一种电子半导体的二氧化碳干法自动清洗机的制作方法

文档序号:20373765发布日期:2020-04-14 13:37阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种电子半导体的二氧化碳干法自动清洗机,包括腔室主体(1)、机械手臂(2)、防堵机构(4)、工作台(9)和圆形置槽(15),其特征在于:所述腔室主体(1)内部的一侧固定有机械手臂(2),且机械手臂(2)顶端的表面固定有相机(23),所述相机(23)下方的腔室主体(1)表面安装有光源(22),且光源(22)外侧的防堵机构(4)表面皆安装有真空吸盘(21),所述机械手臂(2)下方的腔室主体(1)内部设置有工作台(9),且工作台(9)的表面安装有移动平台(10),并且移动平台(10)表面的两端皆固定有矫正条(14),所述腔室主体(1)远离机械手臂(2)的一端安装有梁架(8),且梁架(8)的表面与工作台(9)的表面固定连接,所述工作台(9)一侧的腔室主体(1)内部安装有待洗料侧架(6),且待洗料侧架(6)一侧的腔室主体(1)内部固定有待洗料主架(3),并且相邻待洗料侧架(6)与待洗料主架(3)之间设置有等间距的待洗料盒(7),所述待洗料侧架(6)一侧的腔室主体(1)内部安装有清洗平台(11),且清洗平台(11)的顶端固定有二氧化碳喷射器(13),所述工作台(9)远离待洗料侧架(6)的一侧安装有风刀架(12),且风刀架(12)外侧的腔室主体(1)顶端安装有清洗料主架(301),所述清洗料主架(301)一侧的腔室主体(1)表面固定有清洗料侧架(601),且清洗料侧架(601)与清洗料主架(301)之间设置有清洗料盒(701),所述腔室主体(1)顶端的中心位置处安装有净化器(5),且净化器(5)外侧的腔室主体(1)表面设置有防堵机构(4)。

2.根据权利要求1所述的一种电子半导体的二氧化碳干法自动清洗机,其特征在于:所述防堵机构(4)的内部依次设置有调节螺筒(401)、调节螺杆(402)、u型夹框(403)以及吸尘纱板(404),所述净化器(5)外侧的腔室主体(1)拐角位置处皆铰接有调节螺筒(401),且调节螺筒(401)的底端螺纹连接有调节螺杆(402)。

3.根据权利要求2所述的一种电子半导体的二氧化碳干法自动清洗机,其特征在于:所述调节螺杆(402)的底端铰接有u型夹框(403),且相邻u型夹框(403)之间的内侧壁上填塞有吸尘纱板(404)。

4.根据权利要求1所述的一种电子半导体的二氧化碳干法自动清洗机,其特征在于:所述待洗料侧架(6)与清洗料侧架(601)的拐角位置处皆铰接有旋转杆(19),且相互旋转杆(19)之间固定有校平尺(20),并且校平尺(20)的表面分别与待洗料盒(7)以及清洗料盒(701)的表面相贴合。

5.根据权利要求1所述的一种电子半导体的二氧化碳干法自动清洗机,其特征在于:所述矫正条(14)的内侧壁上皆开设有圆形置槽(15),且圆形置槽(15)的内侧壁上皆安装有等间距的缓冲弹簧(17),并且缓冲弹簧(17)远离矫正条(14)的一端固定有指示板(16)。

6.根据权利要求5所述的一种电子半导体的二氧化碳干法自动清洗机,其特征在于:所述指示板(16)的内侧壁上皆安装有触碰感应片(18),且圆形置槽(15)的表面与洗后料盒(702)的表面相贴合。


技术总结
本发明公开了一种电子半导体的二氧化碳干法自动清洗机,包括腔室主体、机械手臂、防堵机构、工作台和圆形置槽,所述腔室主体内部的一侧固定有机械手臂,所述机械手臂下方的腔室主体内部设置有工作台,且工作台的表面安装有移动平台,所述工作台一侧的腔室主体内部安装有待洗料侧架,所述待洗料侧架一侧的腔室主体内部安装有清洗平台,且清洗平台的顶端固定有二氧化碳喷射器,所述腔室主体顶端的中心位置处安装有净化器,且净化器外侧的腔室主体表面设置有防堵机构。本发明不仅避免了自动清洗机在对空气净化处理时发生堵塞现象,提高了自动清洗机的工作效率,而且避免了自动清洗机对待洗料盒放置时发生错位现象。

技术研发人员:倪晓阳;过春华;于佳卉;张火雷
受保护的技术使用者:无锡纳净科技有限公司
技术研发日:2019.11.11
技术公布日:2020.04.14
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