一种光刻用多功能石英载体及其加工工艺的制作方法

本发明涉及石英技术领域，尤其涉及一种光刻用多功能石英载体及其加工工艺。

背景技术：

现有的石英缸为单层缸体结构，无法实现自动自动溢流及排气，原有缸体焊接稳定性差，破损率高，在加工中产生的应力无法去除，而且整体结构的退火次数多，清洗工序繁琐。为此本申请根据需要特别设计了一种新的光刻用多功能石英载体。

技术实现要素：

本发明的目的在于提供一种光刻用多功能石英载体及其加工工艺，以解决上述背景技术中提出的问题。

本发明的目的是通过下述技术方案予以实现：一种光刻用多功能石英载体，该石英载体包括内缸与外缸，所述内缸与外缸固定焊接为一体，所述内缸尺寸小于外缸，内缸与外缸之间形成封闭夹层，所述内缸包括第一内侧板、第二内侧板、第三内侧板、第四内侧板、内底板，所述第一内侧板、第二内侧板、第三内侧板、第四内侧板与所述内底板固定焊接为一体；

所述外缸包括第一外侧板、第二外侧板、第三外侧板、外底板，所述第一外侧板设置两个，且两个第一外侧板与第二外侧板、第三外侧板及外底板固定焊接为一体；

位于所述内缸上固定焊接有法兰，所述外底板与法兰之间固定焊接有支撑块，所述支撑块至少设置6个，且大小不同。

进一步地，所述内底板上固定对称设有石英钉。

进一步地，所述第一内侧板上固定对称开有上、下两个矩形通槽，所述上矩形通槽内固定焊接第一打孔板，所述下矩形通槽内固定焊接有第二打孔板。

进一步地，位于所述第一内侧板、第二内侧板底部固定开有圆弧通孔，所述圆弧通孔与第一导流管及第二导流管固定焊接为一体；

所述第一导流管为l型，由第一导流分管与第二导流分管固定焊接为一体，所述第二导流分管上固定开有若干通孔；

所述第二导流管为框型结构，由第三导流分管与第四导流分管固定焊接为一体，所述第一导流分管上固定开有若干通孔。

进一步地，所述法兰由若干个大小不同的法兰板拼焊而成，所述法兰上固定开有两个通孔与外底板上的通孔位于同一中轴线上，所述通孔内穿插固定焊接有第一通气管与第二通气管；

所述第一通气管与第二通气管位于内缸外侧；

所述第一通气管穿过所述外底板上的通孔延伸至内缸与外缸之间形成的封闭夹层内，所述第二通气管延伸与所述外底板底面并与外底板相通。

进一步地，所述所述第一内侧板、第二内侧板、第三内侧板、第四内侧板四边连接处固定焊接有石英块，所述石英块两侧单边倒角。

进一步地，所述第一内侧板、第二内侧板、第三内侧板、第四内侧板上端固定开有若干圆弧槽孔；

所述第一内侧板、第二内侧板底边固定设有倾斜角；

所述第三内侧板上固定开有沿口，所述沿口与内底板上的沿口相配合。

进一步地，所述第一外侧板设置有两个，且第一外侧板底边固定设有倾斜角。

进一步地，所述第一打孔板与第二打孔板上固定开有通孔，且第一打孔板尺寸大于第二打孔板尺寸。

一种光刻用多功能石英载体的加工工艺，加工工艺如下：

1)整体下料各个零部件，通过2％hf浸泡,纯水清洗；

2)法兰通过充分退火，恒温120分钟，倒角；

3)导流管通过2％hf浸泡,纯水清洗，封头-接管(车床退火)(注意加工后管口做齐口处理)，通过2％hf浸泡,纯水清洗，打孔，充分退火，恒温120分钟；

3)打孔板通过27％hf浸泡,纯水清洗，充分退火，恒温120分钟，倒角；

4)机械加工切割通气管；

5)石英块通过2％hf浸泡,纯水清洗，充分退火,恒温120分钟，加工螺纹孔，倒角；

6)支撑块通过2％hf浸泡,纯水清洗，充分退火，恒温120分钟，倒角；

7)石英钉车螺纹孔

8)组装内侧缸体-外侧法兰，充分退火，恒温120分钟，在通过2％hf浸泡,纯水清洗；

9)组装，辅焊法兰、通气管、导流管，充分退火，恒温120分钟，2％hf浸泡,纯水清洗；

10)整体抛光，充分退火，恒温120分钟，先检验应力，然后检验外观，最后根据成品图检验尺寸，最终洗净-干燥-内包装。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：相比其它石英缸，本产品加工更加复杂，部件更多，功能更全。比如增加了鼓泡功能使缸内液体流动性更加均匀，有搅拌功能。另外增加了测温功能，使用方便性大大增强。多个管口入水及出水，可将产品使用时增加不同液体，使用时不再是单一液体和手工注入，同时本产品的复杂程度也提高了对产品加工的技术要求和能力要求。

附图说明

图1是本发明整体主视图；

图2是本发明俯视图；

图3是本发明侧视图；

图4是本发明第一导流管示意图；

图5是本发明第二导流管示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1-5所示，一种光刻用多功能石英载体，该石英载体包括内缸与外缸，所述内缸与外缸固定焊接为一体，所述内缸尺寸小于外缸，内缸与外缸之间形成封闭夹层，所述内缸包括第一内侧板1、第二内侧板2、第三内侧板3、第四内侧板4、内底板5，所述第一内侧板1、第二内侧板2、第三内侧板3、第四内侧板4与所述内底板5固定焊接为一体；

所述外缸包括第一外侧板6、第二外侧板7、第三外侧板8、外底板9，所述第一外侧板6设置两个，且两个第一外侧板6与第二外侧板7、第三外侧板8及外底板9固定焊接为一体；

位于所述内缸上固定焊接有法兰10，所述外底板9与法兰10之间固定焊接有支撑块11，所述支撑块11至少设置6个，且大小不同。

在本实施例中，所述内底板5上固定对称设有石英钉12。

在本实施例中，所述第一内侧板1上固定对称开有上、下两个矩形通槽，所述上矩形通槽内固定焊接第一打孔板13，所述下矩形通槽内固定焊接有第二打孔板14。

在本实施例中，位于所述第一内侧板1、第二内侧板2底部固定开有圆弧通孔，所述圆弧通孔与第一导流管16及第二导流管17固定焊接为一体；

所述第一导流管16为l型，由第一导流分管161与第二导流分管162固定焊接为一体，所述第二导流分管162上固定开有若干通孔；

所述第二导流管17为框型结构，由第三导流分管171与第四导流分管172固定焊接为一体，所述第一导流分管172上固定开有若干通孔。

在本实施例中，所述法兰10由若干个大小不同的法兰板拼焊而成，所述法兰10上固定开有两个通孔与外底板9上的通孔位于同一中轴线上，所述通孔内穿插固定焊接有第一通气管18与第二通气管19；

所述第一通气管18与第二通气管19位于内缸外侧；

所述第一通气管18穿过所述外底板9上的通孔延伸至内缸与外缸之间形成的封闭夹层内，所述第二通气管19延伸与所述外底板9底面并与外底板9相通。

在本实施例中，所述所述第一内侧板1、第二内侧板2、第三内侧板3、第四内侧板4四边连接处固定焊接有石英块20，所述石英块20两侧单边倒角。

在本实施例中，所述第一内侧板1、第二内侧板2、第三内侧板3、第四内侧板4上端固定开有若干圆弧槽孔；

所述第一内侧板1、第二内侧板2底边固定设有倾斜角；

所述第三内侧板3上固定开有沿口，所述沿口与内底板5上的沿口相配合。

在本实施例中，所述第一外侧板6设置有两个，且第一外侧板6底边固定设有倾斜角。

在本实施例中，所述第一打孔板13与第二打孔板14上固定开有通孔，且第一打孔板13尺寸大于第二打孔板14尺寸。

一种光刻用多功能石英载体的加工工艺，加工工艺如下：

1)整体下料各个零部件，通过2％hf浸泡,纯水清洗；

2)法兰通过充分退火，恒温120分钟，倒角；

3)导流管通过2％hf浸泡,纯水清洗，封头-接管(车床退火)(注意加工后管口做齐口处理)，通过2％hf浸泡,纯水清洗，打孔，充分退火，恒温120分钟；

3)打孔板通过2％hf浸泡,纯水清洗，充分退火，恒温120分钟，倒角；

4)机械加工切割通气管；

5)石英块通过2％hf浸泡,纯水清洗，充分退火，恒温120分钟，加工螺纹孔，倒角；

6)支撑块通过2％hf浸泡，,纯水清洗，充分退火,恒温120分钟，倒角；

7)石英钉车螺纹孔

8)组装内侧缸体-外侧法兰，充分退火，恒温120分钟，在通过2％hf浸泡,纯水清洗；

9)组装，辅焊法兰、通气管、导流管，充分退火，恒温120分钟，2％hf浸泡,纯水清洗；

10)整体抛光，充分退火，恒温120分钟，先检验应力，然后检验外观，最后根据成品图检验尺寸，最终洗净-干燥-内包装。

对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。