用于平面样品上形成定位标记的辅助装置及其使用方法与流程

本发明涉及芯片检测领域，特指一种用于平面样品上形成定位标记的辅助装置及其使用方法。

背景技术：

集成电路芯片持续往轻、薄、小、极高密度发展时，对于芯片缺陷的容忍度也相对降低，集成电路器件密集度提高，芯片的面积也对应缩小，在制造时可能会产生缺陷，而缺陷往往是造成芯片失效的主要原因。

由于扫描式电子显微镜(sem)分辨率较低，目前更多使用投射电子显微镜(tem)观察芯片中的缺陷结构，而tem样品需要经过双束离子束(db-fib)制备后才能进行分析。

实际tem样品制作过程中，芯片需要先在扫描电镜下定位缺陷的位置，但由于芯片上纳米级缺陷在扫描电镜下完全无法识别，难以精确地找出缺陷所在的位置，另外芯片存在多个重复的单元结构，即使是通过芯片的相对单元结构寻找缺陷的对应位置也十分困难，容易造成误认或盲切，对后续检测产生影响。

技术实现要素：

本发明的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种用于平面样品上形成定位标记的辅助装置及其使用方法，解决了缺陷定位困难的问题，能够提升缺陷的定位精度，大大减少误认或盲切的状况发生，保证后续的检测精度，且本装置结构简单，便于实现。

实现上述目的的技术方案是：

本发明提供了一种用于平面样品上形成定位标记的辅助装置，包括：

相对设置且供夹住平面样品的第一固定板和第二固定板，且该第一固定板和第二固定板可拆卸地连接，该第一固定板的一侧间隔开设有若干条形孔；

对第一固定板进行喷金，以透过条形孔于平面样品的表面形成定位标记线。

本发明采用用于平面样品上形成定位标记的辅助装置，通过将平面样品夹设于第一固定板和第二固定板之间，进而利用喷金机对第一固定板的表面喷金，金粉通过条形孔沉积于平面样品表面，从而于平面样品的表面形成与条形孔相对应的定位标记线，根据定位标记线可精确地找到缺陷所在的位置，大大提高了定位精度，解决了缺陷定位困难的问题，能够提升缺陷的定位精度，大大减少误认或盲切的状况发生，保证后续的检测精度，且本装置结构简单，便于实现。

本发明用于平面样品上形成定位标记的辅助装置的进一步改进在于，该第一固定板远离条形孔的一侧开设有第一通孔；

该第二固定板对应第一通孔开设有第二通孔，通过定位螺栓对应穿过第一通孔和第二通孔，以固定连接第一固定板和第二固定板。

本发明用于平面样品上形成定位标记的辅助装置的进一步改进在于，相邻的两条条形孔的长度不同。

本发明用于平面样品上形成定位标记的辅助装置的进一步改进在于，该条形孔间隔设置有六条。

本发明用于平面样品上形成定位标记的辅助装置的进一步改进在于，该六条条形孔的长度依次为10mm、15mm、20mm、10mm、15mm、20mm。

本发明用于平面样品上形成定位标记的辅助装置的进一步改进在于，若干条形孔的宽度均为3mm。

本发明用于平面样品上形成定位标记的辅助装置的进一步改进在于，若干条形孔相互平行。

本发明提供了一种用于平面样品上形成定位标记的辅助装置的使用方法，包括如下步骤：

提供该辅助装置，将平面样品置于第一固定板和第二固定板之间，进而固定连接第一固定板和第二固定板，使得平面样品夹固于第一固定板和第二固定板之间；

利用喷金机对第一固定板的表面进行喷金，使得金粉通过条形孔沉积于平面样品的表面，从而于平面样品的表面形成与条形孔相对应的定位标记线。

本发明用于平面样品上形成定位标记的辅助装置的使用方法的进一步改进在于，该第一固定板远离条形孔的一侧开设有第一通孔，该第二固定板对应第一通孔开设有第二通孔；

将定位螺栓对应穿过第一通孔和第二通孔，以固定连接第一固定板和第二固定板。

附图说明

图1为本发明用于平面样品上形成定位标记的辅助装置中第一固定板的结构示意图。

图2为本发明用于平面样品上形成定位标记的辅助装置中第二固定板的结构示意图。

图3为本发明用于平面样品上形成定位标记的辅助装置的使用状态图，其中省略了第一固定板。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明。

参阅图1，本发明提供了一种用于平面样品上形成定位标记的辅助装置及其使用方法，通过将平面样品夹设于第一固定板和第二固定板之间，进而利用喷金机对第一固定板的表面喷金，金粉通过条形孔沉积于平面样品表面，从而于平面样品的表面形成与条形孔相对应的定位标记线，根据定位标记线可精确地找到缺陷所在的位置，大大提高了定位精度，解决了缺陷定位困难的问题，能够提升缺陷的定位精度，大大减少误认或盲切的状况发生，保证后续的检测精度，且本装置结构简单，便于实现。下面结合附图对本发明用于平面样品上形成定位标记的辅助装置进行说明。

参阅图1，图1为本发明用于平面样品上形成定位标记的辅助装置中第一固定板的结构示意图。下面结合图1，对本发明用于平面样品上形成定位标记的辅助装置进行说明。

结合图1、图2和图3所示，本发明用于平面样品上形成定位标记的辅助装置，包括：

相对设置且供夹住平面样品21的第一固定板11和第二固定板12，且该第一固定板11和第二固定板12可拆卸地连接，该第一固定板11的一侧间隔开设有若干条形孔111；

对第一固定板11进行喷金，以透过条形孔111于平面样品21的表面形成定位标记线211。

较佳地，该条形孔111间隔设置有六条。

又佳地，若干条形孔111相互平行，且相邻条形孔111之间的间距相等。

作为本发明的一较佳实施方式，该第一固定板11远离条形孔111的一侧开设有第一通孔112；

该第二固定板12对应第一通孔112开设有第二通孔121，通过定位螺栓对应穿过第一通孔112和第二通孔121，以固定连接第一固定板11和第二固定板12。

进一步的，相邻的两条条形孔的长度不同。

较佳地，该六条条形孔111的长度依次为10mm、15mm、20mm、10mm、15mm、20mm，即六条条形孔111分为两组，该两组条形孔111的长度均依次递增。

又佳地，若干条形孔111的宽度均为3mm。

本发明的具体实施方式如下：

将平面样品21置于第一固定板11和第二固定板12之间，将定位螺栓对应穿过第一通孔112和第二通孔121，使得平面样品21夹设于第一固定板11和第二固定板12之间；

利用喷金机对第一固定板11的表面进行喷金，金粉通过条形孔111沉积于平面样品21的表面，从而在平面样品21的表面形成与条形孔111对应的定位标记线211，根据定位标记线211确定缺陷所在的位置，以方便在扫描透镜下精准定位，减少误认和盲切的情况。

本发明还提供了一种用于平面样品上形成定位标记的辅助装置的使用方法，该方法包括如下步骤：

提供该辅助装置，将平面样品21置于第一固定板11和第二固定板12之间，进而固定连接第一固定板11和第二固定板12，使得平面样品21夹固于第一固定板11和第二固定板12之间；

利用喷金机对第一固定板11的表面进行喷金，使得金粉通过条形孔111沉积于平面样品21的表面，从而于平面样品21的表面形成与条形孔111相对应的定位标记线211。

进一步的，该第一固定板11远离条形孔111的一侧开设有第一通孔112，该第二固定板12对应第一通孔112开设有第二通孔121；

将定位螺栓对应穿过第一通孔112和第二通孔121，以固定连接第一固定板11和第二固定板12。

本发明提供的使用方法实际实施的具体操作方式如下：

将平面样品21置于第一固定板11和第二固定板12之间，将定位螺栓对应穿过第一通孔112和第二通孔121，使得平面样品21夹设于第一固定板11和第二固定板12之间；

利用喷金机对第一固定板11的表面进行喷金，金粉通过条形孔111沉积于平面样品21的表面，从而在平面样品21的表面形成与条形孔111对应的定位标记线211，根据定位标记线211确定缺陷所在的位置，以方便在扫描透镜下精准定位。

以上结合附图实施例对本发明进行了详细说明，本领域中普通技术人员可根据上述说明对本发明做出种种变化例。因而，实施例中的某些细节不应构成对本发明的限定，本发明将以所附权利要求书界定的范围作为本发明的保护范围。