技术总结
本申请提供了一种硅片制绒方法与硅片制绒装置，所述硅片制绒装置包括花篮、机械臂、第一反应槽与第二反应槽，所述机械臂或第一反应槽上设有限位杆。所述硅片制绒方法包括先将若干硅片放置在花篮内；然后，将花篮放入第一反应槽，对所述硅片进行第一次表面处理，并在所述第一次表面处理过程中，控制限位杆位于所述硅片上方，限制硅片移动；控制限位杆与花篮相分离，再将所述花篮放入第二反应槽，对所述硅片进行第二次表面处理。本申请硅片制绒方法与硅片制绒装置既能有效避免硅片第一次表面处理过程中出现漂浮移动，又能避免限位杆在后续制程中影响硅片表面处理的均匀性，改善制绒效果与硅片外观。果与硅片外观。果与硅片外观。
技术研发人员：叶晓亚 曹芳 邹帅 王栩生 邢国强
受保护的技术使用者：阿特斯阳光电力集团股份有限公司
技术研发日：2019.12.04
技术公布日：2021/6/3