脊型量子阱/量子点有源区的激光器结构的制作方法

文档序号:21227366发布日期:2020-06-23 22:28阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种脊型量子阱/量子点有源区的激光器结构,其特征在于:包括偏角衬底(1)以及在偏角衬底(1)上依次设置的缓冲层(2)、n型掺杂的限制层(3),n型掺杂的波导层(4),脊型波导层(5)、有源层(6)、p型掺杂的波导层(7)、p型掺杂的限制层(8)、顶层(9)和电极接触层(10),有源层(6)包括从下到上依次设置的脊型下垒层(61)、量子阱层(62)、量子点盖层(64)和脊型上垒层(65),在量子阱层(62)的表面上设置有多个量子点(63)。

2.根据权利要求1所述的脊型量子阱/量子点有源区的激光器结构,其特征在于:所述偏角衬底(1)所用材料为带有偏角的gaas衬底,gaas衬底中的{100}晶面偏向{011}晶面,{100}晶面与{011}晶面之间的夹角为0~6度。

3.根据权利要求1所述的脊型量子阱/量子点有源区的激光器结构,其特征在于:所述脊型下垒层(61)、所述量子阱层(62)、所述量子点(63)、所述量子点盖层(64)和所述脊型上垒层(65)形成单个脊型量子阱/量子点层,1~5个脊型量子阱/量子点层层叠形成所述有源层(6)。

4.根据权利要求1所述的脊型量子阱/量子点有源区的激光器结构,其特征在于:所述量子点(63)的为球形或半球,其直径为1~3nm。


技术总结
本实用新型脊型量子阱/量子点有源区的激光器结构,属于半导体材料技术领域;提供了一种光谱发散角小、电光转换效率效率高的脊型量子阱/量子点有源区的激光器结构及其制备方法;该结构包括偏角衬底以及在偏角衬底上依次设置的缓冲层、N型掺杂的限制层,N型掺杂的波导层,脊型波导层、有源层、P型掺杂的波导层、P型掺杂的限制层、顶层和电极接触层,有源层包括从下到上依次设置的脊型下垒层、量子阱层、量子点盖层和脊型上垒层,在量子阱层的表面上设置有多个量子点;本实用新型可广泛应用于激光器领域。

技术研发人员:董海亮;许并社;贾志刚;贾伟;张爱琴;梁建
受保护的技术使用者:太原理工大学
技术研发日:2019.10.29
技术公布日:2020.06.23
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