一种射频二氧化碳激光器用平板电极的制作方法

本实用新型涉及平板电极技术领域，具体是一种射频二氧化碳激光器用平板电极。

背景技术：

射频二氧化碳激光器在运行时，激光的激励与放大主要发生在激光谐振腔中，一般谐振腔中会设置两块互相平行的平板电极，并在谐振腔中充入激光工作气体，激光器工作运行时两块平板电机之间放电激励工作气体生成激光，随着运行时间延长，不断放电的平板电极和工作气体都会持续升温，温度升高会对激光器的运行非常不利，会降低激光输出功率。

现有的散热方式是采用水冷，通过在平板电极上打孔形成井字形通道，构成水冷通道，但这种方式加工困难，由于平板电极较薄，容易导致电极被钻穿而报废。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种射频二氧化碳激光器用平板电极，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种射频二氧化碳激光器用平板电极，包括平板电极，所述平板电极上且相对应放电面的面上设有第一冷却槽，且第一冷却槽与平板电极边沿处之间设有封闭环形的第一凹槽，所述平板电极嵌设于底座顶面的定位槽内，且定位槽的底面上分别设有与第一冷却槽和第一凹槽匹配的第二冷却槽和第二凹槽，所述第一冷却槽和第二冷却槽构成冷却腔道，所述第二冷却槽的两端与底座两端处的冷却液连接管连通，所述第一凹槽和第二凹槽构成的密封槽内部设有密封圈。

作为本实用新型进一步的方案：

所述第一冷却槽和第二冷却槽的横截面均为半圆形且半径相同，所述第一冷却槽和第二冷却槽均为s形结构。

作为本实用新型再进一步的方案：

所述平板电极与定位槽配合，所述平板电极的端面上设有凹陷，所述凹陷与定位槽内壁上对应的凸起配合，所述定位槽的深度小于平板电极的厚度。

作为本实用新型进一步的方案：

所述底座的两侧均设有连接块，所述底座通过连接块与谐振腔体连接固定。

作为本实用新型再进一步的方案：

所述底座为不导电材质，所述冷却液连接管通过螺纹结构与底座连接，且冷却液连接管的内径与第一冷却槽的直径相同。

作为本实用新型进一步的方案：

所述冷却液连接管与外部管道连接部部分的外壁上设有多个凸环。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，通过在平板电极的不用于放电的一面设置第一冷却槽和第一凹槽，安装时将平板电极嵌入底座的定位槽内，使得第一冷却槽和第二冷却槽构成完整的冷却流道，且将冷却流道设为s形结构，增加冷却液与平板电极之间的接触面积，并且第二冷却槽的端部与位于底座两端处的冷却液连接管连通，实现冷却液的循环流动，同时第一凹槽和第二凹槽配合构成密封槽，并通过密封槽内部的密封圈实现防渗漏功能。

2、本实用新型中，当平板电极嵌入底座的定位槽内时，为使平板电极和底座连接稳定，使得平板电极的端面上设有凹陷，凹陷与定位槽内壁上对应的凸起配合，实现锁紧作用，而定位槽的深度小于平板电极的厚度，使得安装好的平板电极的顶面露出，不仅方便与其它部件配合，也便于平板电极的取出。

附图说明

图1为射频二氧化碳激光器用平板电极中电极的侧视图；

图2为射频二氧化碳激光器用平板电极中电极的正视图；

图3为射频二氧化碳激光器用平板电极中底座的结构示意图；

图4为图3中a-a处的剖视图。

图中：1、平板电极；2、第一冷却槽；3、第一凹槽；4、底座；5、定位槽；6、第二冷却槽；7、第二凹槽；8、冷却液连接管；9、密封圈；10、凹陷；11、凸起；12、连接块；13、凸环。

具体实施方式

下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。

请参阅图1-4，一种射频二氧化碳激光器用平板电极，包括平板电极1，平板电极1上且相对应放电面的面上设有第一冷却槽2，且第一冷却槽2与平板电极1边沿处之间设有封闭环形的第一凹槽3，平板电极1嵌设于底座4顶面的定位槽5内，且定位槽5的底面上分别设有与第一冷却槽2和第一凹槽3匹配的第二冷却槽6和第二凹槽7，第一冷却槽2和第二冷却槽6构成冷却腔道，第二冷却槽6的两端与底座4两端处的冷却液连接管8连通，第一凹槽3和第二凹槽7构成的密封槽内部设有密封圈9。

在平板电极1的不用于放电的一面设置第一冷却槽2和第一凹槽3，安装时将平板电极1嵌入底座4的定位槽5内，使得第一冷却槽2和第二冷却槽6构成完整的冷却流道，且将冷却流道设为s形结构，增加冷却液与平板电极1之间的接触面积，并且第二冷却槽6的端部与位于底座4两端处的冷却液连接管8连通，实现冷却液的循环流动，同时第一凹槽3和第二凹槽7配合构成密封槽，并通过密封槽内部的密封圈9实现防渗漏功能。

其中，第一冷却槽2和第二冷却槽6的横截面均为半圆形且半径相同，第一冷却槽2和第二冷却槽6均为s形结构，第一冷却槽2和第二冷却槽6构成完整的冷却流道，且将冷却流道设为s形结构，增加冷却液与平板电极1之间的接触面积，提高冷却效率。

其中，平板电极1与定位槽5配合，平板电极1的端面上设有凹陷10，凹陷10与定位槽5内壁上对应的凸起11配合，定位槽5的深度小于平板电极1的厚度，当平板电极1嵌入底座4的定位槽5内时，为使平板电极1和底座4连接稳定，使得平板电极1的端面上设有凹陷10，凹陷10与定位槽5内壁上对应的凸起11配合，实现锁紧作用，而定位槽5的深度小于平板电极1的厚度，使得安装好的平板电极1的顶面露出，不仅方便与其它部件配合，也便于平板电极1的取出。

其中，底座4的两侧均设有连接块12，底座4通过连接块12与谐振腔体连接固定，由于平板电极1位置需要固定，而平板电极1又嵌设在底座4上，为避免直接在底座4上打孔导致第二冷却槽6或第二凹槽7出现损坏，因此在底座4的两侧设置连接块12，通过螺钉将底座4固定在谐振腔体的内壁上，达到平板电极1的位置固定。

其中，底座4为不导电材质，冷却液连接管8通过螺纹结构与底座4连接，且冷却液连接管8的内径与第一冷却槽2的直径相同，底座4为不导电材质，一方面可以起到绝缘保护的作用，另一方面也不会影响平板电极1的放电作用，冷却液连接管8的内径与第一冷却槽2的直径相同，保证冷却也能够具有适当的流速，保证冷却液的工作效率最优。

其中，冷却液连接管8与外部管道连接部部分的外壁上设有多个凸环13，使得冷却液连接管8与外部的管道连接，不仅保证连接牢固，还能形成密封效果。

工作原理是：在平板电极1的不用于放电的一面设置第一冷却槽2和第一凹槽3，安装时将平板电极1嵌入底座4的定位槽5内，使得第一冷却槽2和第二冷却槽6构成完整的冷却流道，且将冷却流道设为s形结构，增加冷却液与平板电极1之间的接触面积，并且第二冷却槽6的端部与位于底座4两端处的冷却液连接管8连通，实现冷却液的循环流动，同时第一凹槽3和第二凹槽7配合构成密封槽，并通过密封槽内部的密封圈9实现防渗漏功能。

当平板电极1嵌入底座4的定位槽5内时，为使平板电极1和底座4连接稳定，使得平板电极1的端面上设有凹陷10，凹陷10与定位槽5内壁上对应的凸起11配合，实现锁紧作用，而定位槽5的深度小于平板电极1的厚度，使得安装好的平板电极1的顶面露出，不仅方便与其它部件配合，也便于平板电极1的取出。

上面对本专利的较佳实施方式作了详细说明，但是本专利并不限于上述实施方式，在本领域的普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本专利宗旨的前提下做出各种变化。