磁控管阴极、制作方法及磁控管阴极组件与流程

文档序号:21095286发布日期:2020-06-16 20:15阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种磁控管阴极,其特征在于,包括螺旋灯丝,所述螺旋灯丝两端部的若干圈灯丝表面涂覆有焊料涂层。

2.根据权利要求1所述的磁控管阴极,其特征在于,所述焊料涂层的厚度为0.04mm~0.08mm。

3.根据权利要求1所述的磁控管阴极,其特征在于,所述螺旋灯丝的两端部各有两圈灯丝的外表面涂覆有所述焊料涂层。

4.根据权利要求1所述的磁控管阴极,其特征在于,所述焊料涂层的材料为硅、硼、钌、锆中的任一种与钼按比例混合的混合物。

5.一种磁控管阴极的制作方法,其特征在于,包括:

将螺旋灯丝的两端分别浸入焊料浆料中,使所述螺旋灯丝的两端涂布有所述焊料浆料;

待所述螺旋灯丝的两端的所述焊料浆料干燥后,将所述螺旋灯丝置入惰性气体保护气氛中脱脂;

将所述螺旋灯丝置于还原气氛炉中烧结,形成磁控管阴极。

6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述焊料浆料包括焊料与有机载体,所述有机载体由有机溶剂与粘接剂组成,所述焊料为硅、硼、钌、锆中的任一种与钼按比例混合的混合物。

7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述有机溶剂包括丙酮、无水乙醇、乙酸丁酯和草酸二乙酯。

8.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述粘接剂包括乙基纤维素。

9.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述有机载体中含有50wt%~68wt%的丙酮或无水乙醇、18wt%~24wt%的乙酸丁酯、10wt%~15wt%的草酸二乙酯和1.2wt%~2.4wt%的乙基纤维素。

10.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述焊料浆料的制备方法包括:

将硅、硼、钌、锆中的任一种与钼按比例混合得到第一混合物;

将所述第一混合物经球磨机械合金化后形成合金焊料;

向所述合金焊料加入有机载体,得到第二混合物;

对所述第二混合物进行磁力搅拌,形成焊料浆料。

11.一种磁控管阴极组件,包括支架,所述支架包括两个端帽,其特征在于,还包括如权利要求1-4任一项所述的磁控管阴极,所述螺旋灯丝的两端分别置于所述支架的两个端帽内,所述端帽内侧表面接触所述焊料涂层。


技术总结
本申请公开了一种磁控管阴极、制作方法及磁控管阴极组件,磁控管阴极包括螺旋灯丝,所述螺旋灯丝两端部的若干圈灯丝表面涂覆有焊料涂层。本申请提供的磁控管阴极,其螺旋灯丝两端部的若干圈灯丝表面涂覆有焊料涂层,当螺旋灯丝的两端分别置于磁控管阴极组件的两端帽内时,能够使端帽内侧表面接触焊料涂层,从而实现在焊接时在焊料涂层熔化前后,螺旋灯丝在支架端帽沉孔内的相对位置保持不变,确保磁控管的工作效率不受影响。

技术研发人员:葛春桥
受保护的技术使用者:广东威特真空电子制造有限公司;美的集团股份有限公司
技术研发日:2020.02.26
技术公布日:2020.06.16
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