晶粒挑拣装置的制作方法

[0001]
本发明涉及一种晶粒挑拣装置，且特别是有关于一种提升晶粒完整性、降低工时与提升效率的装置。


背景技术：

[0002]
现有的晶粒挑拣技术，由供应单元取下晶粒，在移动至承接单元，以将晶粒放置于承接单元。然于实际制程中，供应单元至承接单元的路径较长，故制程需要较长的时间，而使效率较为低落。
[0003]
虽有厂商为了缩短供应单元至承接单元之间的路径，而将供应单元与承接单元变更为直立式，供应单元系平行于承接单元，以提升效率。但将晶粒由直立式供应单元取下时，晶粒易由直立式供应单元掉落，故虽可提升效率，但晶粒的报废率也提升。
[0004]
综合上述，现有的晶粒挑拣技术具有效率低、工时较长与报废率高的缺点，所以如何改善现有的晶粒挑拣技术就有可以改善的空间。


技术实现要素：

[0005]
有鉴于上述的现有的晶粒挑拣技术仍有可改善空间，本发明提供一种晶粒挑拣装置，其将晶粒依序翻转一第一预定角度与一第二预定角度，如此降低晶粒的报废率，以及提升效率与降低工时。
[0006]
为实现上述目的，本发明采用的技术方案是：
[0007]
一种晶粒挑拣装置，其特征在于，包括：
[0008]
一供应单元；
[0009]
一第一翻转单元，其相邻于该供应单元；
[0010]
一取放单元，其相邻于该第一翻转单元；
[0011]
一接收单元，其相邻于该取放单元，并且该接收单元垂直或平行于该供应单元；以及
[0012]
一第二翻转单元，其位于该取放单元与该接收单元之间；
[0013]
其中，该供应单元提供至少一晶粒给该第一翻转单元，该第一翻转单元将该晶粒翻转一第一预定角度，该取放单元接收已翻转至该第一预定角度的该晶粒，该取放单元将该晶粒提供给该第二翻转单元，该第二翻转单元再将该晶粒翻转至一第二预定角度，并将该晶粒提供给该接收单元。
[0014]
所述的晶粒挑拣装置，其中：还具有一第一视觉单元、一第二视觉单元与一第三视觉单元；该第一视觉单元设于该供应单元的上方；该第二视觉单元设于该翻转单元的上方；该第三视觉单元设于该接收单元的上方。
[0015]
所述的晶粒挑拣装置，其中：还具有一多面检测单元，该多面检测单元相邻于该取放单元。
[0016]
所述的晶粒挑拣装置，其中：该取放单元具有一旋转模块、至少一自转模块与至少
一吸取模块，该自转模块设于该旋转模块，该吸取模块耦接该自转模块。
[0017]
所述的晶粒挑拣装置，其中：该多面检测单元具有至少一侧视觉模块与一仰视觉模块，该侧视觉模块位于该吸取模块的一侧，该仰视觉模块位于该吸取模块的下方。
[0018]
所述的晶粒挑拣装置，其中：该供应单元具有一供应载台与至少一顶针，该顶针位于该供应载台的下方。
[0019]
所述的晶粒挑拣装置，其中：该第一翻转单元具有至少一第一吸取模块与至少一第一转动模块，该第一吸取模块设于该第一转动模块。
[0020]
所述的晶粒挑拣装置，其中：该第二翻转单元具有至少一第二吸取模块与至少一第二转动模块，该第二吸取模块设于该第二转动模块。
[0021]
所述的晶粒挑拣装置，其中：该第一吸取模块吸取该晶粒具有锡球的一面具有能够容纳该锡球的空间。
[0022]
所述的晶粒挑拣装置，其中：该第二吸取模块吸取该晶粒具有锡球的一面具有能够容纳该锡球的空间。
[0023]
基于上述，本发明的接收单元垂直于供应单元，故当供应单元提供晶粒时，晶粒不会由供应单元上掉落，所以可确保晶粒的完整性，以提升晶粒的完整率。
[0024]
再者，直立式的接收单元垂直或平行于供应单元的设计也可缩短接收单元与供应单元之间的路径，如此提升效率，并且缩短整体制程时间。
[0025]
为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附图式作详细说明如下。
附图说明
[0026]
图1为本发明的一种晶粒挑拣装置的第一实施例的示意图。
[0027]
图2为本发明的一种晶粒挑拣装置的第一实施例的俯视示意图。
[0028]
图3为本发明的一种晶粒挑拣装置的第一实施例的动作示意图。
[0029]
图4为本发明的一种晶粒挑拣装置的第一实施例的又一动作示意图。
[0030]
图5为本发明的一种晶粒挑拣装置的第一实施例的再一动作示意图。
[0031]
图6为本发明的一种晶粒挑拣装置的第二实施例的动作示意图。
[0032]
图7为本发明的一种晶粒挑拣装置的第二实施例的又一动作示意图。
[0033]
附图标记说明：10供应单元；100供应载台；101顶针；11第一翻转单元；110第一吸取模块；111第一转动模块；12取放单元；120旋转模块；121自转模块；122吸取模块；13接收单元；130接收载台；14第一视觉单元；15第二视觉单元；16第三视觉单元；17多面检测单元；170侧视觉模块；171仰视觉模块；18第二翻转单元；180第二吸取模块；181第二转动模块；20膜；21晶粒；22锡球；30供应单元；300供应载台；301顶针；31第一翻转单元；310第一吸取模块；311第一转动模块；32取放单元；320旋转模块；321自转模块；322吸取模块；33接收单元；330接收载台；34第一视觉单元；35第二视觉单元；36第三视觉单元；371仰视觉模块；38第二翻转单元；380第二吸取模块；381第二转动模块；40膜；41晶粒；42锡球。
具体实施方式
[0034]
请配合参考图1与图2所示，本发明系一种晶粒挑拣装置的第一实施例，其具有一
供应单元10、一第一翻转单元11、一取放单元12、一接收单元13、一第一视觉单元14、一第二视觉单元15、一第三视觉单元16、一多面检测单元17与一第二翻转单元18。
[0035]
供应单元10具有一供应载台100与至少一顶针101。顶针101位于供应载台100的下方。供应载台100系供一膜20与至少一晶片21设置。晶片21系粘附于膜20的顶端。各晶片21具有一锡球22。
[0036]
第一翻转单元11相邻于供应单元10。第一翻转单元11具有至少一第一吸取模块110与至少一第一转动模块111。第一吸取模块110设于第一转动模块111。
[0037]
取放单元12相邻于翻转模块11。取放单元12具有一旋转模块120、至少一自转模块121与至少一吸取模块122。各自转模块121设于各旋转模块120。各吸取模块122设于各自转模块121。
[0038]
请再配合参考图2所示，接收单元13相邻于取放单元12。接收单元13具有一接收载台130。接收载台130系相对于供应单元10呈一垂直状，若更进一步说明，接收载台130系相对于供应单元10为一垂直呈立式。于本实施例中，接收载台130可为一膜。接收单元13更具有一膜供应模块。前述的膜(接收载台130)由膜供应模块所提供。
[0039]
第一视觉单元14设于供应单元10的上方。第二视觉单元15设于翻转单元11与取放单元12之间的上方。第三视觉单元16设于接收单元13的上方。
[0040]
多面检测单元17相邻于取放单元12。多面检测单元17具有至少一侧视觉模块170与一仰视觉模块171。侧视觉模块170位于取放单元12的吸取模块123的一侧。仰视觉模块171位于吸取模块123的下方。
[0041]
第二翻转单元18位于接收单元13与吸取单元12之间，并且位于第三视觉单元16的下方。第二翻转单元18具有至少一第二吸取模块180与至少一第二转动模块181。第二吸取模块180设于第二转动模块111。
[0042]
请再配合参考图1所示，第一视觉单元14系撷取位于供应载台100的晶片20的影像信息，并将影像信息传送给顶针101与翻转单元11。顶针101依据影像信息，以顶出所欲顶出的晶粒21，而使晶粒21与膜20相互分离。
[0043]
请配合参考图3所示，第一翻转单元11依据第一视觉单元14的影像信息，以使第一吸取模块110吸取已被顶针101所顶出的晶粒21。请配合参考图3所示，第一转动模块100将已被吸取的晶粒21转动至一第一特定角度。该第一特定角度可为180度。第一吸取模块110系吸取晶粒21具有锡球22的一面。第一吸取模块110具有可容纳锡球22的空间。
[0044]
第二视觉单元15系撷取位于翻转单元11的晶粒21的影像信息，并将影像信息传送给取放单元12。旋转模块120依据第二视觉单元15的影像信息，将吸取模块122转动至可吸取位于翻转单元11的晶粒21的位置。待吸取模块122吸取晶粒21后，旋转模块120将吸取有晶粒21的吸取模块122移动至多面检测单元17。吸取模块122系吸取晶粒21未具有锡球22的一面。
[0045]
请配合参阅图4与图2所示，当吸取有晶粒21的吸取模块122被转动至侧视觉模块170的位置。侧视觉模块170系撷取晶粒21的一面的影像信息。转动模块120系持续转动，自转模块121系开始作动，以使其余的侧视觉模块170能撷取晶粒21的数面的影像信息。
[0046]
待旋转模块120将晶粒21转动至仰视觉模块171的上方时，仰视觉模块171系撷取晶粒21面对仰视觉模块171的影像信息。上述的第一视觉单元14的影像信息、侧视觉模块
170的影像信息与仰视觉模块171的影像信息系用于检测晶粒21的各面是否有毁损。
[0047]
当旋转模块120将晶粒21转动至接收单元13方向时，请配合参考图5所示，第二翻转单元18的第二吸取模块180系吸取位于吸取模块122的晶粒21，第二转动模块181将被第二吸取模块180的晶粒21翻转至一第二预定角度，第二预定角度为90度。第二吸取模块180系吸取晶粒21具有锡球22的一面。第二吸取模块180具有可容纳锡球22的空间。
[0048]
此时，晶粒21未具有锡球22的一面系面对接收载台130，第二翻转单元18将晶粒21放置于接收载台130。若接收载台130为膜，则第二翻转单元18系晶粒21接合或贴附于接收载台130。而当接收载台130的晶粒21达到一预定数量时，模供应模块提供另一膜，以使第二翻转单元18将晶粒21放置于另一膜。具有达到预定数量的晶粒21的膜系至下一制程。
[0049]
请配合参考图6与图7所示，本发明系一种晶粒挑拣装置的第二实施例，其具有一供应单元30、一第一翻转单元31、一取放单元32、一接收单元33、一第一视觉单元34、一第二视觉单元35、一第三视觉单元36、一多面检测单元与一第二翻转单元38。
[0050]
于本实施例中，接收单元33系平行供应单元30。供应单元30、供应载台300、顶针301、第一翻转单元31、第一吸取模块310、第一转动模块311、取放单元32、旋转模块320、自转模块321、吸取模块322、第一视觉单元34、多面检测单元、侧视觉模块、仰视觉模块371、第二翻转单元38、接收单元33与接收载台330的配置方式系近似上述的第一实施例，故不在此多作赘述，特先陈明。
[0051]
请再配合参考图6与图7所示，供应载台300系供一膜40与至少一晶片41设置。第一翻转单元31依据第一视觉单元34的影像信息，以使第一吸取模块310吸取欲被顶针301所顶出的晶粒41。第一吸取模块310具有可容纳锡球42的空间。第一吸取模块310系吸取晶粒41具有锡球42的一面。顶针301系顶出所欲顶出的晶粒41。第一转动模块300将已被吸取的晶粒41转动至一第一特定角度。该第一特定角度可为90度。
[0052]
第二视觉单元35系撷取位于翻转单元31的晶粒41的影像信息，并将影像信息传送给取放单元32。旋转模块320依据第二视觉单元35的影像信息，将吸取模块322转动至可吸取位于翻转单元31的晶粒41的位置。待吸取模块322吸取晶粒41后，旋转模块320将吸取有晶粒41的吸取模块322移动至多面检测单元。吸取模块322系吸取晶粒41未具有锡球42的一面。
[0053]
当吸取有晶粒41的吸取模块322被转动至侧视觉模块的位置。侧视觉模块系撷取晶粒41的一面的影像信息。转动模块320系持续转动，自转模块321系开始作动，以使其余的侧视觉模块能撷取晶粒41的数面的影像信息。
[0054]
待旋转模块320将晶粒41转动至仰视觉模块371的上方时，仰视觉模块371系撷取晶粒41面对仰视觉模块371的影像信息。上述的第一视觉单元34的影像信息、侧视觉模块的影像信息与仰视觉模块371的影像信息系用于检测晶粒41的各面是否有毁损。
[0055]
当旋转模块320将晶粒41转动至接收单元33方向时，第二翻转单元38的第二吸取模块380系吸取位于吸取模块322的晶粒41，第二转动模块381将被第二吸取模块380的晶粒41翻转至一第二预定角度，第二预定角度为90度。第二吸取模块380系吸取晶粒41具有锡球42的一面。第二吸取模块380具有可容纳锡球42的空间。
[0056]
晶粒41未具有锡球42的一面系面对接收载台330，第二翻转单元38将晶粒41放置于接收载台330。若接收载台330为膜，则第二翻转单元38系晶粒41接合或贴附于接收载台
330。而当接收载台330的晶粒41达到一预定数量时，模供应模块提供另一膜，以使第二翻转单元38将晶粒41放置于另一膜。具有达到预定数量的晶粒41的膜系至下一制程。
[0057]
综合上述，本发明的晶粒挑拣装置，其系利用第一翻转单元将晶粒翻转至第一预定角度，再由第二翻转单元将晶粒翻转至第二预定角度，如此将晶粒放置于直立式的接收单元。
[0058]
另外，直立式的接收单元垂直于供应单元，所以当顶针于供应载台顶出晶粒时，被顶出的晶粒不会由供应载台上掉落，故可确保晶粒的完整性，以提升晶粒的完整率。
[0059]
再者，直立式的接收单元垂直于供应单元的设计也可缩短接收单元与供应单元之间的路径，如此提升效率，并且缩短整体制程时间。
[0060]
以上说明对本发明而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下，可作出许多修改、变化或等效，但都将落入本发明的保护范围之内。