Ti-Ga-Sb相变材料、相变存储器及Ti-Ga-Sb相变材料的制备方法与流程

文档序号:19790325发布日期:2020-01-24 14:11阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种ti-ga-sb相变材料,其特征在于,所述ti-ga-sb相变材料为ti,sb,ga元素组成的化学通式为tixgaysb100-x-y的材料;其中,x,y分别为原子个数百分比,且0<x<50,0<y<50,0<x+y<60。

2.根据权利要求1所述的ti-ga-sb相变材料,其中,x,y值的取值范围为:10≤x≤y≤30。

3.一种相变存储器,其利用权利要求1或2所述的ti-ga-sb相变材料作为相变存储材料,其特征在于,

所述ti-ga-sb相变材料在所述相变存储器中为厚度介于20~200nm之间的相变薄膜材料。

4.根据权利要求3所述的相变存储器,其中,所述相变薄膜材料为ti20ga30sb50相变薄膜材料。

5.根据权利要求1~4中任一项所述的ti-ga-sb相变材料,其中,所述ti-ga-sb相变材料可采用磁控共溅射法、电子束蒸发法、气相沉积法或者原子层沉积法制备而成。

6.一种ti-ga-sb相变材料的制备方法,用于权利要求4或5中所述相变薄膜材料的制备,其采用磁控共溅射法制备,步骤如下,

s1:根据所述相变薄膜材料的尺寸选取相应尺寸的溅射基片,并对其进行清洁处理;

s2:分别准备ga-sb合金靶和ti单质靶,并对应设置两靶材与所述溅射基片的位置;

s3:采用高纯惰性气体作为溅射气体,并调节所述溅射气体的流量和溅射气压;

s4:分别设定所述ga-sb合金靶和所述ti单质靶的溅射电源功率,采用双靶共溅射法制备所述相变薄膜材料,并通过控制溅射时间来制得不同厚度的所述相变薄膜材料。

7.根据权利要求6所述的ti-ga-sb相变材料的制备方法,其中,所述ga-sb合金靶为ga20sb80合金靶、ga30sb70合金靶或者ga40sb60合金靶。

8.根据权利要求6或7所述的ti-ga-sb相变材料的制备方法,其中,在步骤s4中,所述ga-sb合金靶的溅射电源功率为30~40w,所述ti单质靶的溅射电源功率为3~10w。

9.根据权利要求6~8中任一项所述的ti-ga-sb相变材料的制备方法,其中,步骤s4中的溅射时间为2~15min。

10.根据权利要求6~9中任一项所述的ti-ga-sb相变材料的制备方法,其中,在步骤s4开始前,还进行了所述ga-sb合金靶和所述ti单质靶的表面清洁过程,方法如下:

将空基托旋转到对正所述ga-sb合金靶和所述ti单质靶的靶位,打开两靶位的挡板,进行预溅射5~10min。

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