1.一种晶圆级芯片封装结构的制备方法,其特征在于,包括步骤:
提供一待处理晶圆级芯片封装结构,所述待处理晶圆级芯片封装结构包括:基底、重新布线层、封装层,所述重新布线层形成于所述基底上,所述封装层形成于所述重新布线层上,所述待处理晶圆级芯片封装结构具有划片槽区域,所述待处理晶圆级芯片封装结构具有翘曲;
于所述封装层上形成凹槽,所述凹槽位于所述划片槽区域上,所述凹槽降低所述待处理晶圆级芯片封装结构内部的应力,以获得平坦化的晶圆级芯片封装结构。
2.根据权利要求1所述的晶圆级芯片封装结构的制备方法,其特征在于:所述凹槽位于所述划片槽区域内。
3.根据权利要求1所述的晶圆级芯片封装结构的制备方法,其特征在于:所述凹槽贯穿所述封装层。
4.根据权利要求1所述的晶圆级芯片封装结构的制备方法,其特征在于:所述凹槽未贯穿所述封装层,且所述凹槽的深度占所述封装层厚度的比例介于1/2~4/5之间。
5.根据权利要求1所述的晶圆级芯片封装结构的制备方法,其特征在于:形成所述凹槽的方法包括机械方法、激光开槽方法及化学刻蚀方法中的一种。
6.根据权利要求1所述的晶圆级芯片封装结构的制备方法,其特征在于:形成所述凹槽后还包括退火处理。
7.根据权利要求6所述的晶圆级芯片封装结构的制备方法,其特征在于:所述退火处理的加热温度不超过200℃。
8.根据权利要求6所述的晶圆级芯片封装结构的制备方法,其特征在于:所述退火处理包括冷却的步骤,所述冷却的方法包括自然冷却。
9.根据权利要求1所述的晶圆级芯片封装结构的制备方法,其特征在于:还包括于所述凹槽内及所述封装层的上表面形成保护层,所述保护层还覆盖所述凹槽的边角区域。
10.根据权利要求9所述的晶圆级芯片封装结构的制备方法,其特征在于:所述保护层的材料包括环氧树脂。
11.一种晶圆级芯片封装结构,其特征在于,包括:
基底;
重新布线层,形成于所述基底上,所述重新布线层具有划片槽区域;
封装层,形成于所述重新布线层上;
凹槽,形成于所述封装层中,所述凹槽位于所述划片槽区域上。
12.根据权利要求11所述的晶圆级芯片封装结构,其特征在于:所述凹槽位于所述划片槽区域内。
13.根据权利要求11所述的晶圆级芯片封装结构,其特征在于:所述凹槽贯穿所述封装层。
14.根据权利要求11所述的晶圆级芯片封装结构,其特征在于:所述凹槽未贯穿所述封装层,且所述凹槽的深度占所述封装层厚度的比例介于1/2~4/5之间。
15.根据权利要求11所述的晶圆级芯片封装结构,其特征在于:还包括保护层,所述保护层形成于所述凹槽内及所述封装层的上表面,所述保护层覆盖所述凹槽的边角区域。
16.根据权利要求15所述的晶圆级芯片封装结构,其特征在于:所述保护层的材料包括环氧树脂。