技术总结
本实用新型涉及一种刻蚀设备，包括石英管，所述石英管内产生等离子体；固定组件，所述固定组件的两端分别为连接端和固定端，所述连接端套设于所述石英管的一端并与所述石英管连接；限位组件，所述限位组件分别设置于靠近所述石英管的两端，一端的限位组件与所述连接端贴合，以使所述固定组件与所述石英管的一端连接时不触碰所述石英管的端部。本实用新型避免了所述石英管在调转时与所述固定组件发生磕碰而产生颗粒的风险，并且便于操作人员确认调转的方向和位置，提高了刻蚀速率的稳定性和安装的便利性。
技术研发人员：金鑫;徐科;阚保国;刘家桦;叶日铨
受保护的技术使用者：德淮半导体有限公司
技术研发日：2019.05.08
技术公布日：2020.02.04