微型LED器件及微型LED阵列的制作方法

文档序号:18996646发布日期:2019-10-29 21:21阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型提供了一种微型LED器件及微型LED阵列,涉及半导体发光器件技术领域。具体地,通过离子注入破坏被注入区域的晶格结构和电学性能,形成两个高电阻区,该区域具有较高的电阻,以限定LED的发光主要发生在未被离子注入的区域。本实用新型保留了LED外延层的平面结构,避免了在LED发光区域外围形成台阶结构,有利于器件的微缩,有利于在器件间形成复杂的互联和阵列结构。

技术研发人员:黎子兰;李成果;张树昕
受保护的技术使用者:广东省半导体产业技术研究院
技术研发日:2019.04.18
技术公布日:2019.10.29

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