长形体的制造方法与流程

本发明涉及到用电线、管等构成的长形体(elongatedbody)及其制造方法。
背景技术：
：为了将工作机械等的可动部和固定部电连接，使用将多根的电线、管等并联为平坦状的扁平电缆、将多根的电线、管等捻合而成的圆形电缆。为了保护免受由来自外部的应力引起的摩擦或腐蚀等，该扁平电缆、圆形电缆在电缆的外周设有覆盖层。一般而言，大多对这样的电缆中要求柔软性，作为覆盖层的材料，使用聚氯乙烯(pvc)、聚氨酯、烯烃系树脂。但是，在这些树脂中配合有阻燃剂、增塑剂、抗氧化剂等添加剂，用于半导体、有机el的制造装置中的洁净室等的情况下，由添加剂的渗出等引起的污染成为问题。从不含增塑剂等的清洁性、滑动性、耐热性、不燃性、耐药品性或低介电常数等电特性的优异的特性考虑，聚四氟乙烯(ptfe)等氟树脂被用作覆盖层的材料。在专利文献1(日本特开2006－19125号公报)中，公开了一种在覆盖层使用了ptfe片材或多孔质ptfe片材的平坦状电缆，其为耐热性、耐药品性等耐环境特性优异、并且具有优异的弯曲自如性、挠性或柔软性、并且具有良好的滑动性的平坦状电缆。技术实现要素：发明所要解决的问题本发明是鉴于上述的情况而完成的，其目的在于，提供一种具有良好的滑动性、弯曲性、柔软性并且对周围的污染少的长形体的制造方法。用于解决问题的方案通过由本发明的制造方法而制造出的长形体来解决上述的问题。即，一种通过被覆盖层覆盖的长形体的制造方法而制造出的长形体，其中，被覆盖层覆盖的长形体的制造方法的特征在于，该长形体至少由多根的、电线和/或管构成，该覆盖层至少包括中间层和最外层，在该中间层中使用密度ρ1为0.2g/cm3以上且1.8g/cm3以下、并且作为表面的峰谷(peak－to－valley)值的pv1为5μm以上的树脂膜，在该最外层中使用密度ρ2为1.2g/cm3以上且2.5g/cm3以下的树脂膜，所述制造方法至少包括利用该覆盖层覆盖该长形体的工序、以及、将该多根的、电线和/或管的位置固定的工序，在作为该最外层的表面的峰谷值的pv2为5μm以下时，满足以下的式(1)和式(3)，在作为该最外层的表面的峰谷值的pv2大于5μm时，满足以下的式(2)和式(3)。pv1－pv2≥2μm(1)；pv2－pv1＞0μm(2)；ρ2－ρ1≥0.1g/cm3(3)。此外，优选的是，上述中间层具有多孔构造。通过具有多孔构造，在长形体弯曲时中间层的空孔变形，由此缓和负荷，赋予高柔软性。在本发明中所说的中间层是指在覆盖层之中具有最大的厚度的层。此外，优选的是，上述覆盖层还具备功能层。在最外层和中间层中的至少一方由氟树脂等构成的情况下，与相邻材料的粘接性小的情况较多，若设置粘接层则对于提高覆盖层的耐久性是有用的。在粘接层中可以使用熔点比构成最外层的树脂膜或构成中间层的树脂膜低的热溶融性树脂等。发明效果根据本发明，能提供一种具有良好的滑动性、弯曲性、柔软性并且对周围的污染少的长形体及其制造方法。附图说明图1是通过本发明的制造方法而制作出的长形体的一个例子的示意图，是长形体的剖视图。图2是图1的长形体的覆盖层的a部分的放大剖视图。图3是长形体的覆盖层部分的放大剖视图。图4是通过本发明的制造方法而制作出的长形体的另一例子的示意图，是长形体的剖视图。图5是对本发明中的峰谷值进行说明的图。具体实施方式以下，参照附图对本发明的优选实施方式进行说明。以下说明的实施方式不限定权利要求的范围的发明，此外在实施方式中说明的特征的组合的全部并不一定是本发明的成立所必须的。图1是通过本发明的制造方法而制作出的长形体的一个例子，是扁平形状的长形体100的剖面的示意图。长形体100由准备多根的、电线、管、或这两者作为覆盖对象物并将其并置或互相平行地排列而构成。在图1所示出的长形体的一个例子中，覆盖对象物的芯数为5根，但并不限于此芯数。以夹着覆盖对象物的两侧(图1中上下方向)的方式配置有覆盖层110，并且，覆盖层110隔着覆盖对象物接合的部分，即腹片(web)部分111以覆盖层110彼此烧结或熔接的方式结合。通过覆盖层110的结合，长形体100的每个覆盖对象物的电线和/或管被保持、固定于规定位置。在图1所示出的通过本发明的制造方法而制作出的长形体的一个例子中，使用将作为覆盖对象物的电线、管、或这两者多根并列而成的长形体。覆盖对象物120在此为一根fep电线。130在此为一根pfa电线。140在此为将两根fep电线平行排列的2芯平行电缆。150在此为将四根pfa电线捻合而成的电缆。160在此为一根fep管。这些120到160的覆盖对象物并列地配置，在其上下配置有覆盖层110。在图1所示出的实施方式中，覆盖对象物为五根，但不限于此根数，此外，用作覆盖对象物的是单线的覆盖导体、2心并行电缆、将多根的电缆捻合而成的电缆、同轴电缆以及管等，可以配合所需要的功能来选择。作为图1所示出的通过本发明的制造方法而制作出的长形体的另一例子，作为覆盖对象物也存在一根电线和一根管的构成。图2是图1的长形体的覆盖层110的部分a的放大剖视图。覆盖层110至少由中间层112和最外层113构成。在中间层112中使用密度ρ1为0.2g/cm3以上且1.8g/cm3以下的树脂膜。构成中间层112的树脂膜的表面的pv1为5μm以上。构成中间层112的树脂优选使用聚四氟乙烯(ptfe)、四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚共聚物(pfa)、四氟乙烯-六氟丙烯共聚物(fep)、聚偏氟乙烯(pvdf)等氟树脂；聚乙烯(pe)等聚烯烃树脂；等。如上所述，在中间层112中，优选使用密度ρ1为0.2g/cm3以上且1.8g/cm3以下的树脂膜，更优选使用密度ρ1为0.3g/cm3以上且1.3g/cm3以下的树脂膜，特别优选使用密度ρ1为0.4g/cm3以上且1.0g/cm3以下的树脂膜。例如聚四氟乙烯(ptfe)、聚乙烯(pe)树脂能通过其加工条件控制密度。这些树脂能通过拉伸形成多孔构造，因此，为了使密度变小，在成型为片材状后一边加热一边拉伸，由此能形成由多个原纤维(fibril)和原纤维间的空孔构成的多孔构造。基本上通过使拉伸率变大而密度变小。在通过来自一个方向的拉伸即单轴拉伸法来拉伸的情况下，存在多个连续的节点，能形成物理强度高的树脂膜。在通过来自两个方向的拉伸即双轴拉伸法来拉伸的情况下，能形成更低密度的树脂膜，柔软性进一步变高。此外，通过调整对成形后的片材烧成的烧成温度、烧成时间，调整烧制的状态为完全烧制、半烧制或未烧制，也能控制密度。此外，也能使用如下树脂膜：在树脂膜的挤出成型时使其发泡形成为多孔构造的树脂膜；将树脂和溶剂在高温下混合后，进行降温并分离为两层而形成为多孔构造的树脂膜等。在最外层113中使用密度ρ2为1.2g/cm3以上且2.5g/cm3以下的树脂膜。用于最外层113的树脂优选为：ptfe、四氟乙烯-全氟烷基乙烯基醚共聚物(pfa)、四氟乙烯-六氟丙烯共聚物(fep)、四氟乙烯-乙烯共聚物(etfe)、聚氯三氟乙烯(pctfe)等这样的氟树脂；聚醚醚酮(peek)；聚酰亚胺(pi)等这样不含增塑剂的树脂。一般而言最外层使用厚度为5μm～100μm的树脂膜。在构成最外层113的树脂膜的表面的pv2为5μm以下时，使用如下树脂膜：构成中间层112的树脂膜的表面的pv1与构成最外层113的树脂膜的表面的pv2满足pv1－pv2≥2μm的关系，同时，构成最外层的树脂膜的密度ρ2与构成中间层112的树脂膜的密度ρ1满足ρ2－ρ1≥0.1g/cm3的关系。此外，在构成最外层113的树脂膜的表面的pv2大于5μm时，使用如下树脂膜：在最外层113，pv1与pv2满足pv2－pv1＞0μm的关系，同时，构成最外层的树脂膜的密度ρ2与构成中间层112的树脂膜的密度ρ1满足ρ2－ρ1≥0.1g/cm3的关系。在通过本发明的制造方法制作出的长形体的表面的pv2刚好是5μm时，适用于本发明的pv1与pv2的关系发生转换。在此，优选ρ2－ρ1≥0.3g/cm3以上时，更优选ρ2－ρ1≥1.0g/cm3以上时。通过本发明的制造方法而制作出的长形体通过前述的构成，能解决本发明的问题。能具有高柔软性，同时降低附着残留于覆盖层表面的异物的附着，在电缆的操作、组装、或向装置装配的工序、装置运转时等，附着的微量的油分、周围的粒子、药品的附着、周围的空气中的水分等异物不易附着，此外，容易去除。因此，在放置于洁净环境时，对周围的环境的污染少，能成为由脱气、长形体自身的磨耗引起的粉尘等的产生少、不污染周围的长形体。图3表示通过本发明的制造方法而制作出的长形体的覆盖层的另一例子。在覆盖层中，除了中间层和最外层以外，还可以设有功能层。覆盖层110a在中间层112a与最外层113a之间配置有粘接层114a，提高中间层112a与最外层113a的粘接力，提高滑动长形体时的覆盖层110a的耐久性。此外，在中间层112a的与最外层113a侧的相反侧的面还配置有一层粘接层114a，在使覆盖层110a彼此接合时，在低于构成中间层112a的树脂膜或构成最外层113a的树脂膜的熔点的温度下使其接合、一体化。由于能在对构成中间层112a的树脂膜和构成最外层113a的树脂膜的影响少的温度下使其接合，因此能保持覆盖层110a的高功能，会得到高耐久性。在粘接层中，可以使用热溶融性的氟树脂、聚乙烯等烯烃树脂等。此外，除粘接层以外，也可以配合溶剂阻隔性等长形体所需要的功能来设置功能层。图4是本发明的实施方式的一个例子的圆形的长形体的剖视图。长形体200的覆盖层210由最外层211、中间层212以及粘接层213构成。作为覆盖对象物，将电线、管或该两者的一根或多根捻合等而形成的电缆进一步捻合来使用。220在此为一根fep电线。230在此为将七根pfa电线捻合而成的电缆。240在此为将两根fep电线捻合而成的电缆。250在此为一根pfa电线。260和270在此为一根尼龙管，280在此为镀锡软铜线(漏极线)。将这些220到280捻合，在其外周卷绕地配置有覆盖层210。卷绕后，通过加热使带的重叠部分结合。通过覆盖层210的结合，长形体200的每个覆盖对象物的电线和/或管被保持、固定于规定位置。成为覆盖对象物的电线、管的构成和根数不限定于在此示出的例子，也可以是一根或将多根的电线捻合而成的电缆、将多根的电线平行地拉齐而成的电缆。此外，也可以利用管来构成捻合的电线的一部分。通过下述的实施例对本发明进行详细说明。以下说明的实施例并不限定本说明书的范围的发明。实施例＜峰谷值(pv)的测定＞测定使用zygo社制白色干涉显微镜newview6300。光源使用白色led，表面滤波处理中应用高斯滤波器(gaussianfilter)。高度方向的测定分辨率为0.1nm。将观察倍率设为50倍，高频侧的截止频率(filterhighwavelength)设定为0.00250mm，低频侧的截止频率(filterlowwavelength)设定为0.80000mm。测定表面的形状，计算出峰谷值(pv)。在测定数据的分析中使用分析软件metropro。图5是对本发明中的pv进行说明的图，是使用通过测定而得到的表面轮廓的数据的一个例子并表示出的图。如图5所示，pv是指在测定面中最高点和最低点的高度方向的距离。＜密度ρ的测定＞依据jisk630的水中置换法，将通过东洋精机制作所制densimeterh在室温下测定出的比重采用为密度。＜清洁性的评价＞关于长形体的异物的附着，对异物的难附着性和易去除性进行了评价。就难附着性、易去除性而言，将墨液涂布于表面确认附着状况，并确认用棉布擦擦拭除时残留的墨液成分的量。用5个等级评价墨液成分的附着状况和墨液残留量。将墨液成分未附着的情况设为5，将墨液成分略微附着，但是擦拭后能完全去除墨液成分的情况设为4，将墨液成分略微附着，即使擦拭后也能略微确认墨液的痕迹的情况设为3，墨液附着，即使擦拭后也能确认墨液的痕迹的情况设为2，将墨液附着，即使擦拭后也几乎无法去除墨液的情况设为1。[实施例1]作为最外层使用ptfe树脂膜，作为位于其内侧的中间层使用另一ptfe树脂膜。树脂膜剪切成所需的宽度来准备。测定出最外层和中间层各自的树脂膜的厚度、pv以及密度。将其结果记载于表1。接着，将两种树脂膜层叠并加热，制作出覆盖层。作为覆盖对象物的准备，将fep电线一根、fep电线一根、将四根pfa电线捻合而成的电缆一根、将两根pfa电线捻合而成的电缆一根；以及fep管一根横向排列。将覆盖层配置于排列好的覆盖对象物的上下，加热腹片部分而固定每个覆盖对象物的位置，制作出长形体。将清洁性的评价结果记载于表1。[实施例2]作为最外层使用ptfe树脂膜，作为位于其内侧的粘接层使用厚度0.02μm的fep树脂膜，作为进一步位于粘接层内侧的中间层使用另一ptfe树脂膜，作为进一步位于中间层内侧的粘接层使用厚度0.02μm的fep树脂膜。树脂膜剪切成所需的宽度来准备。测定出最外层和中间层各自的树脂膜的厚度、pv以及密度。将其结果记载于表1。接着，将四种树脂膜层叠并加热，制作出覆盖层。作为覆盖对象物的准备，将fep电线一根、fep电线一根、将四根pfa电线捻合而成的电缆一根、将两根pfa电线捻合而成的电缆一根以及fep管一根横向排列。将覆盖层配置于排列好的覆盖对象物的上下，加热腹片部分而固定每个覆盖对象物的位置，制作出长形体。将清洁性的评价结果记载于表1。[实施例3]作为最外层使用ptfe树脂膜，作为位于其内侧的粘接层使用厚度0.02μm的fep树脂膜，作为进一步位于粘接层内侧的中间层使用另一ptfe树脂膜，作为进一步位于中间层内侧的粘接层使用厚度0.02μm的fep树脂膜。树脂膜剪切成所需的宽度来准备。测定出最外层和中间层各自的树脂膜的厚度、pv以及密度。将其结果记载于表1。接着，将四种树脂膜层叠并加热，制作出覆盖层。作为覆盖对象物的准备，将fep电线一根、fep电线一根、将四根pfa电线的电缆捻合而成的电缆一根、将两根pfa电线捻合而成的电缆一根以及fep管一根横向排列。将覆盖层配置于排列好的覆盖对象物的上下，加热腹片部分而固定每个覆盖对象物的位置，制作了长形体。将清洁性的评价结果记载于表1。[实施例4]作为最外层使用fep树脂膜，作为位于其内侧的中间层使用ptfe树脂膜，作为进一步位于中间层内侧的粘接层使用厚度0.02μm的fep树脂膜。树脂膜剪切成所需的宽度来准备。测定出最外层和中间层各自的树脂膜的厚度、pv以及密度。将其结果记载于表1。接着，将三种树脂膜层叠并加热，制作出覆盖层。作为覆盖对象物，准备了将四根pfa电线捻合而成的电缆一根和将四根fep电线捻合而成的电缆。在其外周，以覆盖层重叠成双重的方式来卷绕配置，进行加热而固定每个覆盖对象物的位置，制作出长形体。将清洁性的评价结果记载于表1。[实施例5]作为最外层使用peek树脂膜，作为位于其内侧的中间层使用ptfe树脂膜，作为进一步位于中间层内侧的粘接层使用厚度0.02μm的fep树脂膜。树脂膜剪切成所需的宽度来准备。测定出最外层和中间层各自的树脂膜的厚度、pv以及密度。将其结果记载于表1。接着，将三种树脂膜层叠并加热，制作出覆盖层。作为覆盖对象物的准备，将fep电线一根、fep电线一根、将四根pfa电线捻合而成的电缆一根、将两根pfa电线捻合而成的电缆一根以及fep管一根横向排列。将覆盖层配置于排列好的覆盖对象物的上下，加热腹片部分而固定每个覆盖对象物的位置，制作了长形体。将清洁性的评价结果记载于表1。[实施例6]作为最外层使用ptfe树脂膜，作为位于其内侧的中间层使用pe树脂膜。树脂膜剪切成所需的宽度来准备。测定出最外层和中间层各自的树脂膜的厚度、pv以及密度。将其结果记载于表1。接着，将两种树脂膜层叠并加热，制作出覆盖层。作为覆盖对象物的准备，将fep电线一根、fep电线一根、将四根pfa电线捻合而成的电缆一根、将两根pfa电线捻合而成的电缆一根以及fep管一根横向排列。将覆盖层配置于排列好的覆盖对象物的上下，加热腹片部分而固定每个覆盖对象物的位置，制作出长形体。将清洁性的评价结果记载于表1。[实施例7]作为最外层使用ptfe树脂膜，作为位于其内侧的中间层使用另一ptfe树脂膜。树脂膜剪切成所需的宽度来准备。测定出最外层和中间层各自的树脂膜的厚度、pv以及密度。将其结果记载于表2。接着，将两种树脂膜层叠并加热，制作出覆盖层。作为覆盖对象物的准备，将fep电线一根、fep电线一根、将四根pfa电线捻合而成的电缆一根、将两根pfa电线捻合而成的电缆一根以及fep管一根横向排列。将覆盖层配置于排列好的覆盖对象物的上下，加热腹片部分而固定每个覆盖对象物的位置，制作出长形体。将清洁性的评价结果记载于表2。[实施例8]作为最外层使用fep树脂膜，作为位于其内侧的中间层使用ptfe树脂膜，作为进一步位于中间层内侧的粘接层使用厚度0.02μm的fep树脂膜。树脂膜剪切成所需的宽度来准备。测定出最外层和中间层各自的树脂膜的厚度、pv以及密度。将其结果记载于表2。接着，将三种树脂膜层叠并加热，制作出覆盖层。作为覆盖对象物的准备，将fep电线一根、fep电线一根、将四根pfa电线捻合而成的电缆一根、将两根pfa电线捻合而成的电缆一根以及fep管一根横向排列。将覆盖层配置于排列好的覆盖对象物的上下，加热腹片部分而固定每个覆盖对象物的位置，制作出长形体。将清洁性的评价结果记载于表2。[实施例9]作为最外层使用ptfe树脂膜使用，作为位于其内侧的中间层使用另一ptfe树脂膜，作为位于中间层内侧的粘接层使用厚度0.02μm的fep树脂膜。树脂膜剪切成所需的宽度来准备。测定出最外层和中间层各自的树脂膜的厚度、pv以及密度。将其结果记载于表2。接着，将三种树脂膜层叠并加热，制作出覆盖层。作为覆盖对象物准备了将四根pfa电线捻合而成的电缆一根和将四根fep电线捻合而成的电缆。在其外周，以覆盖层重叠成双重的方式来卷绕覆盖，进行加热而固定每个覆盖对象物的位置，制作出长形体。将清洁性的评价结果记载于表2。[实施例10]作为最外层使用ptfe树脂膜，作为位于其内侧的粘接层使用厚度0.02mm的fep树脂膜，作为进一步位于粘接层内侧的中间层使用另一ptfe树脂膜，作为进一步位于内侧的粘接层使用厚度0.02mm的fep树脂膜。树脂膜剪切成所需的宽度来准备。测定出最外层和中间层各自的树脂膜的厚度、pv以及密度。将其结果记载于表2。接着，将四种树脂膜层叠并加热，制作出覆盖层。作为覆盖对象物的准备，将fep电线一根、fep电线一根、将四根pfa电线捻合而成的电缆一根、将两根pfa电线捻合而成的电缆一根以及fep管一根横向排列。将覆盖层配置于排列好的覆盖对象物的上下，加热腹片部分而固定每个覆盖对象物的位置，制作出长形体。将清洁性的评价结果记载于表2。[实施例11]作为最外层使用peek树脂膜，作为位于其内侧的中间层使用ptfe树脂膜，作为进一步位于中间层内侧的粘接层使用厚度0.02mm的fep树脂膜。树脂膜剪切成所需的宽度来准备。测定出最外层和中间层各自的树脂膜的厚度、pv以及密度。将其结果记载于表2。接着，将三树脂膜层叠并加热，制作出覆盖层。作为覆盖对象物的准备，将fep电线一根、fep电线一根、将四根pfa电线捻合而成的电缆一根、将两根pfa电线捻合而成的电缆一根以及fep管一根横向排列。将覆盖层配置于排列好的覆盖对象物的上下，加热腹片部分而固定每个覆盖对象物的位置，制作出长形体。将清洁性的评价结果记载于表2。[实施例12]作为最外层使用ptfe树脂膜，作为位于其内侧的中间层使用pe树脂膜。树脂膜剪切成所需的宽度来准备。测定出最外层和中间层各自的树脂膜的厚度、pv以及密度。将其结果记载于表2。接着，将两种树脂膜层叠并加热，制作出覆盖层。作为覆盖对象物的准备，将fep电线一根、fep电线一根、将四根pfa电线捻合而成的电缆一根、将两根pfa电线捻合而成的电缆一根以及fep管一根横向排列。将覆盖层配置于排列好的覆盖对象物的上下，加热腹片部分而固定每个覆盖对象物的位置，制作出长形体。将清洁性的评价结果记载于表2。[表1]实施例1实施例2实施例3实施例4实施例5实施例6中间层的厚度[mm]0.840.120.800.400.800.80最外层的厚度[mm]0.100.010.100.030.010.01pv1[μm]9.407.475.958.108.109.80pv2[μm]1.400.763.900.121.631.40pv1pv2[μm]8.006.712.057.996.478.40ρ1[g/cm3]0.670.451.780.751.150.45ρ2[g/cm3]2.151.752.102.201.262.25ρ2ρ1[g/cm3]1.481.300.321.450.111.80清洁性555545[表2]实施例7实施例8实施例9实施10实施例11实施例12中间层的厚度[mm]0.840.120.400.800.400.80最外层的厚度[mm]0.100.010.020.010.010.01pv1[μm]8.157.478.107.475.958.13pv2[μm]9.108.1511.417.606.8110.42pv2pv1[μm]0.950.683.310.130.862.29ρ1[g/cm3]0.80.501.10.670.80.45ρ2[g/cm3]1.851.751.582.151.302.15ρ2-ρ1[g/cm3]1.11.30.51.50.51.7清洁性544444各实施例得到了如下良好的结果：弯曲性、柔软性良好，清洁性高，从长形体的覆盖层自身产生的污染物质也少，对周围的污染少。产业上的可利用性本发明的长形体具有良好的滑动性、弯曲性以及柔软性，并且对周围的污染少，因此，能使用于要求清洁性的半导体制造装置、测定设备等。附图标记说明：100：长形体(扁平状)；110：覆盖层；112：中间层；113：最外层；200：长形体(圆形)；210：覆盖层。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2006－19125号公报当前第1页12