基板处理装置及方法与流程

本发明涉及一种基板处理装置及方法。

背景技术：

在制造半导体设备或显示设备时，实施照相、蚀刻、刻板、离子注入、薄膜层积、清洗等各种工艺。在此，照相工艺包括涂抹、曝光及显像工艺。在基板上涂抹涂渍溶液(即，涂抹工艺)，在形成有感光膜的基板上曝光电路图案(即，曝光工艺)，有选择地显像基板的曝光处理的区域(即，显像工艺)。

在一个工艺设备执行各种工艺。为此，相应设备具有执行相互不同的工艺的多个工艺模块。从设备抽出完成工艺的基板而以容纳至输送装置的状态被移动至其它工艺设备。

发明的内容

发明要解决的技术问题

本发明要解决的技术问题为提供一种基板处理装置及方法。

本发明的课题并非通过上述言及的课题限定，未言及的或其它课题通过下面记载而使本领域技术人员明确理解。

用于解决问题的技术方案

用于实现所述课题的本发明的基板处理装置的一方面(aspect)包括：工艺模块，执行对基板的工艺处理；索引模块，将基板插入至所述工艺模块，并从所述工艺模块抽出完成工艺处理的基板；装载模块，将环境转换为真空环境或常压环境，将基板在真空环境的所述工艺模块与常压环境的所述索引模块之间中转；及控制模块，从所述工艺模块、所述索引模块及所述装载模块接收运行状态，并参照所接收的运行状态，按单位时间内完成工艺处理的基板数量增加的方向调度所述工艺模块、所述索引模块及所述装载模块的动作。

所述运行状态包括如下状态中至少一个，其为：设置于所述工艺模块的至少一个工艺单元的主处理(mainprocess)状态或后期处理(postprocess)状态；设置于所述工艺模块的移送机器人的至少一个移送臂的基板移送状态；设置于所述索引模块的索引机器人的至少一个索引臂的基板移送状态；及设置于所述装载模块的负载锁定室及卸载锁定室的排气状态或吸气状态。

所述控制模块按减少设置于所述工艺模块的至少一个工艺单元的停机(idle)时间、设置于所述工艺模块的移送机器人的停机时间及设置于所述索引模块的索引机器人的停机时间的方向调度所述工艺模块、所述索引模块及所述装载模块的动作。

所述控制模块参照所述工艺模块、所述索引模块及所述装载模块的环境信息而调度所述工艺模块、所述索引模块及所述装载模块的动作。

所述环境信息包括如下所述中至少一个，其为：设置于所述工艺模块的至少一个工艺单元的主处理(mainprocess)时间及后期处理(postprocess)时间；设置于所述工艺模块的移送机器人而可用的移送臂的数量；设置于所述索引模块的索引机器人而可用的索引臂的数量；及设置于所述装载模块的负载锁定室及卸载锁定室的排气时间及吸气时间。

所述控制模块生成用于调度所述工艺模块、所述索引模块及所述装载模块的动作的设备控制信息而发送。

所述设备控制信息包括用于控制各个设置于所述工艺模块、所述索引模块及所述装载模块的设备的至少一个设备控制要素。

所述设备控制要素包括如下所述中至少一个，其为：被收纳于所述索引模块的输送装置的基板用于工艺处理而被抽出的时刻；基板由所述装载模块的负载锁定室移送至所述工艺模块的时刻；基板由所述装载模块的卸载锁定室移送至所述索引模块的时刻；及对于在所述装载模块的负载锁定室中工艺之前的基板与工艺之后的基板共存的情况的处理优先顺序。

所述控制模块通过机器学习(machinelearning)技术学习被调度的所述工艺模块、所述索引模块及所述装载模块的运行状态，从而，重新调度所述工艺模块、所述索引模块及所述装载模块的动作。

所述机器学习技术包括强化学习(reinforcementlearning)。

所述控制模块包括：接收部，由所述工艺模块、所述索引模块及所述装载模块接收运行状态；调度部，生成用于调度所述工艺模块、所述索引模块及所述装载模块的动作的设备控制信息；及发送部，将所述设备控制信息发送至所述工艺模块、所述索引模块及所述装载模块。

用于实现所述课题的本发明的基板处理方法的一方面涉及一种控制基板处理装置的方法，该基板处理装置包括：工艺模块，执行对基板的工艺处理；索引模块，将基板插入至所述工艺模块，并由所述工艺模块抽出完成工艺处理的基板；及装载模块，将环境转换为真空环境或常压环境，而在真空环境的所述工艺模块与常压环境的所述索引模块之间中转基板，另外，所述控制基板处理装置的方法包括如下步骤：由所述工艺模块、所述索引模块及所述装载模块接收运行状态；参照所述接收的运行状态而以单位时间内完成工艺处理的基板的数量增加的方向生成用于调度所述工艺模块、所述索引模块及所述装载模块的动作的设备控制信息；及将所述设备控制信息发送至所述工艺模块、所述索引模块及所述装载模块。

所述运行状态包括如下状态中至少一个，其为：设置于所述工艺模块的至少一个工艺单元的主处理(mainprocess)状态或后期处理(postprocess)状态；设置于所述工艺模块的移送机器人的至少一个移送臂的基板移送状态；设置于所述索引模块的索引机器人的至少一个索引臂的基板移送状态；及设置于所述装载模块的负载锁定室及卸载锁定室的排气状态或吸气状态。

生成所述设备控制信息的步骤包括如下步骤：以减少处于所述工艺模块的至少一个工艺单元的停机(idle)时间、处于所述工艺模块的移送机器人的停机时间及处于所述索引模块的索引机器人的停机时间的方向调度所述工艺模块、所述索引模块及所述装载模块的动作。

生成所述设备控制信息的步骤包括如下步骤：参照所述工艺模块、所述索引模块及所述装载模块的环境信息而调度所述工艺模块、所述索引模块及所述装载模块的动作。

所述环境信息包括如下所示信息中的至少一个，其为：设置于所述工艺模块的至少一个工艺单元的主处理(mainprocess)时间及后期处理(postprocess)时间；设置于所述工艺模块的移送机器人而可用的移送臂的数量；设置于所述索引模块的索引机器人而可用的索引臂的数量；及设置于所述装载模块的负载锁定室及卸载锁定室的排气时间及吸气时间。

所述设备控制信息包括：用于控制分别设置在所述工艺模块、所述索引模块及所述装载模块的设备的至少一个设备控制要素。

所述设备控制要素包括如下所述中至少一个，其为：用于工艺处理而抽出被收纳于所述索引模块的输送装置的基板的时刻；由所述装载模块的负载锁定室而向所述工艺模块移送基板的时刻；由所述装载模块的卸载锁定室向所述索引模块移送基板的时刻；及对于在所述装载模块的负载锁定室中工艺之前的基板与工艺之后的基板共存情况的处理优先顺序。

生成所述设备控制信息的步骤包括如下步骤：通过机器学习(machinelearning)技术学习所调度的所述工艺模块、所述索引模块及所述装载模块的运行状态；及参照所述学习结果，而重新调度所述工艺模块、所述索引模块及所述装载模块的动作。

所述机器学习技术包括强化学习(reinforcementlearning)。

其它实施例的具体事项包含于具体的说明及附图中。

附图标记说明

图1为显示本发明的实施例的基板处理装置的附图；

图2为显示本发明的实施例的控制模块的框图；

图3为显示本发明的实施例的调度部的动作的附图；

图4为显示本发明的实施例的设备运行状态的附图；

图5为显示本发明的实施例的设备环境信息的附图；

图6为显示本发明的实施例的设备控制信息的附图；

图7为依次变化本发明的实施例的设备控制信息的附图；

图8为显示通过本发明的实施例的调度部而学习设备运行状态而重新生成设备控制信息的附图。

附图标记说明

10:基板处理装置11:索引模块

12:装载模块13:工艺模块

14:控制模块100:装载端口

110:输送装置200:移送框架

210:索引轨道221、222:索引门

300:索引机器人310:索引基底

320:索引主体330:索引臂

410:负载锁定室420:卸载锁定室

500:移送腔511、512:移送门

520:工艺门600:工艺单元

700:移送机器人710:移送基底

720:移送主体730:移送臂

810:接收部820:输入部

830:存储部840:控制部

850:调度部860:发送部

870:输出部

具体实施方式

下面，参照附图而对本发明的优选的实施例进行具体说明。本发明的优点及特征及其实现其的方法参照与附图一起而具体说明的实施例而变得明确。但本发明并非通过下面公开的实施例进行限定，能够以相互不同的各种形式实现，仅本实施例完全公开本发明，并用于向本发明所属技术领域的普通技术人员完全告知发明的范围而提供，本发明仅通过权利要求范围定义。整个说明书相同的参照符号表示相同的构成要素。

对于元件(elements)或层处于其它的元件或层的“上(on)”或“上面(on)”包含直接处于其它元件或层上，也包含在中间介有其它层或其它元件的情况。而对于称元件为“直接处于上(directlyon)”或“直接处于上面”的情况，显示在中间未介有其它元件或层的情况。

空间上相对的用语即“下(below)”、“下面(beneath)”、“下部(lower)”、“上(above)”、“上部(upper)”等如显示于附图上所示，用于容易记述一个元件或构成要素与其它元件或构成要素的相互关系而使用。空间上相对的用语在对于显示于附图中的方向而使用时或运行时，应以按包含元件的相互不同的方向的用语理解。例如，对于翻转显示于附图的元件的情况，记述为其它元件的“下(below)”或“下面(beneath)”的元件被放置在其它元件的“上(above)”。因此，例示的用语即“下”全部包含下与上的方向。元件也能够按其它方向配置，由此，空间上相对的用语按配向解释。

即使第一、第二等用于叙述不同的元件、构成要素及/或部分而使用，但该多个元件、构成要素及/或部分未通过该多个用语限定。该用语仅将一个元件、构成要素或部分与其它元件、构成要素或部分区别而使用。因此，下面言及的第一元件、第一构成要素或第一部分在本发明的技术的思想内也能够指第二元件、第二构成要素或第二部分。

在本说明书中使用的用语为用于说明实施例，并非限制本发明。在本说明书中，单数型在文中未作特别言及的，也包含复数型。对于说明书中所使用的“包括(comprises)”及/或“包含的(comprising)”所言及的构成要素、步骤、动作及/或元件未排除一个以上其它构成要素、步骤、动作及/或元件的存在或增加。

在不存在其它定义的情况下，本说明书中使用的所有用语(包含技术及科学用语)，在本发明所属技术领域中，按普通技术人员共同理解的意义使用。或者一般使用的词典定义的用语未作明确特别定义的，未以异常或夸张的形式解释。

下面，参照附图对本发明的实施例进行具体说明，在参照附图而进行说明时，与附图符号无关，相同或对应的构成要素赋予相同的参照符号，并省略对其的重复说明。

图1为显示本发明的实施例的基板处理装置的附图。

参照图1，基板处理装置10包括：索引模块11、装载模块12、工艺模块13及控制模块14。

索引模块11、装载模块12及工艺模块13配置为一列。下面，将索引模块11、装载模块12及工艺模块13所排列的方向称为第一方向(x)，在俯视时，将垂直于第一方向(x)的方向称为第二方向(y)，将垂直于包含第一方向(x)与第二方向(y)的平面的方向称为第三方向(z)。

索引模块11起到将基板插入至工艺模块13，并由工艺模块13抽出完成工艺处理的基板的作用。在索引模块11与工艺模块13之间设置装载模块12。索引模块11通过装载模块12而将基板插入至工艺模块13，或由装载模块12抽出基板。

索引模块11将基板由收纳基板的输送装置110移送至装载模块12，并将由装载模块12排出的基板收纳至输送装置110。索引模块11包括：装载端口100及移送框架200。

在装载端口100安装输送装置110。在输送装置110收纳多个基板。装载端口100设置有多个，多个装载端口100按第二方向(y)配置为一列。

输送装置110具有支撑基板的边缘的插槽(未图示)。插槽沿着第三方向(z)具有多个。由此，多个基板以沿着第三方向(z)而相互分隔的状态在输送装置110的内部层叠。利用前端开启式晶圆传送盒(frontopeningunifiedpod；foup)作为输送装置110。

移送框架200执行将基板移送至输送装置110及装载模块12之间的作用。移送框架200包括：索引轨道210及索引机器人300。

索引轨道210与第二方向(y)平行延伸配置。索引机器人300被设置在索引轨道210上，沿着索引轨道210而以第二方向(y)移动。索引机器人300包括：索引基底310、索引主体320及索引臂330。索引基底310以沿着索引轨道210而可移动的方式设置在索引轨道210。索引主体320与索引基底310结合，而与索引基底310一起沿着索引轨道210移动。并且，索引主体320对于索引基底310而沿着第三方向(z)移动，也能够以与第三方向(z)平行的旋转轴为中心旋转。

索引臂330起到直接支撑基板而移送基板的作用。为此，索引臂330包括：多个关节，能够进行相互之间的角度调节或长度调节。图1显示一个索引臂330被设置在索引主体320，但在索引主体320也能够具有多个索引臂330。对于具有多个索引臂330的情况，多个索引臂330中的一部分，在基板由装载模块12移送至输送装置110时利用，另一部分在将基板由输送装置110移送至装载模块12时利用。多个索引臂330执行相互区别的移送作业，由此，防止在工艺前的基板产生的颗粒附着在工艺后的基板上。

装载模块12起到将环境转换为真空环境或常压环境而在真空环境的工艺模块13与常压环境的索引模块11之间中转基板的作用。工艺模块13的内部为真空环境，索引模块11为常压环境。直接保持工艺模块13的真空环境，并且，设置装载模块12，以用于交换工艺模块13与索引模块11之间的基板。

装载模块12被配置在工艺模块13的移送腔500与移送框架200之间。装载模块12提供在基板被移送至移送腔500与移送框架200之间之前供基板停留的空间。装载模块12包括：负载锁定室410及卸载锁定室420。负载锁定室410及卸载锁定室420被提供为内部空间的环境转换为真空环境或常压环境。

负载锁定室410执行临时收纳由索引模块11移送至工艺模块13的基板的作用。负载锁定室410处于中间，并在索引模块11及工艺模块13设置有门221、511。下面，将设置在负载锁定室410的两侧的所设置的门中的索引模块11的门称为第一索引门221，将设置在工艺模块13的门称为第一移送门511。

在将基板被运入负载锁定室410的情况下，第一索引门221及第一移送门511被关闭，负载锁定室410的内部空间对于索引模块11及工艺模块13密封。在被密封之后，负载锁定室410的内部空间由常压环境转换为真空环境。并且，在第一索引门221被关闭的状态下，开启第一移送门511，且负载锁定室410的基板被运出而移送至移送腔500。

卸载锁定室420执行临时收纳由工艺模块13移送至索引模块11的基板的作用。卸载锁定室420处于中间，并在索引模块11及工艺模块13设置门222、512。下面，将设置在卸载锁定室420的两侧所设置的门中的索引模块11的门称为第二索引门222，将设置在工艺模块13的门称为第二移送门512。

在基板被运入卸载锁定室420的情况下，第二索引门222及第二移送门512被关闭，卸载锁定室420的内部空间对于索引模块11及工艺模块13密封。在被密封之后，卸载锁定室420的内部空间由真空环境转换为常压环境。并且，在第二移送门512被关闭的状态下，第二索引门222开启，且卸载锁定室420的基板被运出而被移送至索引模块11。

工艺模块13执行对基板的工艺处理。工艺模块13包括：移送腔500及工艺单元600。工艺单元600为多个。

移送腔500提供用于负载锁定室410、卸载锁定室420及工艺单元600之间的基板的中转的空间。为此，负载锁定室410、卸载锁定室420及工艺单元600沿着移送腔500的边缘配置。图1显示沿着具有六边形的形状的移送腔500的边缘而配置负载锁定室410、卸载锁定室420及三个工艺单元600。本发明的移送腔500的形状并非限定为六边形，移送腔500的形状能够根据工艺单元600的数量而不同。

各个工艺单元600分别具有工艺门520。在工艺门520被开启的状态下，执行移送腔500与工艺单元600之间的基板运入或基板运出，在工艺门520封闭的状态下，执行通过工艺单元600而进行的工艺处理动作。

在移送腔500的内部设有移送机器人700。移送机器人700起到在负载锁定室410、卸载锁定室420及工艺单元600之间移送基板的作用。例如，移送机器人700移动由负载锁定室410运出的基板而运入工艺单元600，并移动由工艺单元600运出的基板而运入卸载锁定室420。

移送机器人700包括：移送基底710、移送主体720及移送臂730。移送基底710配置在移送腔500的中心。移送主体720对于移送基底710而沿着第三方向(z)移动，也能够以与第三方向(z)平行的旋转轴为中心旋转。

移送臂730起到直接支撑基板而移送基板的作用。为此，移送臂730包括能够调节相互之间的角度调节或长度调节的多个关节。由此，移送臂730执行与包含第一方向(x)及第二方向(y)的平面平行的移动。图1为显示一个移送臂730被设置在移送主体720，但也能够为多个移送臂730被设置在移送主体720。对于具有多个移送臂730的情况，多个移送臂730中的一部分在将基板由负载锁定室410移送至工艺单元600时使用，其它一部分在将基板由工艺单元600移送至卸载锁定室420时使用。

工艺单元600执行对基板的特定作业。例如，工艺单元600执行对基板的蚀刻或层积处理。工艺模块13包含多个工艺单元600，按各个工艺单元600执行相同或相互不同的作业。

控制模块14由工艺模块13、索引模块11及装载模块12接收运行状态，参照所接收的运行状态而起到以单位时间内完成工艺处理的基板的数量增加的方向而调度工艺模块13、索引模块11及装载模块12的动作的作用。

工艺模块13、索引模块11及装载模块12相互执行有机动作。由索引模块11的输送装置110出发的基板经过装载模块12的负载锁定室410而被运入工艺模块13的工艺单元600，在工艺单元600进行工艺处理。并且，完成工艺处理的基板被运入其它工艺单元600而执行其它工艺处理或经过装载模块12的卸载锁定室420而被运出至索引模块11，并收纳至索引模块11的输送装置110。如上所述的过程被反复执行，工艺模块13、索引模块11及装载模块12执行有机动作，而执行对各个基板的工艺处理。

另外，对于设置在各个模块的设备中的任一个处于停机(idle)状态的情况，其导致生产量的减少。例如，对于基板运入工艺模块13延迟的情况，产生工艺单元600的停机状态，按停机时间而减少生产量。

控制模块14按减少设置在工艺模块13的至少一个工艺单元600的停机时间、设置在工艺模块13的移送机器人700的停机时间及设置在索引模块11的索引机器人300的停机时间的方向调度工艺模块13、索引模块11及装载模块12的动作。随着各个设备的停机时间减少，增加单位时间内完成工艺处理的基板的数量。

控制模块14接收的工艺模块13、索引模块11及装载模块12的运行状态包括如下状态中至少一个，其为：设置在工艺模块13的至少一个工艺单元600的主处理(mainprocess)状态或后期处理(postprocess)状态；设置在工艺模块13的移送机器人700的至少一个移送臂730的基板移送状态；设置在索引模块11的索引机器人300的至少一个索引臂330的基板移送状态及设置在装载模块12的负载锁定室410及卸载锁定室420的排气状态或吸气状态。

工艺单元600的动作包括：主处理与后期处理。主处理在基板被运入至工艺单元600之后，显示对基板执行的工艺处理，后期处理在基板由工艺单元600运出之后，显示对工艺单元600的内部执行的处理。通过后期处理，而完成对新的基板的工艺处理的准备。上述的主处理状态显示工艺单元600为主处理中的状态，后期处理状态显示工艺单元600为后期处理中的状态。

上述的移送臂730的基板移送状态显示通过移送臂730而基板被移送中的状态，索引臂330的基板移送状态显示通过索引臂330而移送基板中的状态。

上述的排气状态显示排出空气的状态，以用于负载锁定室410或卸载锁定室420转换为真空环境，吸气状态显示吸入空气的状态，以用于负载锁定室410或卸载锁定室420转换为常压环境。

运行状态被周期性传送。即，工艺单元600、移送机器人700、负载锁定室410、卸载锁定室420及索引机器人300以提前设定的时间间隔而将自身的运行状态发送至控制模块14。此时，工艺单元600、移送机器人700、负载锁定室410、卸载锁定室420及索引机器人300同时发送运行状态或也能够个别发送运行状态。

或者，运行状态也能够仅在产生项目的情况下进行传送。即工艺单元600、移送机器人700、负载锁定室410、卸载锁定室420及索引机器人300在被转换运行状态的情况下，发送所转换的运行状态。例如，对于由主处理状态向后期处理状态转换运行状态的情况，工艺单元600将为后期处理状态的情况发送至控制模块14，或将由主处理状态转换为了后期处理状态的情况发送至控制模块14。同样地，对于由排气状态向吸气状态转换运行状态的情况，负载锁定室410将为吸气状态的情况发送至控制模块14，或将由排气状态转换为了吸气状态的情况发送至控制模块14。

控制模块14参照所接收的运行状态而按时刻确认各个设备执行哪个动作，或确认是否为停机状态，基于确认结果再次调度各个设备的动作。

并且，控制模块14参照工艺模块13、索引模块11及装载模块12的环境信息而调度工艺模块13、索引模块11及装载模块12的动作。

在本发明中，环境信息显示设置在各个模块11、12、13的设备的能够执行动作的环境或设定环境。例如，环境信息包括所述信息中至少一个，其为：设置在工艺模块13的至少一个工艺单元600的主处理(mainprocess)时间及后期处理(postprocess)时间；设置在工艺模块13的移送机器人700而可用的移送臂730的数量；设置在索引模块11的索引机器人300而可用的索引臂330的数量及设置在装载模块12的负载锁定室410及卸载锁定室420的排气时间及吸气时间。

根据工艺处理，主处理时间及后期处理时间不同。例如，照相工艺中的主处理时间及后期处理时间与蚀刻工艺中的主处理时间及后期处理时间不同。按工艺单元600自身处理的工艺，主处理时间及后期处理时间被设定为环境信息。

移送机器人700仅具有一个移送臂730或具有两个以上移送臂730。同样地，索引机器人300仅具有一个索引臂330或具有两个以上索引臂330。另外，即使移送机器人700或索引机器人300具有多个移送臂730或索引臂330，所具有的臂的数量与可用的臂的数量也能够不同。该情况为将可用的臂的数量设定为环境信息。

根据工艺处理而负载锁定室410的排气时间及吸气时间不同。同样地，根据工艺处理而卸载锁定室420的排气时间及吸气时间不同。根据工艺处理而负载锁定室410的排气时间及吸气时间设定为环境信息，卸载锁定室420的排气时间及吸气时间被设定为环境信息。

用户在使得执行对基板的工艺处理之前，设定各个设备的环境信息。例如，用户对于第一工艺单元而将第一主处理时间及第一后期处理时间设定为第一工艺单元的环境信息，对于第二工艺单元，将第二主处理时间及第二后期处理时间设定为第二工艺单元的环境信息。并且，用户将在移送机器人700可用的移送臂730的数量设定为移送机器人700的环境信息，将在索引机器人300中可用的索引臂330的数量设定为索引机器人300的环境信息。并且，用户对负载锁定室410及卸载锁定室420分别将排气时间及吸气时间设定为环境信息。控制模块14参照由用户设定的各个设备的环境信息而执行调度。

控制模块14生成并发送用于调度工艺模块13、索引模块11及装载模块12的动作的设备控制信息。在设备控制信息包含用于控制设备的控制信息。设置在工艺模块13、索引模块11及装载模块12的各个设备根据所接收的设备控制信息而执行动作，从而执行对基板的工艺处理。

控制模块14通过机器学习(machinelearning)技术学习所调度的工艺模块13、索引模块11及装载模块12的运行状态，以重新调度工艺模块13、索引模块11及装载模块12的动作。控制模块14接收设置在工艺模块13、索引模块11及装载模块12的各个设备的运行状态，基于此，调度各个设备的动作。由此，各个设备根据控制模块14的调度而发生动作，并再次将该运行状态发送至控制模块14。由此，控制模块14基于所接收的各个设备的运行状态而重新调度各个设备的动作。基于该运行状态的接收及运行状态的调度被反复执行，在每次接收运行状态时，控制模块14学习所接收的运行状态，而以单位时间内完成工艺处理的基板的数量增加的方向对各个设备执行调度。

通过控制模块14而执行的机器学习技术包含强化学习(reinforcementlearning)。强化学习试图进行各种行动，对于行动的结果符合目标的情况，显示更频繁试图进行相应行动的机器学习技术。对于参照特定调度方式相应的设备的运行状态，而以单位时间内完成工艺处理的基板的数量增加的方向判断为设备运行的情况，控制模块14更频繁地适用相应调度方式。

图2为显示本发明的实施例的控制模块的框图。

参照图2，控制模块14包括：接收部810、输入部820、存储部830、控制部840、调度部850、发送部860及输出部870。

接收部810执行由工艺模块13、索引模块11及装载模块12接收运行状态的作用。为此，在设置在工艺模块13、索引模块11及装载模块12的各个设备与接收部810之间形成有线或无线的通信频道。

输入部820起到接收由用户输入的设置在工艺模块13、索引模块11及装载模块12的各个设备的环境信息的作用。为此，输入部820具有按键、轮子、飞梭按钮等。用户通过输入部820输入工艺单元600的主处理时间及后期处理时间，输入移送臂730的数量及索引臂330的数量，并输入负载锁定室410及卸载锁定室420的排气时间及吸气时间。

存储部830临时或永久存储通过接收部810而接收的运行状态及通过输入部820而输入的环境信息。

调度部850执行生成用于调度工艺模块13、索引模块11及装载模块12的动作的设备控制信息的作用。调度部850参照存储至存储部830的运行状态及环境信息而调度设备的动作，生成包含调度信息的设备控制信息。

发送部860执行将通过调度部850而生成的设备控制信息发送至工艺模块13、索引模块11及装载模块12的作用。为此，在设置在工艺模块13、索引模块11及装载模块12的各个设备与发送部860之间形成有线或无线的通信频道。

输出部870输出对设备的动作的整体的信息。例如，输出部870包括：显示器部(未图示)及扬声器(未图示)。输出部870输出各个设备的当前运行状态及单位时间内完成工艺处理的基板的数量等。

控制部840执行对接收部810、输入部820、存储部830、调度部850、发送部860及输出部870的整体控制。

图3为显示本发明的实施例的调度部的动作的附图。

参照图3，调度部850参照设备的运行状态及设备的环境信息而生成设备控制信息。

设备的运行状态由各个设备接收，设备的环境信息由用户输入而设定。

图4为显示本发明的实施例的设备运行状态的附图。

参照图4，设备运行状态包括：工艺单元600的主处理状态或后期处理状态、移送机器人700或索引机器人300的基板移送状态及负载锁定室410及卸载锁定室420的排气状态或吸气状态。

图5为显示本发明的实施例的设备环境信息的附图。

参照图5，设备环境信息包括：工艺单元600的主处理时间及后期处理时间、设置在移送机器人700或索引机器人300的可用的机器人臂的数量及负载锁定室410及卸载锁定室420的排气时间及吸气时间。

图6为显示本发明的实施例的设备控制信息的附图。

参照图6，设备控制信息包括分别控制被设置在工艺模块13、索引模块11及装载模块12的设备的至少一个设备控制要素。

如上所述，在设备控制信息包括用于控制各个设备的控制信息。例如，用于控制工艺单元600的控制信息、用于控制移送机器人700的控制信息、用于控制索引机器人300的控制信息、用于控制负载锁定室410的控制信息及用于控制卸载锁定室420的控制信息包含于设备控制信息。

对于各个设备的控制信息按设备控制要素的形式包含于设备控制信息。在本发明中，设备控制要素应理解为包含用于控制实现一个设备而产生的特定动作或两个以上设备的合作动作的控制信息。

例如，设备控制要素包括如下所述要素至少一个，其为：用于工艺处理而抽出收纳在索引模块11的输送装置110的基板的时刻；基板由装载模块12的负载锁定室410而移送至工艺模块13的时刻；基板由装载模块12的卸载锁定室420而移送至索引模块11的时刻；及对于在装载模块12的负载锁定室410工艺前的基板与工艺后的基板共存的情况的处理优先顺序。

索引机器人300在包含于特定设备控制要素的抽出时刻从输送装置110抽出基板。移送机器人700在包含于其它设备控制要素的时刻将基板从负载锁定室410移送至工艺模块13，索引机器人300在包含于其它设备控制要素的时刻从卸载锁定室420抽出基板。根据通过移送机器人700及索引机器人300而进行的基板的抽出或运入而开闭设置在工艺单元600、负载锁定室410及卸载锁定室420的门520、221、222、511、512。

图7为显示依次变化本发明的实施例的设备控制信息的附图，图8为显示通过本发明的实施例的调度部850而学习设备运行状态而重新生成设备控制信息的附图。

参照图7及图8，本发明的实施例的设备控制信息依次发生变化。

控制模块14的调度部850由设置在工艺模块13、索引模块11及装载模块12的设备接收运行状态，并参照其而生成用于调度各个设备的设备控制信息。调度部850变更被设定在各个设备控制要素的值，并生成设备控制信息。例如，调度部850在工艺单元600着手对基板的工艺处理，在经过特定时间之后，设定设备控制要素而生成设备控制信息，以由输送装置110抽出新的基板。此时，调度部850着手对基板的工艺处理，并变更直至抽出新的基板所经过的时间，而生成设备控制信息。

在生成设备控制信息时，调度部850通过机器学习技术而学习设备的运行状态，从而，重新调度设备的动作。尤其，调度部850通过以单位时间内完成工艺处理的基板的数量增加为目标进行的强化学习而执行调度，由此，以使通过调度部850而反复执行调度的方式而使单位时间内完成工艺处理的基板的数量增加。

综上参照附图而对本发明的实施例进行了说明，但本发明所属技术领域的普通技术人员应当理解，在不变更本发明其技术思想或必要的特征的情况下，能够以其它具体形式实施。因此，应当理解，综上记述的实施例在所有方面用于例示，并非用于限定。