技术总结
本发明提供一种应用于芯片级原子钟与原子磁力计的干涉型VCSEL激光器，在输出光端面设置滤光/反馈薄膜组和部分反射膜，滤光/反馈薄膜组包括多层高折射率材料‑低折射率材料薄膜，VCSEL激光芯片输出的相干光束经滤光/反馈薄膜组选频率得到单波长光束，然后被部分反射膜部分反射，反射光在由输出光端面与滤光/反馈薄膜组构成的谐振腔中振荡、放大至超过振荡阈值。本发明将VCSEL激光芯片和多层兼具滤光和外腔反馈功能于一体的滤光/反馈薄膜组集成一体化，获得一种小型集成化、窄线宽的激光器，具有结构简单、生产低成本、高抗干扰性、窄线宽特性，因此适用于芯片级原子光学器件并实现批量生产。
技术研发人员：陈景标;常鹏媛
受保护的技术使用者：温州激光与光电子协同创新中心
技术研发日：2019.06.20
技术公布日：2019.09.20