半导体制造方法与流程

本发明涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种包含稀疏图形区域-密集图形区域（iso-dense）半导体器件的制造方法。

背景技术：

在半导体器件的制造过程中，随着技术节点的不断提升，关键尺寸（cd，criticaldimension）变小，并且半导体器件结构从2d（二维平面）结构向3d（三维立体）结构转变，由于半导体器件具有稀疏图形区域01（isolated/isoarea）-密集图形区域02（densearea）（iso-dense）结构特征，加剧了负载效应(loadingeffect)。

参阅图1a、图1b和图1c所示，展示了现有技术的疏密图形特征半导体器件制造方法。现有技术的方法是，如图1a所示，前层04的图形具有稀疏图形区域-密集图形区域的结构特征（iso-dense），在前层04上覆有同样高度的待刻层03。如图1b所示，对待刻层03进行光刻，生成副产物05，由于副产物05是固态的，其附着在待刻层03的表面，形成掩膜，延缓了被覆盖的待刻层的进一步刻蚀，而在稀疏图形区域01的待刻层03的表面副产物05的聚集度要小于在密集图形区域02的待刻层03的表面副产物05的聚集度（稀疏图形区域01表面的封闭性能低，副产物占面积比率小，而容易流失；密集图形区域02表面的封闭性能高，该区域的前层04的形貌特征影响到副产物的扩散流失，副产物占面积比率高），从而导致了稀疏图形区域01的待刻层03的刻蚀速率（etchrate）要大于密集图形区域02的待刻层03刻蚀速率。如图1c所示，在刻蚀工艺完成后，对副产物05进行去除，则最终形成了具有高度差h0的带刻蚀层形貌，即密集图形区域02的待刻层03剩余表面要高于稀疏图形区域01的待刻层03剩余表面h0。图1d展示了现有技术的疏密图形特征半导体器件制造方法生产出的器件的形貌照片，在密集图形区域02的前层04与稀疏图形区域01的前层04高差144.4纳米、141.8纳米，密集图形区域02的实际刻蚀深度49.1纳米、48纳米、48纳米的情况下，h0为16.5纳米、14.2纳米。采用现有技术的方法，制造疏密图形特征半导体器件，其图形负载效应（高度差h0）凸显出来。

现有技术的问题在于，针对稀疏图形区域-密集图形区域（iso-dense）结构特征的半导体器件的待刻蚀层进行刻蚀，消除因区域图形密度不同导致的刻蚀速率不同对器件刻蚀深度的影响，减轻图形负载效应。

技术实现要素：

为了解决以上技术问题，本发明提供一种半导体制造方法，其目的在于：能够实现对具有稀疏图形区域-密集图形区域（iso-dense）结构特征前层的半导体器件的待刻蚀层进行刻蚀工艺，并且消除稀疏图形区域-密集图形区域的实际刻蚀深度不同的影响，减轻图形负载效应的影响，从而制造出符合设计要求的半导体器件。

为了达到上述目的，本发明提供了一种半导体制造方法，所述半导体包含稀疏图形区域和密集图形区域，所述稀疏图形区域和所述密集图形区域上覆有待刻蚀层；

所述半导体制造方法，包括：

步骤s1，刻蚀去除所述待刻蚀层的一循环厚度，产生一刻蚀副产物；

步骤s2，清除所述刻蚀副产物；

步骤s3，循环上述步骤s1和步骤s2，至所述待刻蚀层至设计厚度。

优选地，所述待刻蚀层为氧化硅层，所述刻蚀副产物为六氟硅酸铵。

优选地，所述刻蚀方法为等离子刻蚀，采用的反应气体为氟化氢和氨气。

优选地，所述刻蚀方法为等离子刻蚀，采用的反应气体为三氟化氮和氨气。

优选地，所述清除方法为加热分解，将腔室温度加热到250℃以上。

优选地，根据稀疏图形区域和密集图形区域的密集度比值，调整每次刻蚀的循环时间，以设定所述循环厚度。

优选地，在所述密集图形区域的待刻蚀层的前层的上表面所在平面以上，所述稀疏图形区域和所述密集图形区域上也覆盖有待刻蚀层；

所述半导体制造方法还包括：前处理步骤s0，刻蚀去除所述待刻蚀层，至所述密集图形区域的待刻蚀层的前层的上表面所在平面。

为了达到上述目的，本发明还提供了一种半导体制造方法，所述半导体包含稀疏图形区域和密集图形区域，所述稀疏图形区域和所述密集图形区域上覆有待刻蚀层；

所述半导体制造方法，包括：

步骤s1，在稀疏图形区域比密集图形区域多预留一设定快刻厚度的待刻蚀层；

步骤s2，对稀疏图形区域和密集图形区域的待刻蚀层进行刻蚀，利用刻蚀副产物做掩膜，刻蚀所述待刻蚀层至设计厚度。

优选地，所述待刻蚀层为氧化硅层，所述刻蚀副产物为六氟硅酸铵。

优选地，所述刻蚀方法为等离子刻蚀，采用的反应气体为氟化氢和氨气。

优选地，所述刻蚀方法为等离子刻蚀，采用的反应气体为三氟化氮和氨气。

优选地，所述半导体制造方法，还包括：

步骤s3，清除所述刻蚀副产物；

所述清除方法为加热分解，将腔室温度加热到250℃以上。

优选地，根据稀疏图形区域和密集图形区域的密集度比值，调整所述设定快刻厚度。

优选地，调整所述设定快刻厚度方法是：

在相同待刻蚀层的前层形貌、相同材料的样片、稀疏图形区域和密集图形区域的待刻蚀层上表面平齐、相同工艺条件下，进行试刻蚀至密集图形区域设计刻蚀深度，测量稀疏图形区域的刻蚀深度，稀疏图形区域的测量刻蚀深度与稀疏图形区域的设计刻蚀深度的差值设定为快刻厚度。

优选地，定义密集图形区域设计刻蚀深度是指从密集图形区域的待刻蚀层的前层的上表面，与待刻蚀层的最终刻蚀的上表面的距离；

在所述样片试刻蚀中，所述密集图形区域设计刻蚀深度为第一设计刻蚀深度，相同待刻蚀层的前层形貌、相同材料的半导体的所述待刻蚀层需刻蚀至第二设计刻蚀深度，调整所述设定快刻厚度为第二设计刻蚀深度/第一设计刻蚀深度*稀疏图形区域的测量刻蚀深度与稀疏图形区域的设计刻蚀深度的差值。

优选地，步骤s1中的在稀疏图形区域比密集图形区域多预留设定快刻厚度的待刻蚀层的方法是：在所述稀疏图形区域和所述密集图形区域上覆有待刻蚀层都生成上平面平齐的待刻蚀层后，再，

在稀疏图形区域多生成所述设定快刻厚度的待刻蚀层，

或采用掩模版在密集图形区域先刻蚀去除所述设定快刻厚度的待刻蚀层。

与现有技术相比，本发明提供了一种半导体制造方法，所述半导体包含稀疏图形区域和密集图形区域，所述稀疏图形区域和所述密集图形区域上覆有待刻蚀层；包括：步骤s1，刻蚀去除所述待刻蚀层的一循环厚度，产生一刻蚀副产物；步骤s2，清除所述刻蚀副产物；步骤s3，循环上述步骤s1和步骤s2，至所述待刻蚀层至设计厚度。据此，能够及时清除掉刻蚀副产物，保证了稀疏图形区域和密集图形区域的刻蚀率保持相同，从而让待刻蚀层在两个区域刻蚀至最终的设计刻蚀深度时不存在高度差，减轻了图形负载效应。

与现有技术相比，本发明还提供了一种半导体制造方法，所述半导体包含稀疏图形区域和密集图形区域，所述稀疏图形区域和所述密集图形区域上覆有待刻蚀层；包括：步骤s1，在稀疏图形区域比密集图形区域多预留一设定快刻厚度的待刻蚀层；步骤s2，对稀疏图形区域和密集图形区域的待刻蚀层进行刻蚀，利用刻蚀副产物做掩膜，刻蚀所述待刻蚀层至设计厚度。据此，通过预留的设定快刻厚度的待刻蚀层，保证了两个区域刻蚀至最终的设计刻蚀深度时不存在高度差，减轻了图形负载效应。

附图说明

图1a至图1c为现有技术的半导体制造方法的步骤示意图。

图1d为采用现有技术的半导体制造方法生成的器件形态照片。

图2a至图2e为本发明的半导体制造方法的第一实施例的步骤示意图。

图3a至图3e为本发明的半导体制造方法的第二实施例的步骤示意图。

附图标记说明。

现有技术：

稀疏图形区域01

密集图形区域02

待刻层03

前层04

副产物05

高度差h0；

本发明：

稀疏图形区域a1

密集图形区域a2

待刻蚀层1

稀疏图形区域的待刻蚀层11

稀疏图形区域的多生成的设定快刻厚度的待刻蚀层111

密集图形区域的待刻蚀层12

密集图形区域的先刻蚀的设定快刻厚度的待刻蚀层121

前层2

稀疏图形区域的前层21

密集图形区域的前层22

刻蚀副产物3

待刻蚀层的最上表面4

稀疏图形区域的待刻蚀层的最上表面41

密集图形区域的待刻蚀层的最上表面42

前层的上表面所在平面5

待刻蚀层的最终刻蚀的上表面6。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。

参阅图2a至图2e、图3a至图3e，本发明提供的制造方法的两个实施例均是应用于包含稀疏图形区域a1和密集图形区域a2的半导体的刻蚀制造。半导体具有待刻蚀层1和前层2，前层2具有iso-dense结构特征，其中，在稀疏图形区域的前层21上覆盖有待刻蚀层11，在密集图形区域的前层22上覆有待刻蚀层12。待刻蚀层1在刻蚀过程中会产生固态的刻蚀副产物3。为了减轻图形负载效应，本发明充分利用刻蚀副产物3是固态这一特性，提出了两个具体的实施例。

参阅图2a至图2e所示，本发明提供的半导体制造方法第一实施例。

参阅图2a所示，在前层2上生成待刻蚀层1。待刻蚀层1在稀疏图形区域a1和密集图形区域a2最上表面4齐平的。

参阅图2b所示，由于如图2a所示在所述密集图形区域的待刻蚀层的前层的上表面所在平面5以上，所述稀疏图形区域a1和所述密集图形区域a2上也覆盖有待刻蚀层1，所以需要将该部分待刻蚀层先刻蚀掉，因为该部分的待刻蚀层刻蚀速率相同，因此没必要采用本发明提供的循环方法，节约时间（无每次循环的加热清除副产物的时间）。

前处理步骤s0，刻蚀去除所述待刻蚀层，至所述密集图形区域的待刻蚀层的前层的上表面所在平面5。这一步骤的刻蚀过程产生的固态刻蚀副产物3在稀疏图形区域a1和密集图形区域a2上分布密度是一致的，因此刻蚀速度一致，不会产生高低差等图形负载效应。

参阅图2c所示，步骤s1（循环），刻蚀去除待刻蚀层1的循环厚度hc，产生刻蚀副产物3。

其中一种实施例，待刻蚀层1为氧化硅层（sio2），刻蚀副产物3为六氟硅酸铵（nh4）2sif6。

采用的刻蚀方法为等离子刻蚀，采用的反应气体为氟化氢（hf）和氨气（nh3）。反应方程式为：

sio2+6hf+2nh3→（nh4）2sif6（固态solid）+2h2o。

采用的刻蚀方法为等离子刻蚀，采用的反应气体为三氟化氮（nf3）和氨气（nh3）。三氟化氮（nf3）和氨气（nh3）先生成刻蚀剂氟化铵nh4f，二氟化铵nh4f·hf。刻蚀剂与氧化硅层（sio2）刻蚀作用，生成六氟硅酸铵（nh4）2sif6（固态solid）。

固态的刻蚀副产物3对刻蚀速率的影响，与图形的密集度有关。根据稀疏图形区域和密集图形区域的密集度比值，调整每次刻蚀的循环时间tc，以设定所述循环厚度hc。干法刻蚀具有各向异性（垂直刻蚀）和易于控制的特点。

参阅图2d所示，步骤s2（循环），清除刻蚀副产物3。

六氟硅酸铵（nh4）2sif6在70℃以上升华，生成气态sif4、nh3、hf被抽走。方程式如下：

（nh4）2sif6(solid)→sif4(g)+2nh3(g)+2hf(g)。

因此，采用加热分解进行清除，具体的将腔室温度加热到250℃以上。这样，晶圆片能够快速升温到100℃以上，六氟硅酸铵（nh4）2sif6快速分解为气体被抽走。

参阅图2e所示，步骤s3，循环图2c所示的步骤s1和图2d所示步骤s2，至所述待刻蚀层至设计厚度，也就是，刻蚀到图示的待刻蚀层最终表面6，刻蚀深度为he。

以上所述即为本发明提供的第一实施例的主要技术方案，主要就是步骤s1（循环），刻蚀去除待刻蚀层1的循环厚度hc；步骤s2（循环），清除刻蚀副产物3；循环步骤s1、和步骤s2，至所述待刻蚀层至设计厚度。据此，采用本发明提供的方法能够带来如下技术效果：能够及时清除掉刻蚀副产物3，保证了稀疏图形区域a1和密集图形区域a2的刻蚀率（etchrate）保持相同，从而让待刻蚀层1在两个区域（a1、a2）刻蚀至最终的设计刻蚀深度he时不存在高度差，减轻了图形负载效应。

参阅图3a至图3e所示，本发明提供的半导体制造方法第二实施例。

参阅图3a所示，步骤s1，在稀疏图形区域a1比密集图形区域a2多预留设定快刻厚度h1的待刻蚀层11。也就是，稀疏图形区域a1、密集图形区域a2的待刻蚀层11、12的上平面41、42，有一个高度差h1。

具体的方法是：

在稀疏图形区域a1和密集图形区域a2上覆有待刻蚀层1都生成上平面平齐（平面42）的待刻蚀层1后，再，在稀疏图形区域a1多生成所述设定快刻厚度的待刻蚀层（111）。

或，在稀疏图形区域a1和密集图形区域a2上覆有待刻蚀层1都生成上平面平齐（平面41）的待刻蚀层1后，再，采用掩模版在密集图形区域a2先刻蚀去除所述设定快刻厚度的待刻蚀层121。

如何确定高度差h1是本实施例提供的半导体制造方法的一个重要步骤。

根据稀疏图形区域和密集图形区域的密集度比值，调整设定快刻厚度h1。

调整所述设定快刻厚度h1方法是：

在相同待刻蚀层的前层形貌、相同材料的样片、稀疏图形区域和密集图形区域的待刻蚀层上表面平齐、相同工艺条件下，进行试刻蚀至密集图形区域设计刻蚀深度，测量稀疏图形区域的刻蚀深度。以上描述可以等同看做是图1a至图1c所示的现有技术的刻蚀方法。

稀疏图形区域的测量刻蚀深度与稀疏图形区域的设计刻蚀深度的差值（参阅图1c所示，即为h0）设定为快刻厚度h1。

参阅图3e所示，定义密集图形区域设计刻蚀深度he是指从密集图形区域的待刻蚀层的前层的上表面5，与待刻蚀层的最终刻蚀的上表面6的距离。

在样片试刻蚀中，密集图形区域设计刻蚀深度为第一设计刻蚀深度he1，相同待刻蚀层的前层形貌、相同材料的半导体的所述待刻蚀层需刻蚀至第二设计刻蚀深度he2，调整所述设定快刻厚度h12为（计算公式）：

第二设计刻蚀深度/第一设计刻蚀深度*稀疏图形区域的测量刻蚀深度与稀疏图形区域的设计刻蚀深度的差值，即（he2/he1*h0）。

参阅图3b至图3d所示，步骤s2，对稀疏图形区域a1和密集图形区域a2的待刻蚀层（11、12）进行刻蚀，利用刻蚀副产物3做掩膜，刻蚀所述待刻蚀层1至设计厚度he。

图3b展示了步骤s2开始阶段的两个区域的待刻蚀层11、12的高度差，由于刻蚀速率相同，基本保持原有的高度差h1。

图3c展示了步骤s2中间阶段的两个区域的待刻蚀层11、12的高度差为hm，由于图形负载效应，此时的高度差hm逐渐缩小，小于h1。

图3d展示了步骤s2中间阶段的两个区域的待刻蚀层11、12的高度差为0。

其中一种实施例，待刻蚀层1为氧化硅层（sio2），刻蚀副产物3为六氟硅酸铵（nh4）2sif6。

采用的刻蚀方法为等离子刻蚀，采用的反应气体为氟化氢（hf）和氨气（nh3）。反应方程式为：

sio2+6hf+2nh3→（nh4）2sif6（固态solid）+2h2o。

采用的刻蚀方法为等离子刻蚀，采用的反应气体为三氟化氮（nf3）和氨气（nh3）。三氟化氮（nf3）和氨气（nh3）先生成刻蚀剂氟化铵nh4f，二氟化铵nh4f·hf。刻蚀剂与氧化硅层（sio2）刻蚀作用，生成六氟硅酸铵（nh4）2sif6（固态solid）。

参阅图3e所示，步骤s3，清除所述刻蚀副产物3。

清除方法为加热分解，将腔室温度加热到250℃以上。

刻蚀副产物3为六氟硅酸铵（nh4）2sif6在70℃以上升华，生成气态sif4、nh3、hf被抽走。方程式如下：

（nh4）2sif6(solid)→sif4(g)+2nh3(g)+2hf(g)。

因此，采用加热分解进行清除，具体的将腔室温度加热到250℃以上。这样，晶圆片能够快速升温到100℃以上，六氟硅酸铵（nh4）2sif6快速分解为气体被抽走。

以上所述即为本发明提供的第二实施例的主要技术方案，主要包括步骤s1，在稀疏图形区域a1比密集图形区域a2多预留设定快刻厚度h1的待刻蚀层1；步骤s2，对稀疏图形区域a1和密集图形区域a2的待刻蚀层1进行刻蚀，利用刻蚀副产物3做掩膜，刻蚀待刻蚀层1至设计厚度he。据此，采用本发明提供的方法能够带来如下技术效果：通过预留的设定快刻厚度h1的待刻蚀层，抵消了图形负载效应本来产生的高度差h0，从而保证了两个区域刻蚀至最终的设计刻蚀深度he时不存在高度差，减轻了图形负载效应。

综上所述，本发明提供的半导体制造方法的两个实施例，针对具有稀疏图形区域a1和密集图形区域a2的结构特征（iso-dense）的半导体的刻蚀工艺，通过循环刻蚀-清除固态副产物，或，预留快刻层以抵消固态副产物作为掩膜降低刻蚀速率的影响等方法，据此，能够实现待刻蚀层1在两个区域a1、a2刻蚀至最终的设计刻蚀深度he时不存在高度差（齐平、或高度差为0），减轻了图形负载效应。

上述具体实施例和附图说明仅为例示性说明本发明的技术方案及其技术效果，而非用于限制本发明。任何熟于此项技术的本领域技术人员均可在不违背本发明的技术原理及精神的情况下，在权利要求保护的范围内对上述实施例进行修改或变化，均属于本发明的权利保护范围。