16.根据权利要求15所述的晶圆级芯片封装结构,其特征在于:所述保护层的材料包括环氧树脂。


技术总结
本发明提供一种晶圆级芯片封装结构及制备方法,晶圆级芯片封装结构包括:基底;重新布线层,形成于所述基底上,所述重新布线层具有划片槽区域;封装层,形成于所述重新布线层上;凹槽,形成于所述封装层中,所述凹槽位于所述划片槽区域上。本发明的晶圆级芯片封装结构及制备方法能释放封装结构内部的应力,降低晶圆的翘曲度,增加工艺稳定性,提升良率,增加产出。

技术研发人员:徐罕;陈彦亨;吴政达;林正忠
受保护的技术使用者:中芯长电半导体(江阴)有限公司
技术研发日:2019.05.13
技术公布日:2020.11.13
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