一种芯子热定型工艺方法与流程

文档序号:18904593发布日期:2019-10-18 22:30阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明公开了一种芯子热定型工艺方法,步骤一、将电容芯子放入第一烘烤箱内,对第一烘烤箱内进行抽真空处理,保持箱内真空压力为4‑7mbar。本发明中,电容器芯子放置在第一烤箱内,并进行4‑7mbar的抽真空处理,经显微镜对芯子切断层检测,检测断面空鼓点的数量为3‑7个/mm,空鼓点的大小为Φ0.1‑0.6mm,对比常规的热定型工艺,检测断面空鼓点的数量为15‑23个/mm,空鼓点的大小为0.8‑1mm,其效果明显,然后进行88‑91℃的温度预处理,并保温3‑5h,然后转移至第二烤箱内,并对第二烤箱内进行氮气填充提升温度121‑128℃,并保温3.5‑5h,经显微镜对芯子切断层检测,强化层厚度为1‑8um,相对常规的直接进行热定型,检测的断面氧化层厚度为20‑34um,效果明显。

技术研发人员:郑军;邵淋锋;沈晓宇
受保护的技术使用者:南通海美电子有限公司
技术研发日:2019.07.11
技术公布日:2019.10.18
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