一种硅晶圆外观检测设备的制作方法

本实用新型涉及外观检测设备技术领域，尤其涉及一种硅晶圆外观检测设备。

背景技术：

硅晶圆就是指硅半导体电路制作所用的硅晶片，晶圆是制造IC的基本原料，生产硅晶圆的过程当中，良品率是很重要的条件，对于硅晶圆的品质要求极为严格，在大批量生产的时候，往往需要对硅晶圆进行外观检测，比如：尺寸，破损，裂粒，气孔，裂痕，镍层不良等等。

传统工艺中，往往是通过人工来手动进行硅晶圆的外观检测，费时费力，且易使得硅晶圆受到人为外力的作用而损坏，现有的硅晶圆外观检测设备结构复杂，往往通过机械手抓取硅晶圆，也易导致硅晶圆受到外力作用而损坏，导致次品率提高，为此我们提出了一种硅晶圆外观检测设备，用来解决上述问题。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种硅晶圆外观检测设备，其可通过吸盘吸附住硅晶圆移动，避免了人工进行移动操作费时费力且易使得硅晶圆受到外力作用而损坏的情况，更好的保护了硅晶圆，提高了产品的质量，降低了次品率。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种硅晶圆外观检测设备，包括检测机体，所述检测机体的一侧侧壁上设有中空槽，所述中空槽的底部内壁上固定连接有检测台，所述中空槽的底部内壁上放置有硅晶圆，所述中空槽的上端内壁上固定连接有与检测台位置相对应的检测装置，所述中空槽的内壁上通过滑动机构滑动连接有装置块，所述装置块内设有伸缩吸取机构。

优选地，所述检测台的上端侧壁上固定连接有软木垫片。

优选地，所述滑动机构包括设置在中空槽的内壁上的电动滑轨，所述电动滑轨沿水平方向设置，所述装置块靠近电动滑轨的一端侧壁上固定连接有与电动滑轨位置相对应的电动滑块。

优选地，所述伸缩吸取机构包括设置在装置块的侧壁中的装置腔，所述装置腔的上端内壁上固定连接有电动推杆，所述电动推杆输出轴的末端朝下贯穿装置腔的底部内壁并与其滑动连接，所述装置块的下端设有固定块，所述电动推杆输出轴的末端与固定块的上端侧壁固定连接。

优选地，所述装置腔的底部内壁上固定连接有真空泵，所述真空泵的输出端贯穿装置腔的底部内壁并固定连接有柔性可拉伸气管。

优选地，所述固定块的侧壁中设有中空腔，所述固定块的下端侧壁上固定连接有吸盘，所述柔性可拉伸气管远离真空泵的一端贯穿固定块的侧壁并与吸盘相连通。

本实用新型具有以下有益效果：

1、通过设置滑动机构和伸缩吸取机构，装置块通过电动滑块沿电动滑轨滑动，使得吸盘移动到中空槽底部内壁上的硅晶圆的正上方，电动推杆的输出端带动固定块向下移动，当固定块下端的吸盘抵在硅晶圆上，停止电动推杆，启动真空泵，真空泵通过柔性可拉伸气管可将吸盘与硅晶圆之间的空间的空气抽离，使得吸盘在负压的作用下吸附住硅晶圆，电动推杆的输出端带动固定块向上移动，并且装置块通过电动滑块沿电动滑轨滑动，使得吸盘移动到检测台的正上方，并关闭真空泵将吸盘吸附住的硅晶圆放置在软木垫片上，通过检测装置即可对硅晶圆进行外观检测，通过吸盘吸附住硅晶圆移动，避免了人工进行移动操作费时费力且易使得硅晶圆受到外力作用而损坏的情况；

2、通过在检测台的上端侧壁上设置软木垫片，当吸盘吸附住的硅晶圆放置在软木垫片上时，软木垫片具有防震作用，可避免硅晶圆受到震动和冲击而损坏，从而更好的保护了硅晶圆，并提高了产品的质量，降低了次品率。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种硅晶圆外观检测设备的外观结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种硅晶圆外观检测设备的结构示意图；

图3为图2中A处结构放大图。

图中：1检测机体、2中空槽、3检测台、4软木垫片、5硅晶圆、6检测装置、7电动滑轨、8装置块、9装置腔、10电动推杆、11固定块、12中空腔、13吸盘、14真空泵、15柔性可拉伸气管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

参照图1-3，一种硅晶圆外观检测设备，包括检测机体1，检测机体1的一侧侧壁上设有中空槽2，中空槽2的底部内壁上固定连接有检测台3，检测台3的上端侧壁上固定连接有软木垫片4，中空槽2的底部内壁上放置有硅晶圆5，中空槽2的上端内壁上固定连接有与检测台3位置相对应的检测装置6，检测装置6为现有技术，此处不再阐述，检测装置6可对硅晶圆5进行外观检测。

其中，中空槽2的内壁上通过滑动机构滑动连接有装置块8，滑动机构包括设置在中空槽2的内壁上的电动滑轨7，电动滑轨7沿水平方向设置，装置块8靠近电动滑轨7的一端侧壁上固定连接有与电动滑轨7位置相对应的电动滑块，电动滑块和电动滑轨7的工作原理和电路连接均为现有技术，电动滑块可沿电动滑轨7移动位置。

其中，装置块8内设有伸缩吸取机构，伸缩吸取机构包括设置在装置块8的侧壁中的装置腔9，装置腔9的上端内壁上固定连接有电动推杆10，电动推杆10输出轴的末端朝下贯穿装置腔9的底部内壁并与其滑动连接，装置块8的下端设有固定块11，电动推杆10输出轴的末端与固定块11的上端侧壁固定连接，装置腔9的底部内壁上固定连接有真空泵14，真空泵14的输出端贯穿装置腔9的底部内壁并固定连接有柔性可拉伸气管15，固定块11的侧壁中设有中空腔12，固定块11的下端侧壁上固定连接有吸盘13，柔性可拉伸气管15远离真空泵14的一端贯穿固定块11的侧壁并与吸盘13相连通，其中，电动推杆10和真空泵14均为现有技术，使用时，将检测机体1平稳放置，装置块8通过电动滑块沿电动滑轨7滑动，使得吸盘13移动到中空槽2底部内壁上的硅晶圆5的正上方，启动电动推杆10，电动推杆10的输出端带动固定块11向下移动，在此过程中，因柔性可拉伸气管15具有一定长度，且远离真空泵14的一端贯穿固定块11的侧壁并与吸盘13相连通，故可随电动推杆10输出端的移动而拉伸，当固定块11下端的吸盘13抵在硅晶圆5上，停止电动推杆10，启动真空泵14，真空泵14通过柔性可拉伸气管15可将吸盘13与硅晶圆5之间的空间的空气抽离，使得吸盘13在负压的作用下吸附住硅晶圆5，电动推杆10的输出端带动固定块11向上移动，并且装置块8通过电动滑块沿电动滑轨7滑动，使得吸盘13移动到检测台3的正上方，并关闭真空泵14将吸盘13吸附住的硅晶圆5放置在软木垫片4上，通过检测装置6即可对硅晶圆5进行外观检测。

本实用新型中，使用时，将检测机体1平稳放置，电动滑块和电动滑轨7的工作原理和电路连接均为现有技术，电动滑块可沿电动滑轨7移动位置，装置块8通过电动滑块沿电动滑轨7滑动，使得吸盘13移动到中空槽2底部内壁上的硅晶圆5的正上方，启动电动推杆10，电动推杆10的输出端带动固定块11向下移动，在此过程中，因柔性可拉伸气管15具有一定长度，且远离真空泵14的一端贯穿固定块11的侧壁并与吸盘13相连通，故可随电动推杆10输出端的移动而拉伸，当固定块11下端的吸盘13抵在硅晶圆5上，停止电动推杆10，启动真空泵14，真空泵14通过柔性可拉伸气管15可将吸盘13与硅晶圆5之间的空间的空气抽离，使得吸盘13在负压的作用下吸附住硅晶圆5，电动推杆10的输出端带动固定块11向上移动，并且装置块8通过电动滑块沿电动滑轨7滑动，使得吸盘13移动到检测台3的正上方，并关闭真空泵14将吸盘13吸附住的硅晶圆5放置在软木垫片4上，通过检测装置6即可对硅晶圆5进行外观检测。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。