1.一种利用二氧化铪钝化增强型低维纳米探测器,包括p型si衬底(1)、sio2氧化层(2)、源极(4)和漏极(5),其特征在于:
所述的探测器的结构为:在p型si衬底(1)上有sio2氧化层(2),在sio2氧化层上有cds纳米带(3),在cds纳米带上左右两端制作源极(4)和漏极(5),在源极和漏极中间cds纳米带上沉积钝化介质层(6);
所述的p型si衬底(1)是硼重掺杂,电阻率小于0.05ω·cm;
所述的sio2氧化层(2)的厚度是280纳米;
所述的cds纳米带(3)的厚度是50~80纳米,长宽分别是10~20微米、2微米;
所述的源极(4)和漏极(5)为cr和au电极,下层cr厚度为15纳米,上层au厚度为45纳米;
所述的钝化介质层(6)是hfo2,厚度是20纳米。