基板升降驱动单元、具备其的显示装置的制造装置及方法与流程

文档序号:26837833发布日期:2021-10-08 18:09阅读:91来源:国知局
基板升降驱动单元、具备其的显示装置的制造装置及方法与流程

1.本公开涉及基板升降驱动单元、具备其的显示装置的制造装置及显示装置的制造方法。


背景技术:

2.基于移动性的电子设备被广泛使用,作为移动用电子设备,除移动电话之类小型电子设备之外,最近广泛使用平板电脑。
3.为了支持各种功能,这种移动型电子设备包括用于向用户提供图像或影像之类视觉信息的显示装置。最近,随着用于驱动显示装置的其它部件小型化,显示装置在电子设备中所占的比重呈现逐渐增加的趋势,在平坦的状态下能够弯曲以具有预定角度的结构也正在开发中。
4.在制造这种显示装置时,可以利用升降或输送基板的制造装置,这种制造装置可以配置在腔室之类密闭空间或狭小空间中。在此情况下,由于向制造装置供应润滑剂方面存在困难,可能对制造装置的寿命造成影响。


技术实现要素:

5.本公开的一实施例的目的在于提供一种能够延长显示装置的制造装置的寿命并减少设备损耗(loss)的基板升降驱动单元、具备其的显示装置的制造装置及显示装置的制造方法。但是,这种课题是示例性的,本公开的范围不限定于此。
6.根据本公开的一观点,提供一种基板升降驱动单元,包括:轴,沿着第一方向延伸;主体,沿着所述轴滑动;降摩擦部,位于所述轴的外周面和所述主体的内面之间;以及动力部,与所述轴连接,并提供用于所述轴和所述主体的相对运动的动力,所述轴具备:流入口,位于所述轴的一端部;流出口,位于所述轴的外周面;第一流路,形成在所述轴内部,并从所述流入口沿着所述第一方向延伸;以及第二流路,从所述第一流路沿着与所述第一方向交叉的第二方向延伸至所述流出口,并与所述第一流路流体连通。
7.根据本实施例,可以是,所述轴包括形成在所述外周面上的槽部,所述降摩擦部包括与所述槽部滚动摩擦的滚珠,所述流出口位于所述槽部上。
8.根据本实施例,可以是,所述槽部沿着所述第一方向延伸,并在所述轴的外周面上彼此隔开配置。
9.根据本实施例,可以是,所述槽部在所述轴的外周面上等间隔配置。
10.根据本实施例,可以是,在所述主体置于离所述轴的所述流入口远处时,所述流出口配置在所述降摩擦部在所述轴上所占有的区域。
11.根据本实施例,可以是,所述基板升降驱动单元还包括:润滑供应部,通过所述流入口而向所述第一流路供应润滑剂。
12.根据本实施例,可以是,所述润滑供应部包括:供应管,具有可挠性;以及接头部,将所述供应管和所述第一流路气密连接。
13.根据本公开的另一观点,提供一种显示装置的制造装置,包括:工作台,具备贯通孔,并被安放基板;基板升降部,具备穿过所述贯通孔的顶升销,并使所述基板升降;以及基板升降驱动单元,与所述基板升降部连接,所述基板升降驱动单元包括:轴,沿着第一方向延伸;主体,沿着所述轴滑动;降摩擦部,位于所述轴的外周面和所述主体的内面之间;以及动力部,与所述轴连接,并提供用于所述轴和所述主体的相对运动的动力,所述轴包括:流入口,位于所述轴的一端部;流出口,位于所述轴的外周面;第一流路,形成在所述轴内部,并从所述流入口沿着所述第一方向延伸;以及第二流路,从所述第一流路沿着与所述第一方向交叉的第二方向延伸至所述流出口,并与所述第一流路流体连通。
14.根据本实施例,可以是,所述轴包括形成在所述外周面上的槽部,所述降摩擦部包括与所述槽部滚动摩擦的滚珠,所述流出口位于所述槽部上。
15.根据本实施例,可以是,所述槽部沿着所述第一方向延伸,并在所述轴的外周面上彼此隔开配置。
16.根据本实施例,可以是,所述槽部在所述轴的外周面上等间隔配置。
17.根据本实施例,可以是,在所述主体置于离所述轴的所述流入口远处时,所述流出口配置在所述降摩擦部在所述轴上所占有的区域。
18.根据本实施例,可以是,所述基板升降驱动单元还包括:覆盖部,位于所述基板升降部和所述主体之间而覆盖所述轴,并随着所述轴和所述主体的相对运动进行伸缩。
19.根据本实施例,可以是,所述基板升降驱动单元还包括:润滑供应部,通过所述流入口而向所述第一流路供应润滑剂。
20.根据本实施例,可以是,所述润滑供应部包括:供应管,具有可挠性;以及接头部,将所述供应管和所述第一流路气密连接。
21.根据本公开的另一观点,提供一种显示装置的制造方法,包括:将基板置于高度调节部上的步骤;使所述高度调节部下降而将所述基板安放在工作台上的步骤;使所述高度调节部上升而将所述基板从所述工作台隔开的步骤;将所述基板运出的步骤;以及向所述高度调节部供应润滑剂的步骤,所述高度调节部包括:轴,沿着所述基板的升降方向延伸,并包括外面上的槽部;以及主体,沿着所述轴滑动,并且包括与所述槽部滚动摩擦的滚珠,供应所述润滑剂的步骤通过形成于所述轴的内侧的流路而向所述外面上的槽部供应润滑剂。
22.根据本实施例,可以是,所述流路包括:第一子流路,沿着所述基板的升降方向延伸;以及第二子流路,沿着与所述升降方向交叉的横向方向从所述第一流路延伸至所述槽部。
23.根据本实施例,可以是,供应所述润滑剂的步骤向由所述滚珠滚动摩擦的所述槽部的摩擦面直接供应润滑剂。
24.根据本实施例,可以是,供应所述润滑剂的步骤在所述高度调节部的下降或上升中供应所述润滑剂。
25.根据本实施例,可以是,供应所述润滑剂的步骤以一定时间间隔自动供应一定量的所述润滑剂。
26.前述之外的其它方面、特征、优点将从以下的用于实施公开的具体内容、权利要求书以及附图得到明确。
27.这种一般且具体的方面可以使用系统、方法、电脑程序或者某种系统、方法、电脑程序的组合来实施。
28.(公开的效果)
29.根据如上述那样构成的本公开的一实施例,能够实现最小化制造装置的磨损而增加寿命并在制造装置的运转中也能够向制造装置供应润滑剂而能够减少设备损耗(loss)的基板升降驱动单元、具备其的显示装置的制造装置及显示装置的制造方法。当然,本公开的范围不限定于这种效果。
附图说明
30.图1是概略示出根据本公开的一实施例的显示装置的制造装置的侧视图。
31.图2a及图2b是概略示出图1的显示装置的制造装置的一部分的截面图。
32.图3是概略示出根据本公开的一实施例的显示装置的制造装置的一部分的立体图。
33.图4是概略示出根据本公开的一实施例的显示装置的制造装置的一部分的立体图。
34.图5是概略示出根据本公开的一实施例的显示装置的制造装置的一部分的立体图。
35.图6是概略示出图5的显示装置的制造装置的一部分的截面图。
36.(附图标记说明)
37.1:显示装置的制造装置
38.10:基板升降驱动单元
39.20:基板升降部
40.21:支承板
41.22:顶升销
42.30:工作台
43.110:轴
44.110h:槽部
45.111:第一流路
46.112:第二流路
47.113:流入口
48.114:流出口
49.120:主体
50.130:降摩擦部
51.140:覆盖部
52.150:动力部
53.160:头部
54.170:润滑供应部
55.170t:供应管
56.170n:接头部
具体实施方式
57.本公开可以施加各种变换,可以具有各种实施例,附图中例示出特定实施例,并在详细的说明中进行详细说明。本公开的效果、特征以及达成其的方法可以参照与附图一起详细后述的实施例会变明确。然而,本公开并不限定于以下公开的实施例,可以以各种形态实现。
58.以下,参照所附附图详细说明本公开的实施例,在参照附图说明时,对相同或者对应的构成要件赋予相同的附图标记,对其的重复说明将省略。
59.在以下的实施例中,第一、第二等用语以将一个构成要件与另一构成要件进行区分的目的来使用而不是限定性含义。
60.在以下的实施例中,除非在文脉上明确表示为不同含义,单数表达包括复数表达。
61.在以下的实施例中,包括或具有等用语意指说明书上记载的特征或者构成要件的存在,并不是预先排除一个以上的其它特征或构成要件的附加可能性。
62.在以下的实施例中,当称为膜、区域、构成要件等的部分在另一部分之上或上时,不仅包括直接在另一部分之上的情况,还包括在其中间介有其它膜、区域、构成要件等的情况。
63.为了方便说明,在附图中可以放大或缩小构成要件的大小。例如,附图中示出的各构成的大小和厚度是为了方便说明而任意示出的,因此本公开并不是必须限定于图示。
64.当某一实施例可以不同地实现时,特定工艺顺序也可以与说明的顺序不同地执行。例如,连续说明的两个工艺既可以实质上同时执行,也可以以与说明的顺序相反的顺序进行。
65.在本说明书中,“a及/或b”表示或者是a,或者是b,或者是a和b的情况。还有,“a和b中至少一个”表示或者是a,或者是b,或者是a和b的情况。
66.在以下的实施例中,当称为连接有膜、区域、构成要件等时,包括膜、区域、构成要件直接连接的情况及/或膜、区域、构成要件的中间介有其它膜、区域、构成要件而间接连接的情况。例如,当在本说明书中称为膜、区域、构成要件等电连接时,表示膜、区域、构成要件等直接电连接的情况及/或其中间介有其它膜、区域、构成要件等而间接电连接的情况。
67.x轴、y轴及z轴不限定于直角坐标系上的三轴,可以解释为包括其的广泛含义。例如,x轴、y轴及z轴可以相互正交,但也可以指代互不正交的互不相同的方向。
68.图1是概略示出根据本公开的一实施例的显示装置的制造装置的侧视图。
69.参照图1,显示装置的制造装置1可以包括腔室c、基板升降驱动单元10、基板升降部20以及工作台30。
70.腔室c可以在内部形成空间,并且可以形成为腔室c的一部分被开口。在腔室c的开口的部分例如可以设置有闸阀g而选择性地开闭腔室c的开口的部分。通过腔室c的开口例如可以利用机械臂等向腔室c内投放基板p。另外,腔室c可以在一侧包括贯通孔,后述的基板升降驱动单元10的轴110可以通过所述贯通孔。
71.基板升降驱动单元10可以包括轴110、主体120、降摩擦部130、动力部150以及润滑供应部170。
72.轴110可以沿着第一方向dr1延伸。所述第一方向dr1可以为基板p上升及下降的方向。轴110的长度可以根据基板p上升或下降的高度来决定,作为一例,可以为约210mm。
73.轴110的截面形状作为一例可以为圆形形状,作为其它例可以变形为包括椭圆形、四边形等的多边形等之类的各种形状。以下,为了方便说明,针对轴110的截面具有圆形形状的情况进行说明。轴110的直径可以为约20mm,可以考虑对基板升降驱动单元10所要求的刚性、轴110的位置及数量、基板p以及基板升降部20的大小及重量等来决定。
74.主体120可以作为相对于轴110的相对运动,沿着轴110滑动。主体120可以固定在腔室c的底板,在此情况下,实质上可以是轴110相对于固定的主体120滑移。
75.降摩擦部130可以配置在主体120的内侧。降摩擦部130可以位于轴110的外周面和主体120的内面之间。降摩擦部130减小主体120和轴110之间的摩擦力引起的运动阻力,从而能够使它们之间的相对运动顺畅。
76.动力部150可以连接于轴110的一侧,提供用于轴110和主体120的相对运动的动力。作为一例,动力部150可以为气压缸、液压缸、线性马达等。图1中示出动力部150配置在腔室c外部,但这是示例性的,可以配置在腔室c内侧。
77.润滑供应部170可以为了主体120和轴110之间的顺畅的相对运动而供应润滑剂。作为一例,润滑供应部170可以为油泵。润滑剂可以为润滑油或润滑脂(grease)。润滑供应部170可以配置在腔室c的外部。因此,在腔室c内部空间狭小的情况下,也可以将润滑供应部170配置在外部来利用,能够易于填充润滑剂。
78.基板升降驱动单元10可以还包括覆盖部140。覆盖部140可以位于主体120和后述的基板升降部20的一部分之间而覆盖轴110。覆盖部140可以包括能够伸缩的材质,随着轴110和主体120的相对运动进行伸缩。作为一例,覆盖部140可以为包括金属或橡胶材质的波纹管(bellows)。
79.覆盖部140可以在其一侧与主体120气密连接,在其另一侧与头部160(参照图2a)气密连接。头部160可以与轴110的一端部连接并固定在基板升降部20的一部分。由此,覆盖部140能够防止外部气体或异物等通过轴110和主体120之间的缝隙向腔室c内流入而对基板p波及不良影响。
80.基板升降驱动单元10可以具备一个或两个以上。作为一例,基板升降驱动单元10可以具备4个。
81.基板升降部20可以包括支承板21及顶升销22。
82.在支承板21的至少一侧可以配置基板升降驱动单元10。作为一例,图1示出在支承板21的两侧配置有基板升降驱动单元10。支承板21的一部分可以与基板升降驱动单元10连接。为此,支承板21的一部分可以折弯成置于基板升降驱动单元10的上侧。这种形态为示例性的,只要是支承板21可以通过基板升降驱动单元10沿着第一方向dr1上升及下降的形态,也可以是其它形态。
83.顶升销22可以沿着第一方向dr1延伸并配置在支承板21上。顶升销22可以通过支承板21上升及下降。顶升销22可以穿过如后述那样的形成于工作台30的贯通孔30h。顶升销22可以是一端部固定在支承板21上,另一端部与工作台30上的基板p直接接触。随着支承板21借助基板升降驱动单元10上升及下降,顶升销22也上升及下降,借助穿过工作台30的贯通孔30h的顶升销22,能够使工作台30上的基板p上升及下降。由此,能够调节基板p的高度。
84.顶升销22可以具备一个或两个以上。例如,当为平板形态的基板p时,顶升销22可以具备至少3个。作为一例,在支承板21上可以具备16个顶升销22。顶升销22的配置可以多
样变更,例如可以在平面上配置为形成多个列或者配置为之字形。顶升销22的截面形状可以具有圆形、椭圆形、四边形等之类的多边形等各种形状。
85.在基板升降部20上可以配置工作台30。在工作台30上可以安放向腔室c内投放的基板p。对安放在工作台30上的基板p可以执行用于制造显示装置的各种工艺。例如,可以执行用于在基板p上形成有机层或无机层的化学蒸镀方法、电子束蒸镀方法等之类的蒸镀工艺、喷墨印刷工艺等。或者,可以执行照射紫外线而干燥被涂布或被印刷的墨的uv固化工艺等。
86.工作台30可以具备贯通孔30h。基板升降部20的顶升销22可以通过贯通孔30h上升或下降。贯通孔30h的数量可以与基板升降部20的顶升销22的数量相同。贯通孔30h的配置可以与顶升销22的配置对应。贯通孔30h的截面形状可以具有圆形、椭圆形、四边形等之类的多边形等各种形状。当贯通孔30h及顶升销22具有圆形的截面形状时,贯通孔30h的直径可以至少大于顶升销22的直径。
87.图2a及图2b是概略示出图1的显示装置的制造装置的一部分的截面图。图2a及图2b与图1的ii部分对应,示出基板升降驱动单元的一部分的截面。图2a示出轴及支承板借助动力部上升的状态,图2b示出下降的状态。
88.参照图2a,基板升降驱动单元10的主体120可以配置在腔室c的内面上。主体120可以固定在腔室c。基板升降驱动单元10的轴110可以通过形成于腔室c的贯通孔穿过。轴110的外周面和主体120的内面之间可以配置降摩擦部130。
89.流入口113可以位于轴110的一端部。在轴110的外周面可以配置流出口114。在轴110的内部可以形成从流入口113沿着第一方向dr1延伸的第一流路111。在轴110的内部可以形成从第一流路111沿着与第一方向dr1交叉的第二方向dr2延伸至流出口114的第二流路112。即,第二流路112可以从第一流路111分支并流体连通。
90.第一流路111的长度可以为轴110的长度的1/2。例如,第一流路111的长度可以为105mm。另外,作为一例,第一流路111的直径为4mm。另一方面,第二流路112的直径可以为至少0.5mm。
91.根据本公开的一实施例,可以向流入口113投放润滑剂,投放的润滑剂可以沿着第一流路111及第二流路112流动,并通过流出口114到达轴110的外周面。轴110的外周面中的一部分可以包括与降摩擦部130直接接触而滑动的摩擦面。通过向摩擦面提供润滑剂,减少轴110和降摩擦部130之间的摩擦阻力,使得能够实现顺畅的滑动。通过此,能够减少轴110的磨损并增加寿命。
92.另外,由于能够利用轴110内部的第一流路111及第二流路112从腔室c外侧供应润滑剂,即使基板升降驱动单元10配置在腔室c内的狭小空间中,也能够顺畅地供应润滑剂。因此,能够具有不中断显示装置的制造装置1的运转或不将其分解也能够供应润滑剂的优点。通过此,能够节省用于供应润滑剂的维护时间并延长制造装置的运转时间,从而能够缩小设备损耗(loss)并提高制造效率。
93.轴110的两侧端部中位于与被配置流入口113的一端部相反侧的另一端部可以与头部160连接。头部160可以固定在支承板21的一部分。
94.覆盖部140可以位于主体120和头部160之间而覆盖轴110。覆盖部140能够向第一方向dr1伸缩。轴110借助动力部150(图1)上升,由此,随着头部160及支承板21上升,覆盖部
140能够向第一方向dr1伸长。
95.参照图2b,轴110借助动力部150(图1)下降,由此,随着头部160及支承板21下降,覆盖部140能够向第一方向dr1收缩。如此,在轴110相对于主体120进行相对运动的期间也能够使轴110相对于腔室c的内部空间密闭。通过此,能够保护腔室c内的基板p免受可能沿着轴110的外周面流入的外部气体及异物的影响。
96.若轴110完全下降,则主体120可以置于离轴110的流入口113最远侧。在此状态下,可以决定第一流路111的长度及第二流路112的位置,使得流出口114配置在降摩擦部130在轴110上所占有的区域oa。在这种结构中,若轴110完全上升而主体120位于离流入口113最近侧,则流出口114可以被覆盖部140覆盖。通过此,即使轴110位于任何位置,也能够使润滑剂始终存在于腔室c内,能够减少润滑剂的浪费并有效使用润滑剂。
97.图3是概略示出根据本公开的一实施例的显示装置的制造装置的一部分的立体图。
98.参照图3,轴110可以包括形成在其外周面110s上的槽部110h。槽部110h可以沿着第一方向延伸并在轴110的外周面110s上彼此隔开配置。根据本公开的一实施例,槽部110h可以在轴110的外周面上等间隔配置。在图3中示例性地示出槽部110h具备5个,但不限于此,可以为4个以下或6个以上。
99.如参照图4后述,降摩擦部130可以包括与槽部110h滚动摩擦的滚珠133。在轴110和主体120相对运动时,实质上可以是槽部110h和滚珠133彼此接触并滑动。此时,槽部110h和滚珠133可以彼此滚动摩擦。因此,轴110的实质上的摩擦面可以置于槽部110h的表面上。
100.流出口114可以位于所述槽部110h上。通过此,润滑剂被直接供应到作为摩擦面的槽部110h的表面,因此能够进一步提高润滑功能并最小化摩擦阻力。通过此,最小化轴110的磨损,因此能够延长制造装置的寿命。
101.流出口114的数量可以等于或多于槽部110h的数量。作为一例,至少一个流出口114可以位于一个槽部110h。第二流路112的数量与流出口114的数量相同。
102.图4是概略示出根据本公开的一实施例的显示装置的制造装置的一部分的立体图。图4示出轴的一部分及降摩擦部的内部。
103.参照图4,降摩擦部130可以包括外筒131、内筒132、滚珠133、卡环134以及密封部件135。
104.作为一例,滚珠133可以为球形,但是本公开不限定于此。只要是能够与槽部110h滚动摩擦的形态,可以是任意形态。作为另一例,可以为圆筒形。以下,为了方便说明,针对滚珠133为球形的情况进行说明。
105.内筒132可以配置在外筒131和轴110之间。在内筒132可以形成多个滚珠路径。滚珠路径构成包括沿着第一方向dr1延伸的直线部分的闭合曲线,滚珠133可以沿着滚珠路径滚动并循环。
106.卡环134可以保持外筒131和内筒132的结合而紧固它们两者以使得彼此不脱离。
107.密封部件135可以起到保持气密性的作用,使得供应到轴110的外周面110s的润滑剂不会沿着轴110向腔室c外部泄露。
108.图5是概略示出根据本公开的一实施例的显示装置的制造装置的一部分的立体图。图6是概略示出图5的显示装置的制造装置的一部分的截面图。图5及图6可以与图1的v
部分对应。
109.参照图5及图6,轴110的一端部可以与动力部150的一部分连接。为了轴110和动力部150的一部分之间的连接,可以利用法兰等。流入口113可以位于轴110的所述一端部。在动力部150的所述一部分可以形成贯通孔。
110.润滑供应部170可以具备具有可挠性的供应管170t及气密连接供应管170t和第一流路111的接头部170n。供应管170t可以配置成穿过形成于动力部150的所述一部分的贯通孔及轴110的流入口113。此时,可以具备将供应管170t牢固地固定于所述贯通孔的连接件ce。另外,供应管170t可以配置成与第一流路111流体连通。此时,接头部170n可以保持供应管170t和第一流路111之间的气密性。因此,通过供应管170t供应的润滑剂可以不泄露而向第一流路111流动。由于供应管170t具有可挠性,可以随着动力部150的一部分及轴110的上下运动而弯曲。
111.润滑供应部170可以配置在腔室c外部,并向基板升降驱动单元10以一定时间间隔自动供应一定量的润滑剂。当然,也可以代替润滑供应部170而手动供应润滑剂。
112.由于润滑供应部170可以配置在腔室c的外部,即使腔室c内部空间狭小,也能够利用润滑供应部170。另外,无需为了向润滑供应部170填充润滑剂而停止显示装置的制造装置1的运转。
113.以下,针对利用前面说明的根据本公开的一实施例的显示装置的制造装置的显示装置的制造方法进行说明。
114.根据本公开的一实施例,可以将基板p投放到腔室c内而置于高度调节部上。高度调节部可以包括基板升降驱动单元10及基板升降部20。基板p可以置于高度调节部的顶升销22上。
115.之后,可以使高度调节部下降,将基板p安放在工作台30上。可以对安放在工作台30上的基板p执行各种工艺。作为一例,可以执行用于在基板p的一面上形成有机层或无机层的化学蒸镀方法、电子束蒸镀方法等之类的蒸镀工艺、喷墨印刷工艺等。或者,可以执行照射紫外线而干燥被涂布或被印刷的墨的uv固化工艺等。
116.所述工艺结束之后,可以使高度调节部上升而使基板p从工作台30隔开。之后,可以将基板p运出。将基板p投放及运出时可以利用机械臂等,但为了不污损已执行所述工艺的基板p的一面且稳定地夹持基板p来运出基板p,可能被要求将基板p从工作台30隔开。为此,本公开的高度调节部可以使基板p升降。
117.根据本公开的一实施例,可以包括向高度调节部供应润滑剂的步骤。在一实施例中,通过形成于轴110的内侧的流路,可以向轴110的外周面110s上的槽部110h供应润滑剂。所述流路可以包括第一流路111及第二流路112。在一实施例中,可以向由滚珠133滚动摩擦的槽部110h的摩擦面直接供应润滑剂。作为比较例,当通过配置于轴110的外侧的主体120注入润滑剂时,无法向轴110的摩擦面直接供应润滑剂。但是,根据本公开,通过形成于轴110的内侧的流路而向所述摩擦面直接供应润滑剂,从而提高润滑功能,因此能够最小化摩擦阻力。通过此,最小化轴110的磨损,因此能够延长制造装置的寿命。
118.根据本公开的一实施例,可以在高度调节部的上升或下降中供应润滑剂。即,可以在显示装置的制造装置1的运转中供应润滑剂。由于可以从腔室c的外侧通过轴110内部的流路而供应润滑剂,即使基板升降驱动单元10配置在腔室c内的狭小空间中,也能够顺畅地
供应润滑剂。进而,具有不中断显示装置的制造装置1的运转或不将其分解也能够供应润滑剂的优点。通过此,能够节省用于供应润滑剂的维护时间并延长制造装置的运转时间,从而能够提高制造效率。
119.在又一实施例中,可以以一定的时间间隔自动供应一定量的润滑剂。不管显示装置的制造装置1的运转是否中止,能够根据显示装置的制造装置1的运转条件而形成最优的润滑剂供应,通过此,能够延长显示装置的制造装置1的寿命。
120.本公开参照图中示出的实施例进行了说明,但其仅是示例性的,本技术领域中具有通常知识的人员就能够理解可以由此进行各种变形和等同的其它实施例。因此,本公开的真正的技术保护范围应由所附的权利要求书的技术构思来确定。
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