一种简易操作的晶圆转换器的制作方法

本实用新型涉及晶圆设备领域，尤其涉及一种简易操作的晶圆转换器。

背景技术：

现有的晶圆转换器是将载片晶舟放在靠近推手的一侧，并将待载片晶舟放在载片晶舟对面位置处，通过人工的方式，确认的晶圆放置是否平稳无误，进而再推动推手将晶圆推入待载片晶舟内，完成对晶圆的放置。

因为载片晶舟与推手位置接近，因此在放置时需要员工的一只手跨过推手的位置放置晶圆，不可避免的会存在晶舟与推手碰撞风险，进而造成晶圆或晶舟的破损。导致了将晶舟放置到工作台上时，由于晶舟放置时将晶舟将轨道遮挡，轨道上预留的定位缝隙被遮挡，需要员工手动来回移动晶舟寻找轨道缝隙，使得定位晶舟需要消耗较长的时间，影响作业效率且。且在移动过程中存在晶圆划伤情况。而且在放置晶舟时，晶舟与推手位置接近，需要跨过推手放置晶舟，因此在放置晶舟过程中，容易发生晶舟撞到推手造成晶舟中晶圆破片的问题。

技术实现要素：

为此，需要提供一种简易操作的晶圆转换器，用以解决现有的晶舟转换器在转换晶圆时，容易造成晶圆破损的问题。

为实现上述目的，发明人提供了一种简易操作的晶圆转换器，包括载台、第一轨道、第二轨道、第一定位装置、第二定位装置和推手；所述第一轨道的两滑轨之间的载台上设置有限位条，所述载台上设置有定位块，所述定位块位于第一轨道的一端上，所述第一定位装置设置在限位条与定位块之间的载台上，且所述第一定位装置位于两滑轨之间，所述推手设置在载台的一端上，且所述推手朝向第一轨道设置；所述第二轨道与第一轨道首尾对齐设置在载台上，所述第二轨道的两滑轨之间设置有第二定位装置，所述第一轨道与第二轨道上分别设置有一个h型滑轨，所述h型滑轨的两个滑轨之间的宽度小于第一轨道的两滑轨之间的宽度，且所述h型滑轨的两个滑轨之间的宽度小于第二轨道的两滑轨之间的宽度。

进一步地，所述第一定位装置包括第一显示灯和第一位置传感器，第一传感器与第一显示灯的电路电连接，第一位置传感器用于检测晶舟是否平稳地放置在载台上，以及用于断开或合闭第一显示灯与电源之间的开关；

所述第一位置传感器设置在第一轨道的两滑轨之间的载台上，且第一位置传感器位于限位条朝向定位块的一侧上，第一显示灯设置在载台上，且第一显示灯位于第一轨道的一侧上。

进一步地，所述第一位置传感器设置有多个，多个所述第一位置传感器设置在第一轨道的两滑轨之间的载台上。

进一步地，所述第二定位装置包括第二显示灯和第二位置传感器，第二传感器与第二显示灯的电路电连接，第二位置传感器用于检测晶舟是否平稳地放置在载台上，以及用于断开或合闭第二显示灯与电源之间的开关；所述第二位置传感器设置在第二轨道的两滑轨之间的载台上，第二显示灯设置在载台上，且第二显示灯位于第二轨道的一侧上。

进一步地，所述第二位置传感器设置有多个，多个所述第二位置传感器设置在第二轨道的两滑轨之间的载台上。

所述推手设置有开关按钮，所述开关按钮与推手电连接，所述开关按钮用于启动或停止推手。

区别于现有技术，上述技术方案在载台对齐安装第一轨道和第二轨道，并在第一轨道上加装限位条，并在其上安装h型滑轨，使得h型滑轨可以在轨道上滑动，进而便于安装晶舟于轨道上。通过限位条限制晶舟前端面，同时通过定位块对晶舟的后端面进行定位，完成对晶舟的定位安放，达到一次性快速定位的效果。而且为了确认晶舟安放平稳，通过第一定位装置和第二定位装置可以对确认晶舟是否安装平稳。最后通过推手将第一轨道上的晶舟内的晶圆推送至第二轨道上的晶舟内，完成对晶圆的转换存储，提高了晶圆转换器的工作效率。

附图说明

图1为具体实施方式所述的简易操作的晶圆转换器的结构图；

图2为具体实施方式所述的简易操作的晶圆转换器的示意图。

附图标记说明：

1、晶舟；

10、载台；101、定位块；

11、第一轨道；111、限位条；

12、第二轨道；

13、第一定位装置；131、第一位置传感器；132、第一显示灯；

14、第二定位装置；141、第二位置传感器；142、第二显示灯；

15、推手；151、开关按钮；

16、h型滑轨；

具体实施方式

为详细说明技术方案的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合具体实施例并配合附图详予说明。

请参阅图1和图2，本实施例提供一种简易操作的晶圆转换器，包括载台10、第一轨道11、第二轨道12、第一定位装置13、第二定位装置14和推手15。第一轨道的两滑轨之间的载台上设置有限位条111，载台上设置有定位块101。在本实施例中第一轨道和第二轨道的宽度相等，且第二轨道上也具有限位条，便于对晶舟1进行放置。将载台上的第一轨道和第二轨道对齐安装，并在第一轨道上加装限位条。而在第一轨道和第二轨道上分别安装一个h型滑轨16之间的宽度会小于第一轨道和第二轨道的宽度，使得h型滑轨可以在第一轨道或第二轨道内滑动，进而便于安装晶舟于轨道上。

再使用限位条对晶舟前端面进行定位安装，同时通过定位块对晶舟的后端面进行定位，完成对晶舟的定位安放，达到一次性快速定位的效果。而且为了确认晶舟安放平稳，通过第一定位装置和第二定位装置可以对确认晶舟是否安装平稳。最后通过推手将第一轨道上的晶舟内的晶圆推送至第二轨道上的晶舟内，完成对晶圆的转换存储，提高了晶圆转换器的工作效率。

对于第一定位装置和第二定位装置都是通过位置传感器进行检测定位。具体的，在第一轨道上安装一个或多个位置传感器，本实施例中在限位条的一侧上安装两个第一位置传感器131。限位条会分别垂直第一轨道的两条滑轨，而两个第一位置传感器之间的连线会平行于限位条，因此可以对晶舟的前端进行精确的定位，避免晶舟发生倾斜的情况。往日了便于安装人员了解是否安装完成，在载台上还安装了第一显示灯132，通过第一显示灯安装人员可以清楚的了解到晶舟安装是否平稳。具体的，当位置传感器检测后，将检测的信号反馈至第一显示灯与电源之间的电源线上的电磁开关上，若平稳则通过电磁开关合闭导通电源，使得第一显示灯亮起，若不平稳则电磁开关处在断开状态，则第一显示灯处在关闭的状态。而且通过位置传感器进而使得显示灯亮起，在本领域中属于常见的电连接方式，属于现有的技术，且通过电源线之间的电连接即可实现。在本实施例中显示灯与位置传感器都设置在载台上，而电源可以采用蓄电池，也可以通过电压转换器连接市电使用，由于上述方式属于现有技术，在此不进行详细赘述。同理，对于第二位置传感器141与第二显示灯142之间的原理，与第一位置传感器与第二显示灯之间的相同，且第二位置传感器也设置两个，其安装方式与第一位置传感器相同，且两个第二位置传感器之间的连线与两个第一位置传感器之间的连线相互平行设置。

本实施例中推手设置有开关按钮151，推手通过电源线与电源电连接，该电源可以为蓄电池或市电，而开关按钮可以安装在推手与电源之间的电源线上，因此可以通过开关开启或停止推手的运行。对于开关按钮控制推手来回移动，可以采用两个按钮进行控制，使得推手内的电机正反转完成推手在其轨道内的往返运动。或者，采用三挡开关进行控制推手电机的正反转，该控制方式都属于现有技术，因此不再进行详细的赘述。对于本实施例中的开关按钮可以为电机三挡开关，通过开关按钮开启推手，将第一轨道上晶舟内的晶圆推送至第二轨道上的晶舟内，完成对晶圆的转换存储。而且人工式的控制可以随时停止推手，有效防止事故的发生或恶化，提高了晶圆转换器的灵活性和安全性。

需要说明的是，尽管在本文中已经对上述各实施例进行了描述，但并非因此限制本实用新型的专利保护范围。因此，基于本实用新型的创新理念，对本文所述实施例进行的变更和修改，或利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，直接或间接地将以上技术方案运用在其他相关的技术领域，均包括在本实用新型专利的保护范围之内。