1.一种磁控管阴极,其特征在于,包括螺旋灯丝,所述螺旋灯丝两端部的若干圈灯丝表面涂覆有焊料涂层。
2.根据权利要求1所述的磁控管阴极,其特征在于,所述焊料涂层的厚度为0.04mm~0.08mm。
3.根据权利要求1所述的磁控管阴极,其特征在于,所述螺旋灯丝的两端部各有两圈灯丝的外表面涂覆有所述焊料涂层。
4.根据权利要求1所述的磁控管阴极,其特征在于,所述焊料涂层的材料为硅、硼、钌、锆中的任一种与钼按比例混合的混合物。
5.一种磁控管阴极的制作方法,其特征在于,包括:
将螺旋灯丝的两端分别浸入焊料浆料中,使所述螺旋灯丝的两端涂布有所述焊料浆料;
待所述螺旋灯丝的两端的所述焊料浆料干燥后,将所述螺旋灯丝置入惰性气体保护气氛中脱脂;
将所述螺旋灯丝置于还原气氛炉中烧结,形成磁控管阴极。
6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,所述焊料浆料包括焊料与有机载体,所述有机载体由有机溶剂与粘接剂组成,所述焊料为硅、硼、钌、锆中的任一种与钼按比例混合的混合物。
7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述有机溶剂包括丙酮、无水乙醇、乙酸丁酯和草酸二乙酯。
8.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述粘接剂包括乙基纤维素。
9.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述有机载体中含有50wt%~68wt%的丙酮或无水乙醇、18wt%~24wt%的乙酸丁酯、10wt%~15wt%的草酸二乙酯和1.2wt%~2.4wt%的乙基纤维素。
10.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述焊料浆料的制备方法包括:
将硅、硼、钌、锆中的任一种与钼按比例混合得到第一混合物;
将所述第一混合物经球磨机械合金化后形成合金焊料;
向所述合金焊料加入有机载体,得到第二混合物;
对所述第二混合物进行磁力搅拌,形成焊料浆料。
11.一种磁控管阴极组件,包括支架,所述支架包括两个端帽,其特征在于,还包括如权利要求1-4任一项所述的磁控管阴极,所述螺旋灯丝的两端分别置于所述支架的两个端帽内,所述端帽内侧表面接触所述焊料涂层。