一种减薄机用自动化检测圆片颗粒的设备的制作方法

本实用新型涉及减薄机技术领域，具体涉及一种减薄机用自动化检测圆片颗粒的设备。

背景技术：

通常的晶圆加工过程中都需要进行圆片的背面减薄，常见的圆片减薄流程是待减薄圆片先在需要保护的一面进行贴膜，然后进行圆片减薄，最后进行揭膜。现有减薄机通常除了减薄基座单元外有1-2个上下料的位置单元，主要用于晶圆片架的放置。除此之外还有2个位置一个是用于圆片定位的单元，另外一个是减薄后清洗甩干的单元。减薄过程中常见的问题是由于颗粒问题导致的异常停机。现有设备和工艺流程上没有专门的步骤避免此类问题，虽然出现频率较低，但是一旦发生轻则圆片碎片，重则影响设备和后续圆片。一般到减薄步骤的圆片已经基本上完成了正面工艺的加工，此时圆片的价值较高。所以不希望由于颗粒问题导致的圆片碎片。

在涉及减薄机用自动化检测圆片颗粒的设备进行使用时，然而现有的减薄机用自动化检测圆片颗粒的设备在进行使用过程中，存在结构复杂、操作繁琐的现象，而且在进行使用过程中检测效果差，进而降低了减薄机用自动化检测圆片颗粒的设备的使用效率，进而降低了减薄机用自动化检测圆片颗粒的设备的实用性，因此亟需研发一种减薄机用自动化检测圆片颗粒的设备来解决上述问题。

技术实现要素：

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种减薄机用自动化检测圆片颗粒的设备，通过一系列结构的设计和使用，本实用新型在进行使用过程中，达到了结构简单、操作便捷的优点，而且在进行使用过程中提高了检测效果，进而提高了减薄机用自动化检测圆片颗粒的设备的使用效率，进而提高了减薄机用自动化检测圆片颗粒的设备的实用性；而且本实用新型结构新颖，设计科学合理，使用方便，具有较强的实用性。

本实用新型通过以下技术方案予以实现：

一种减薄机用自动化检测圆片颗粒的设备，包括底座，所述底座的顶部左右两侧对称设有侧板，所述侧板的上端设有顶板，所述顶板的底部中部设有上安装板，所述上安装板的底部四周均匀设有摄像头，所述底座的顶部中部设有下安装板，所述下安装板的顶部四周对称设有四组卡块，四组所述卡块内抵接有放置板，且所述放置板的顶部四周均匀开设有圆形凹槽，所述圆形凹槽与待检测圆片规格相同，所述圆形凹槽位于所述摄像头的正下方且呈一一对应关系，左右两组所述侧板的内侧壁上均匀设有补光灯板，所述底座的前侧壁中部嵌设有led显示屏，所述底座的右侧壁下部设有控制器。

优选的，所述上安装板、所述下安装板和所述放置板均呈圆型结构设置。

优选的，所述摄像头和所述圆形凹槽设置的数量至少为八组，且所述摄像头为ccd摄像头。

优选的，所述卡块呈l型结构设置，且所述卡块为硬质橡胶材质制成。

优选的，所述补光灯板为高亮度led灯板，且左右两组所述侧板的内侧壁上设置的补光灯板数量至少为五组。

优选的，所述控制器分别与所述摄像头、所述补光灯板和所述led显示屏电性相连。

本实用新型的有益效果为：

通过在底座、侧板、顶板、上安装板、摄像头、下安装板、卡块、放置板、圆形凹槽、补光灯板、led显示屏、控制器等部件的相互配合使用下，本实用新型在进行使用过程中，达到了结构简单、操作便捷的优点，而且在进行使用过程中提高了检测效果，进而提高了减薄机用自动化检测圆片颗粒的设备的使用效率，进而提高了减薄机用自动化检测圆片颗粒的设备的实用性；

而且本实用新型结构新颖，设计科学合理，使用方便，具有较强的实用性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型的正视图；

图2是本实用新型的仰视图；

图3是本实用新型中的电路连接图。

图中：1-底座、2-侧板、3-顶板、4-上安装板、5-摄像头、6-下安装板、7-卡块、8-放置板、9-圆形凹槽、10-补光灯板、11-led显示屏、12-控制器。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

一种减薄机用自动化检测圆片颗粒的设备，包括底座1，底座1的顶部左右两侧对称设有侧板2，侧板2的上端设有顶板3，顶板3的底部中部设有上安装板4，上安装板4的底部四周均匀设有摄像头5，底座1的顶部中部设有下安装板6，下安装板6的顶部四周对称设有四组卡块7，四组卡块7内抵接有放置板8，且放置板8的顶部四周均匀开设有圆形凹槽9，圆形凹槽9与待检测圆片规格相同，圆形凹槽9位于摄像头5的正下方且呈一一对应关系，左右两组侧板2的内侧壁上均匀设有补光灯板10，底座1的前侧壁中部嵌设有led显示屏11，底座1的右侧壁下部设有控制器12。

具体的，上安装板4、下安装板6和放置板8均呈圆型结构设置。

具体的，摄像头5和圆形凹槽9设置的数量至少为八组，且摄像头5为ccd摄像头。

具体的，卡块7呈l型结构设置，且卡块7为硬质橡胶材质制成。

具体的，补光灯板10为高亮度led灯板，且左右两组侧板2的内侧壁上设置的补光灯板10数量至少为五组。

具体的，控制器12分别与摄像头5、补光灯板10和led显示屏11电性相连。

本实用新型进行使用时，首先将待检测圆片放置于圆形凹槽9内，随后控制摄像头5工作，摄像头5对待检测圆片中是否存在颗粒进行检测，控制器12将会接收摄像头5的检测信号，并将检测信号转化处理为相对应的数据值在led显示屏11上进行显示，同时该数据值将会与控制器12内部预设的上限值进行比较，当数据值超过预设的上限值时，控制器12将会转化为相应的不合格信号在led显示屏11上进行显示，以此提醒工作人员进行取出不合格的圆片产品，避免造成后期加工时的经济损失；而且通过设置的补光灯板10，可以进一步达到对检测环境的照亮效果，使摄像头5能够更清晰的进行检测，进一步提高了其检测精度，进而提高了检测效果；

而且通过摄像头5和圆形凹槽9设置的数量至少为八组，可以对达到对待检测圆片进行批量检测的目的；且摄像头5为ccd摄像头，进一步提高了其检测效果；通过卡块7为硬质橡胶材质制成，可以方便对放置板8进行固定安装和取出；通过补光灯板10为高亮度led灯板，且左右两组侧板2的内侧壁上设置的补光灯板10数量至少为五组，进一步增强了检测环境的亮度，进而提高了实用性；

进而在上述结构的设计和使用下，本实用新型在进行使用过程中，达到了结构简单、操作便捷的优点，而且在进行使用过程中提高了检测效果，进而提高了减薄机用自动化检测圆片颗粒的设备的使用效率，进而提高了减薄机用自动化检测圆片颗粒的设备的实用性；

上述摄像头5、补光灯板10和led显示屏11等电器元件的控制方式是通过与其配套的控制器12进行控制的，上述控制器12为单片机控制器12，且控制电路通过本领域的技术人员简单编程即可实现，属于本领域的公知常识，仅对其进行使用，未对其进行改进，并且本实用新型主要用来保护机械装置，所以本实用新型不再详细对控制方式和电路连接进行赘述。

以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。