一种避免晶圆晃动与偏移的晶圆安装座及晶圆升降装置的制作方法

文档序号:20363862发布日期:2020-04-10 23:53阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种避免晶圆晃动与偏移的晶圆安装座,其特征在于,包括基座和夹持板,所述夹持板扣合在基座的两侧并通过紧固件与基座锁紧固定,所述夹持板的上端部设置有由多个连续设置的齿构成的齿沟结构,每个齿均具有齿背、齿前、以及齿背与齿前相交处形成的齿尖,所述齿背倾斜设置,所述齿前包括第一段、垂直连接在第一段下端的第二段、以及连接在第二段下端的第三段,所述第一段和第三段均朝向与前一齿的齿背相背离的方向倾斜设置。

2.根据权利要求1所述的避免晶圆晃动与偏移的晶圆安装座,其特征在于,所述第一段的倾斜角度大于第三段的倾斜角度。

3.根据权利要求2所述的避免晶圆晃动与偏移的晶圆安装座,其特征在于,所述第三段与前一齿的齿背之间的夹角为54°。

4.根据权利要求1所述的避免晶圆晃动与偏移的晶圆安装座,其特征在于,所述基座的两侧边缘设置有台阶,基座的板面上设有减轻孔和固定孔,所述减轻孔设置于基座的中部,固定孔设置与减轻孔的四周。

5.根据权利要求4所述的避免晶圆晃动与偏移的晶圆安装座,其特征在于,所述减轻孔为矩形孔,减轻孔的四个边角设置为倒圆角。

6.根据权利要求1所述的避免晶圆晃动与偏移的晶圆安装座,其特征在于,所述夹持板的一侧面的底部设置有槽口,夹持板上设有多个安装孔。

7.根据权利要求6所述的避免晶圆晃动与偏移的晶圆安装座,其特征在于,所述安装孔为腰形孔。

8.根据权利要求1所述的避免晶圆晃动与偏移的晶圆安装座,其特征在于,所述基座和夹持板均采用耐化学性材料或合金材料或非金属材料制成。

9.根据权利要求1所述的避免晶圆晃动与偏移的晶圆安装座,其特征在于,所述耐化学性材料为铁氟龙、聚偏二氟乙烯、聚醚醚酮、聚氯乙烯、聚丙烯、聚甲醛或聚砜中的任一种;

所述合金材料为不锈钢、铝合金、钛合金或钨合金中的任一种;

所述非金属材料为石英。

10.一种晶圆升降装置,其特征在于,包括权利要求1-9中任一项所述的避免晶圆晃动与偏移的晶圆安装座。


技术总结
本发明公开了一种避免晶圆晃动与偏移的晶圆安装座及晶圆升降装置,所述晶圆安装座包括基座和夹持板,所述夹持板扣合在基座的两侧并通过紧固件与基座锁紧固定,所述夹持板的上端部设置有齿沟结构,齿沟结构上的每个齿均具有齿背、齿前、以及齿背与齿前相交处形成的齿尖。本发明结构简单、使用方便,通过在夹持板上设置特殊的齿沟结构,能够避免移动晶圆过程中晶圆发生晃动或偏移,大大地降低了晶圆的破损率,避免破损晶圆污染其他未破损的晶圆或污染生产线设备,降低了企业生产成本。

技术研发人员:陈佳炜;李志峰;王雪松;徐铭
受保护的技术使用者:上海至纯洁净系统科技股份有限公司
技术研发日:2019.11.08
技术公布日:2020.04.10
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