一种III-V化合物半导体圆片转移工具的制作方法

本实用新型涉及半导体圆片转移技术领域，具体为一种iii-v化合物半导体圆片转移工具。

背景技术：

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。

半导体圆片由普通硅砂提炼，经过溶解、提纯、蒸馏一系列措施制得多晶硅，多晶硅再经熔融、单晶晶核提拉制成具有一定晶体学取向的单晶硅棒，单晶硅棒经过抛光、切片之后，就成为了晶元。

iii-v化合物半导体圆片，尤其是inp材料的，很脆，易碎。在工艺过程中，常常需要从一个容器转移到另外一个中，例如：inp圆片在完成表面清洗后，要放回培养皿中，常常是使用滤纸缓缓插入到圆片背面，然后慢慢移入，再倾斜缓缓倒入到器皿中，操作中可能因滤纸没处理好或本身质量不好导致圆片滑落甚至碎裂；滤纸用过后要丢掉，是易耗品，灵活性差，安全性低。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种iii-v化合物半导体圆片转移工具，以解决上述背景技术中提出的iii-v化合物半导体圆片，尤其是inp材料的，很脆，易碎。在工艺过程中，常常需要从一个容器转移到另外一个中，例如：inp圆片在完成表面清洗后，要放回培养皿中，常常是使用滤纸缓缓插入到圆片背面，然后慢慢移入，再倾斜缓缓倒入到器皿中，操作中可能因滤纸没处理好或本身质量不好导致圆片滑落甚至碎裂；滤纸用过后要丢掉，是易耗品，灵活性差，安全性低的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种iii-v化合物半导体圆片转移工具，包括右护栏、左护栏、后护栏、连接柱、主底条板、副底条板、挡板和楔面板，所述右护栏的后侧壁一体成型连接所述后护栏，所述左护栏的前侧壁一体成型连接所述左护栏，所述后护栏的前侧壁粘接所述连接柱，所述左护栏的内腔右侧壁粘接有主底条板，所述右护栏的内腔左侧壁粘接有副底条板，所述右护栏和所述左护栏的前侧壁插接所述挡板，所述右护栏和所述左护栏的内侧插接有楔面板，所述右护栏和所述左护栏的左右侧壁开设有凹槽，所述连接柱的顶部粘接有连接栓，所述连接柱的圆周内壁插接有连接杆，所述主底条板的顶部粘接有插柱和顶珠，所述挡板的右侧壁粘接有限位板，所述楔面板底部一体成型连接有插槽和顶珠槽，所述楔面板的顶部粘接有弧板。

优选的，所述副底条板的结构和所述主底条板的结构相同。

优选的，所述弧板的材质为防腐橡胶板。

优选的，所述右护栏、所述左护栏、所述后护栏和所述楔面板的材质为聚四氟乙烯材料。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该种iii-v化合物半导体圆片转移工具，通过配件的组合运用，使用带护栏的设计，避免了传统方式容易造成圆片滑落的风险，不使用易耗品，节约成本，使用楔形设计，能很轻松使得工具插入圆片底部，提高转移效率，灵活连接方式，便于对不同弧的楔面板进行更换，弧板也可在对圆片插接过程中，防止圆片撞击。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型分解示意图；

图3为本实用新型俯视示意图；

图4为本实用新型俯视分解示意图。

图中：100右护栏、110凹槽、120左护栏、130后护栏、200连接柱、210连接栓、220连接杆、300主底条板、310插柱、320顶珠、330副底条板、400挡板、410限位板、500楔面板、510插槽、520顶珠槽、530弧板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型提供一种iii-v化合物半导体圆片转移工具，通过配件的组合运用，节约资源，转移稳定，请参阅图1-4，包括右护栏100、左护栏120、后护栏130、连接柱200、主底条板300、副底条板330、挡板400和楔面板500；请再次参阅图1-4，右护栏100的右侧壁具有凹槽110，具体的，右护栏100和左护栏120的左右侧壁开设有凹槽110，右护栏100的后侧壁一体成型连接后护栏130，左护栏120的前侧壁一体成型连接左护栏120；

请再次参阅图1-4，连接柱200的前侧壁与右护栏100的后侧壁固定安装，具体的，后护栏130的前侧壁粘接连接柱200，连接柱200的顶部粘接有连接栓210，连接柱200的圆周内壁插接有连接杆220；

请再次参阅图1-4，主底条板300的左侧壁与右护栏100的右侧壁固定安装，具体的，左护栏120的内腔右侧壁粘接有主底条板300，右护栏100的内腔左侧壁粘接有副底条板330，主底条板300的顶部粘接有插柱310和顶珠320；

请再次参阅图1-3，挡板400与右护栏110和左护栏120固定安装，具体的，右护栏100和左护栏120的前侧壁插接挡板400，挡板400的右侧壁粘接有限位板410；

请再次参阅图3-4，楔面板500的底部与主底条板300和副底条板330的顶部固定安装，具体的，右护栏100和左护栏120的内侧插接有楔面板500，楔面板500底部一体成型连接有插槽510和顶珠槽520，楔面板500的顶部粘接有弧板530；

在具体的使用时，首先通过工具楔形设计的楔面板500，来伸入到圆片底部，再施加水平方向的力，圆片会有更大面积贴于这个楔形工具上的楔面板500，工具的三面分别是右护栏100、左护栏120和后护栏130，留有一开口处容圆片进入，待圆片整个进入到楔面板500，可在开口处插入挡板400，使得圆片不至滑落出去，便于短距离稳健转移，使用聚四氟乙烯材料，耐酸碱，可按照不同的楔面板500弧度要力，进行楔面板500的替换，插槽510和顶珠槽520可对插柱310和顶珠320有效内置卡扣，便于灵活更换，橡胶材质的弧板530，可对顶部进行防护，防止撞击过大造成的圆片破裂。

请再次参阅图4，为了保证副底条板330使用的有效性，具体的，副底条板330的结构和主底条板300的结构相同。

请再次参阅图3，为了增加插接过程中的缓冲能力，具体的，弧板530的材质为防腐橡胶板。

请再次参阅图3-4，为了增加耐酸腐能力，具体的，右护栏100、左护栏120、后护栏130和楔面板500的材质为聚四氟乙烯材料。

虽然在上文中已经参考实施例对本实用新型进行了描述，然而在不脱离本实用新型的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，本实用新型所披露的实施例中的各项特征均可通过任意方式相互结合起来使用，在本说明书中未对这些组合的情况进行穷举性的描述仅仅是出于省略篇幅和节约资源的考虑。因此，本实用新型并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。