棒式水浴加热循环槽的制作方法

本实用新型涉及晶圆清洗设备技术领域，特别是指用于承装清洗溶液的棒式水浴加热循环槽。

背景技术：

棒式水浴加热循环槽以加热棒为热源，以水为介质将热能传导至槽内的清洗溶液实现加热。晶圆清洗使用的某些化学药剂具有挥发性，严重危害操作人员的身体健康，循环槽需要有极佳的密封性能去阻隔挥发的化学药剂，但是现有的循环槽的密封性还达不到完全隔绝的效果，还需要进一步改进。

技术实现要素：

本实用新型所要解决的技术问题是：如何提高棒式水浴加热循环槽的密封性能，使其能够完全阻隔挥发的化学药剂。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案如下：

棒式水浴加热循环槽，包括不锈钢外槽体、石英内槽体、加热棒、不锈钢槽盖和液压缸，所述石英内槽体安装于不锈钢外槽体内，并形成可承装水介质的腔室，所述加热棒置于所述腔室内；

所述不锈钢外槽体顶部安装有转轴，所述不锈钢槽盖与所述转轴固连，所述液压缸的杆件通过曲柄与所述转轴固定，其缸体采用铰接方式固定于所述不锈钢槽体外部；所述不锈钢外槽体的开口处安装有密封垫，所述不锈钢槽盖盖合后紧压在所述密封垫上。

优选的，所述不锈钢外槽体的外部安装有罩在所述液压缸上的保护罩。

优选的，所述液压缸采用纯水液压水缸。

优选的，所述不锈钢槽盖和所述不锈钢外槽体共同安装有一组以上的近接式光电开关。

优选的，所述加热棒为不锈钢材质的外丝式加热器。

优选的，安装于所述石英内槽体内用于测温的元件采用PFA包覆式PT-100型热电偶。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1.本实用新型采用液压缸带动不锈钢槽盖打开和关闭，实现了槽盖的一键开关功能，液压缸将槽盖紧压在密封垫上，能有效隔绝槽内化学药剂散出，保护操作人员安全；

2.本实用新型将槽体解构成内外两个槽体，石英内槽体可依清洗件尺寸订制，减少了化学药剂浪费；

3.用于测温的PFA包覆式PT-100型热电偶搭配温控器及SCR(电力调整期)使用,可精确控温于正负0.5°；

4.近接式光电开关与纯水液压水缸配合使用，可二次确认水缸的磁性开关动作，保证了槽盖的密封性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍。

图1是实施例一中公开的棒式水浴加热循环槽的立体图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

实施例一

如图1所示的棒式水浴加热循环槽，包括不锈钢外槽体10、石英内槽体20、加热棒30、不锈钢槽盖40和液压缸50，石英内槽体安装于不锈钢外槽体内，并形成可承装水介质的腔室，加热棒30置于腔室内；不锈钢外槽体顶部安装有转轴60，不锈钢槽盖与转轴固连，液压缸的杆件通过曲柄与转轴固定，其缸体采用铰接方式固定于不锈钢槽体外部；不锈钢外槽体的开口处安装有密封垫(图中未示出)，不锈钢槽盖盖合后紧压在密封垫上。液压缸作为动力源带动不锈钢槽盖旋转实现槽盖的一键开关功能，槽盖在关闭状态下，液压缸将槽盖紧压在密封垫上，能有效隔绝槽内化学药剂散出，保护操作人员安全。

不锈钢外槽体的外部安装有罩在液压缸上的不锈钢保护罩70。

安装于石英内槽体内用于测温的元件采用PFA包覆式PT-100型热电偶，其搭配温控器及SCR(电力调整器)使用,可精确控温于正负0.5°。

加热棒30为不锈钢材质的外丝式加热器，加热器的加热部横插入不锈钢外槽体内，由此可根据清洗量和清洗温度更换对应的加热器，可提高循环槽的运行效率。

实施例二

实施例一中所述的液压缸采用纯水液压水缸，在不锈钢槽盖和不锈钢外槽体共同安装有一组以上的近接式光电开关(图中未示出)。近接式光电开关与纯水液压水缸配合使用，可二次确认水缸的磁性开关动作，保证了槽盖的密封性。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。