技术总结
本发明公开了一种传送晶圆的机械手臂及晶圆清洗装置，传送晶圆的机械手臂包括基体、第一手臂、第二手臂、多个第一喷嘴以及多个第二喷嘴。第一手臂及第二手臂连接于基体的底部。第一手臂与第二手臂相对设置，用以夹取沿一个方向排列的多个晶圆。第一喷嘴设于第一手臂或基体上，第二喷嘴设于第二手臂或基体上。本发明的机械手臂及晶圆清洗装置具有防止晶圆过早干燥的功能。圆过早干燥的功能。圆过早干燥的功能。
技术研发人员：蔡奉儒 董学儒
受保护的技术使用者：南亚科技股份有限公司
技术研发日：2019.07.24
技术公布日：2021/2/1