1.一种制备全无机封装的倒装uv-led器件的方法,其特征在于,所述方法包括步骤如下:
制备uv-led外延片:使用mocvd生长uv-led外延片,采用电感耦合等离子体刻蚀机台刻蚀所述uv-led外延片,形成mesa切割道并暴露n-gan层;
uv-led外延片减薄及划裂:研磨减薄所述uv-led外延片后,将其置于蓝膜表面,并使用激光隐形切割所述mesa切割道,然后裂片、扩膜得到单颗uv-led外延片排列而成的uv-led外延片阵列;
制备表面具有凹槽阵列的石英玻璃,所述凹槽的尺寸与减薄及划裂后的所述uv-led外延片尺寸一致;
装配与熔接:第一次加热所述石英玻璃,并将所述uv-led外延片置于所述石英玻璃表面的凹槽内,冷却至室温后,第二次加热,并对所述石英玻璃和所述uv-led外延片施加压力,缓慢退火后得到内嵌有uv-led外延片阵列的石英玻璃;
制备倒装uv-led芯片阵列:在所述内嵌在石英玻璃凹槽内的uv-led外延片阵列上制作ito层、第一反射层和p、n电极,得到内嵌有倒装uv-led芯片阵列的石英玻璃;
制作基板:使用陶瓷材料制作基板,在所述基板上制作与所述倒装uv-led芯片阵列电性连接的焊盘阵列;
固晶:在所述内嵌有倒装uv-led芯片阵列的石英玻璃表面围绕所述倒装uv-led芯片电极依次制作第二反射层和第一共晶层,在所述基板焊盘周围与所述第一共晶层对应处制作第二共晶层,将所述倒装uv-led芯片电极与基板焊盘对齐、第一共晶层与所述第二共晶层对齐进行热压共晶,冷却后得到全无机封装的倒装uv-led器件阵列;
切割:切割所述全无机封装的倒装uv-led器件阵列,得到单颗全无机封装的倒装uv-led器件。
2.根据权利要求1所述的一种制备全无机封装的倒装uv-led器件的方法,其特征在于,所述制备表面具有凹槽阵列的石英玻璃,具体工艺如下:沉积厚度为2mm~3mm的石英玻璃片,采用icp刻蚀所述石英玻璃片,形成与所述uv-led外延片尺寸一致的凹槽,研磨、抛光所述凹槽。
3.根据权利要求2所述的一种制备全无机封装的倒装uv-led器件的方法,其特征在于,所述研磨是使用平面精密抛光机、沥青抛光模和氧化铈抛光粉进行,研磨时间不低于2min。
4.根据权利要求2所述的一种制备全无机封装的倒装uv-led器件的方法,其特征在于,所述抛光包括粗抛和精抛。
5.根据权利要求1所述的一种制备全无机封装的倒装uv-led器件的方法,其特征在于,所述制备表面具有凹槽阵列的石英玻璃,具体工艺如下:采用阵列凸起的模具,所述凸起的尺寸与所述uv-led外延片尺寸一致,浇注熔融的石英,冷却得到一体成型的表面具有凹槽阵列的石英玻璃。
6.根据权利要求1所述的一种制备全无机封装的倒装uv-led器件的方法,其特征在于,所述的第一次加热温度为280~320℃,所述第二次加热温度不低于1300℃。
7.根据权利要求1所述的一种制备全无机封装的倒装uv-led器件的方法,其特征在于,制备倒装uv-led芯片阵列具体步骤如下:
在所述内嵌有uv-led外延片阵列的石英玻璃表面蒸镀或溅射ito层,在所述ito层表面旋涂光刻胶,并将图形化掩膜板覆盖于所述光刻胶上,曝光、显影、刻蚀,露出n-gan区;
蒸镀第一反射层;
蒸镀sio2保护层,刻蚀所述sio2保护层,蒸镀p、n电极。
8.根据权利要求7所述的一种制备全无机封装的倒装uv-led器件的方法,其特征在于,所述ito层厚度为1μm~3μm,所述第一反射层厚度为0.3μm~0.5μm,所述p、n电极厚度为3μm~5μm。
9.根据权利要求1所述的一种制备全无机封装的倒装uv-led器件的方法,其特征在于,所述的施加压力为300g~500g,加热温度为300℃~320℃,热压时间100ms~500ms。
10.一种全无机封装的倒装uv-led器件,其特征在于,根据权利要求1-9所述方法制备,包括石英玻璃、基板和内嵌于所述石英玻璃内的倒装uv-led芯片,所述倒装uv-led芯片与所述基板电性连接,所述石英玻璃与所述基板之间通过共晶层固定连接。