一种硅材处理设备的制作方法

本实用新型涉及光伏技术领域，特别是涉及一种硅材处理设备。

背景技术：

随着光伏技术的发展，硅片、硅棒等硅材的使用也越来越广泛。例如，硅片作为电池片的主要组成结构，随着光伏装机容量的增加，硅片的使用也越来越广泛。

少子寿命是表征硅材质量的一项重要参数，现有的技术中，往往通过测得硅材的少子寿命来表征硅材的质量。由于硅材的表面质量很容易影响到少子寿命的检测精度，因此，在实际应用中，在测量硅材的少子寿命之前，往往需要将硅材进行腐蚀处理以去除硅材表面的损伤层，提高硅材的表面质量。

现有的技术中，在将硅材进行腐蚀处理的过程中，腐蚀处理产生的化合物很容易附着在硅材的表面上，导致硅材的腐蚀处理效果较差。而且，腐蚀处理的过程中会产生大量的气泡附着在硅材上，使得硅材容易从腐蚀液中浮出，这样，很容易导致硅材的腐蚀程度较差，进而，导致硅材的腐蚀处理效果较差。

技术实现要素：

有鉴于此，为了解决现有的技术中，硅材的腐蚀处理效果较差的问题，本实用新型提出了一种硅材处理设备。

为了解决上述问题，本实用新型公开了一种硅材处理设备，包括：

机架；

处理槽，所述处理槽固定于所述机架上；

摆动装置，所述摆动装置设置于所述机架上，且相对于所述处理槽设置，所述摆动装置上设有工装连接部；

硅材工装，所述硅材工装与所述摆动装置上的工装连接部连接，所述硅材工装用于承载硅材；

控制装置，所述控制装置与所述摆动装置连接，所述控制装置用于控制所述摆动装置摆动，以带动所述硅材工装摆动。

可选地，所述摆动装置包括：摆动单元和升降单元；其中，

所述工装连接部与所述摆动单元连接；

所述升降单元与所述摆动单元连接，所述升降单元用于驱动所述摆动单元上升或者下降。

可选地，所述摆动单元包括：第一驱动件、摆动机构以及第一固定板；其中，

所述工装连接部与所述摆动机构连接；

所述第一固定板与所述摆动机构可转动连接；

所述摆动机构与所述第一驱动件连接，所述摆动机构用于在所述第一驱动件的驱动下，带动所述工装连接部摆动。

可选地，所述摆动机构包括：两个曲柄杆、两个第一轴承以及传动件；其中，

每个所述曲柄杆通过一个所述第一轴承固定于所述第一固定板上；

每个所述曲柄杆的第一端与所述传动件连接；

每个所述曲柄杆的第二端连接于所述工装连接部上；

所述第一驱动件与其中一个所述曲柄杆的第一端连接，在所述第一驱动件的驱动下，所述两个曲柄杆联动，带动所述工装连接部摆动。

可选地，所述传动件为：传动带或者传动链条。

可选地，所述升降单元包括：第二驱动件、导向结构以及第二固定板；其中，

所述第二驱动件固定于所述第二固定板上；

所述导向结构分别与所述第二驱动件、所述摆动单元连接，所述导向结构用于，在所述第二驱动件的驱动下，带动所述摆动单元上升或者下降。

可选地，所述导向结构包括：导向板和导向杆；其中，

所述导向板和所述导向杆连接；

所述导向杆与所述摆动单元连接；

所述导向板与所述第二驱动件连接，所述导向板用于在所述第二驱动件的作用下，带动所述摆动单元上升或者下降。

可选地，所述升降单元还包括：第二轴承；其中，

所述第二固定板在与所述导向杆相对的位置设有第一通孔；

所述第二轴承设置于所述第一通孔内；

所述导向杆穿过所述第二轴承的内壁，所述导向杆与所述第二轴承配合连接。

可选地，所述第二驱动件为气缸，所述气缸包括气缸本体和活塞；其中，

所述气缸本体和所述导向板连接，所述活塞与所述第二固定板连接，或者，所述汽缸本体与所述第二固定板连接，所述活塞与所述导向板连接。

可选地，所述硅材处理设备还包括：加热装置；其中，

所述加热装置与所述控制装置连接，所述加热装置用于，在所述控制装置的控制下，对所述处理槽进行加热。

可选地，所述硅材工装包括：

两个定位板，所述两个定位板相对设置，所述两位定位板中至少有一个定位板上设有限位槽，所述限位槽用于固定所述硅材；

至少两个连接杆，每个所述连接杆分别与所述两个定位板固定连接，所述至少两个连接杆与所述两个定位板之间形成容纳所述硅材的容纳空间；

限位机构，所述限位机构用于限位所述定位板上固定的所述硅材。

可选地，所述限位机构为限位板；

所述限位板上设有朝向所述定位板的滑块；

则所述两个定位板在与所述滑块相对的位置设有滑槽，所述滑槽与所述滑块配合连接。

可选地，所述限位机构为限位支架；其中，

所述限位支架上设有卡槽，所述卡槽与所述连接杆卡接连接。

可选地，所述硅材工装还包括：两个限位侧板；其中，

所述两个限位侧板分别与所述两个定位板连接。

可选地，每个所述定位板上设有连接部；其中

所述连接部与所述工装连接部连接。

本实用新型包括以下优点：

本实用新型实施例中，所述硅材处理设备可以用于对硅材进行腐蚀处理。所述处理槽可以用于容纳腐蚀溶液，由于摆动装置相对于所述处理槽设置，所述摆动装置上设有工装连接部；所述硅材工装与所述摆动装置上的工装连接部连接，所述硅材工装用于承载硅材；所述控制装置与所述摆动装置连接，所述控制装置用于控制所述摆动装置摆动，以带动所述硅材工装摆动。在实际应用中，在对所述硅材进行腐蚀处理的过程中，通过所述硅材工装的摆动，可以使得腐蚀处理产生的化合物从所述硅材的表面脱落，提升所述硅材的腐蚀处理效果。而且，由于所述硅材工装可以用于承载限位所述硅材，这样，就可以避免所述硅材从所述处理槽的腐蚀溶液中浮出，进一步提升所述硅材的腐蚀处理效果。

附图说明

图1是本实用新型的一种硅材处理设备的结构示意图；

图2是本实用新型的一种摆动装置的结构示意图；

图3是本实用新型的一种硅材工装的结构示意图之一；

图4是本实用新型的一种硅材工装的结构示意图之二；

图5是本实用新型的一种硅材工装的结构示意图之三。

附图标记说明：

11-机架，12-处理槽，13-摆动装置，131-工装连接部，132-摆动单元，1321-第一驱动件，1322-摆动机构，1323-第一固定板，1324-曲柄杆，1325-第一轴承，1326-传动件，133-升降单元，1331-第二驱动件，1332-导向结构，1333-第二固定板，1334-导向板，1335-导向杆，1336-第二轴承，14-硅材工装，141-定位板，142-连接杆，143-限位机构，144-限位侧板，145-连接部，146-卡槽，15-控制装置，16-加热装置。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

参照图1，示出了本实用新型的一种硅材处理设备的结构示意图，具体可以包括：

机架11；

处理槽12，处理槽12固定于机架11上；

摆动装置13，摆动装置13设置于机架11上，且相对于处理槽12设置，摆动装置13上设有工装连接部131；

硅材工装14，硅材工装14与摆动装置13上的工装连接部131连接，所述硅材工装用于承载硅材；

控制装置15，控制装置15与摆动装置13连接，控制装置15用于控制摆动装置13摆动，以带动硅材工装14摆动。

本实用新型实施例中，所述硅材处理设备可以用于对硅材进行腐蚀处理。处理槽12可以用于容纳腐蚀溶液，由于摆动装置13相对于处理槽12设置，摆动装置13上设有工装连接部131；硅材工装14与摆动装置13上的工装连接部131连接，硅材工装14可以用于承载硅材；控制装置15与摆动装置13连接，控制装置15可以用于控制摆动装置13摆动，以带动硅材工装14摆动。在实际应用中，在对所述硅材进行腐蚀处理的过程中，通过硅材工装14的摆动，可以使得腐蚀处理产生的化合物从所述硅材的表面脱落，提升所述硅材的腐蚀处理效果。而且，由于硅材工装14可以用于承载限位所述硅材，这样，就可以避免所述硅材从处理槽12的腐蚀溶液中浮出，进一步提升所述硅材的腐蚀处理效果。

参照图2，示出了本实用新型的一种摆动装置的结构示意图。如图2所述，所述摆动装置可以包括：摆动单元132和升降单元133；其中，工装连接部131与摆动单元132连接；升降单元133与摆动单元132连接，升降单元133可以用于驱动摆动单元132上升或者下降。

在实际应用中，在将硅材工装14安装到工装连接部131，以与摆动单元132连接，或者，将硅材工装14从摆动单元132上卸下来之前，需要将摆动单元132上升或者下降到合适的位置上。本实用新型实施例中，升降单元133和摆动单元132可以分别与控制装置15连接，在控制装置15的控制下，升降单元133可以驱动摆动单元132上升或者下降到合适的位置。同理，在控制装置15的控制下，摆动单元132可以带动硅材工装14摆动，使得腐蚀处理产生的化合物从所述硅材的表面脱落，提升所述硅材的腐蚀处理效果。

如图2所示，摆动单元132可以包括：第一驱动件1321、摆动机构1322以及第一固定板1323；其中，工装连接部131与摆动机构1322连接；第一固定板1323与摆动机构1322可转动连接；摆动机构1322与第一驱动件1321连接，摆动机构1322可以用于在第一驱动件1321的驱动下，带动工装连接部131摆动。

具体地，摆动机构1322可以包括：两个曲柄杆1324、两个第一轴承1325以及传动件1326；其中，每个曲柄杆1324通过一个第一轴承1325固定于第一固定板1323上；每个曲柄杆1324的第一端与传动件1326连接；每个曲柄杆1324的第二端通过一个第一轴承1325连接于工装连接部131上；第一驱动件1321与其中一个曲柄杆1324的第一端连接，在第一驱动件1321的驱动下，两个曲柄杆1324联动，带动工装连接部131摆动。

在实际应用中，第一驱动件1321可以与控制装置15连接，在控制装置15的控制下，第一驱动件1321可以带动与其连接的曲柄杆1324转动，进而带动传动件1326转动。传动件1326的转动，可以使得两个曲柄杆1324联动，带动与两个曲柄杆1324连接的工装连接部131摆动。

具体地，第一驱动件1321可以为电机、发动机等驱动件，本实用新型实施例对于第一驱动件1321的具体类型可以不做限定。传动件1326可以为传动带或者传动链条等，本实用新型实施例对于传动件1326的具体内容可以不做限定。

如图2所示，升降单元133可以包括：第二驱动件1331、导向结构1332以及第二固定板1333；其中，第二驱动件1331固定于第二固定板1333上；导向结构1332分别与第二驱动件1331、摆动单元132连接，导向结构1332用于，在第二驱动件1331的驱动下，带动摆动单元132上升或者下降。

具体地，导向结构1332可以包括：导向板1334和与导向杆1335；其中，导向板1334和导向杆1335连接；导向杆1335与摆动单元132连接；导向板1334与第二驱动件1331连接，导向板1334可以用于在第二驱动件1331的作用下，带动摆动单元132上升或者下降。在实际应用中，在第二驱动件1331的驱动下，导向板1334可以带动导向杆1335上升或者下降，由于导向杆1335与摆动单元132连接，导向杆1335的上升或者下降，可以带动摆动单元132上升或者下降。

具体地，升降单元133还可以包括：第二轴承1336；其中，第二固定板1333在与导向杆1335相对的位置设有第一通孔；第二轴承1336设置于所述第一通孔内；导向杆1335穿过第二轴承1336的内壁，导向杆1335与第二轴承1336配合连接。在实际应用中，第二固定板1333可以用于限位支撑导向杆1335的上升和下降。

本实用新型实施例中，第二驱动件1331可以为气缸，所述气缸包括气缸本体和活塞；其中，所述气缸本体和导向板1334连接，所述活塞与第二固定板1333连接，或者，所述汽缸本体与第二固定板1333连接，所述活塞与导向板1334连接。

在实际应用中，由于所述气缸本体和导向板1334连接，所述活塞与第二固定板1333连接，或者，所述汽缸本体与第二固定板1333连接，所述活塞与导向板1334连接，这样，在所述活塞沿着所述气缸本体做直线往复运动的过程中，导向板1334可以相对于第二固定板1333上升或者下降，带动导向杆1335上升或者下降，进而，可以带动摆动单元132上升或者下降。

具体地，第二驱动件1331可以与控制装置15连接，在将硅材工装14安装到摆动单元132上，或者，将硅材工装14从摆动单元132上卸下来之前，在控制装置15的控制下，第二驱动件1331可以带动导向板1334和导向杆1335上升或者下降。由于导向杆1335与摆动单元132连接，导向杆1335的上升或者下降，可以带动摆动单元132上升或者下降，以将摆动单元132上升或者下降到合适的位置上。

在本实用新型的一种可选实施例中，所述硅材处理设备还可以包括：加热装置16；其中，加热装置16与控制装置15连接，加热装置16可以用于，在控制装置15的控制下，对处理槽11进行加热。

具体地，加热装置16可以设置于处理槽11的底部。在实际应用中，控制装置15可以根据所述硅材的处理条件，控制加热装置16对处理槽11内的腐蚀溶液进行加热。

参照图3，示出了本实用新型的一种硅材工装的结构示意图之一，如图3所示，所述硅材工装包括：两个定位板141，两个定位板141相对设置，两位定位板141中至少有一个定位板141上设有限位槽，所述限位槽用于固定硅材20；至少两个连接杆142，每个连接杆142分别与两个定位板141固定连接，至少两个连接杆142与两个定位板141之间形成容纳所述硅材的容纳空间；限位机构143，限位机构143可以用于限位定位板141上固定的硅材20。

本实用新型实施例中，由于硅材工装14可以用于承载限位硅材20，这样，就可以避免硅材20从处理槽12的腐蚀溶液中浮出，进一步提升硅材20的腐蚀处理效果。

如图3所示，限位机构143为限位板；所述限位板上设有朝向定位板141的滑块；两个定位板141在与滑块相对的位置设有滑槽，所述滑槽与所述滑块配合连接。

在实际应用中，在装载硅材20的过程中，可以先通过所述滑块在所述滑槽内的滑动，将所述限位板从定位板141上移开；然后，将硅材20固定在定位板141的限位槽内；最后，再通过所述滑块在所述滑槽内的滑动，将所述限位板移动到定位板141上，对硅材20进行限位。

可以理解是，在实际应用中，所述滑块和所述滑槽的数量和位置可以根据实际情况进行设定。例如，可以在所述限位板的两端分别设置所述滑块，然后，在每个定位板141上与所述滑块相对的位置各设置一个滑槽。又如，可以在所述限位板的其中一端设置所述滑块，然后。在两个定位板141中其中的一个定位板141上设置一个滑槽。本实用新型实施例对于所述滑块与所述滑槽的具体位置和具体数量可以不做限定。

如图3所示，所述硅材工装还可以包括：两个限位侧板144；其中，两个限位侧板144分别与两个定位板141连接。在实际应用中，两个限位侧板144可以用于加强两个定位板141和至少两个连接杆142之间的连接强度。

如图3所示的硅材工装中，每个定位板141上还设有连接部145；其中，连接部145与工装连接部131连接。

参照图4，示出了本实用新型的一种硅材工装的结构示意图之二，参照图5，示出了本实用新型的一种硅材工装的结构示意图之三。如图4、图5所示，限位机构143可以为限位支架；其中，所述限位支架上设有卡槽146，卡槽146与连接杆142卡接连接。

在实际应用中，在装载硅材20的过程中，可以先将所述限位支架上的卡槽146从连接杆142上取出，将所述限位支架从连接杆142上移开；然后，将硅材20固定在定位板141的限位槽内；最后，再将所述限位支架上的卡槽146卡入连接杆142上，对硅材20进行限位。

可以理解的是，在实际应用中，所述限位支架的高度可以根据实际需要进行设定。例如，如图4所示，在硅材20的高度较高的情况下，所述限位支架的高度相应较高。又如，如图5所示，在硅材20的高度较低的情况下，所述限位支架的高度相应较低。本实用新型实施例对于所述限位支架的具体高度不做限定。

本实用新型实施例中，硅材20可以为硅片、硅棒等类型的硅材，本实用新型实施例对于硅材20的具体类型不做限定。在硅材20为硅片的情况下，所述硅片的形状可以为图3所示的矩形，也可以为图4、图5所示的圆形，本实用新型实施例对于所述硅片的具体形状可以不做限定。

综上，本实用新型实施例所述的硅材处理设备至少包括以下优点：

本实用新型实施例中，所述硅材处理设备可以用于对硅材进行腐蚀处理。所述处理槽可以用于容纳腐蚀溶液，由于摆动装置相对于所述处理槽设置，所述摆动装置上设有工装连接部；所述硅材工装与所述摆动装置上的工装连接部连接，所述硅材工装用于承载硅材；所述控制装置与所述摆动装置连接，所述控制装置用于控制所述摆动装置摆动，以带动所述硅材工装摆动。在实际应用中，在对所述硅材进行腐蚀处理的过程中，通过所述硅材工装的摆动，可以使得腐蚀处理产生的化合物从所述硅材的表面脱落，提升所述硅材的腐蚀处理效果。而且，由于所述硅材工装可以用于承载限位所述硅材，这样，就可以避免所述硅材从所述处理槽的腐蚀溶液中浮出，进一步提升所述硅材的腐蚀处理效果。

最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者终端设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者终端设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者终端设备中还存在另外的相同要素。

以上对本实用新型所提供的一种硅材处理设备，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。