一种太阳能硅片清洗烘干一体装置的制作方法

文档序号:23713132发布日期:2021-01-23 22:09阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种太阳能硅片清洗烘干一体装置,其特征在于,包括清洗装置、装载装置和气流发生装置,所述清洗装置包括圆形底板、固定于圆形底板处的环形清洗槽、固定于圆形底板处的多个淋洗箱、固定于圆形底板处的多个烘干箱,所述淋洗箱和烘干箱的数量相等且交替分布,多个淋洗箱和多个烘干箱呈圆环形分布且包围所述环形清洗槽;所述圆形底板处还固定有被环形清洗槽包围的第一旋转机构,所述第一旋转机构处固定有第一升降气缸,第一升降气缸的顶端固定有承载板,所述承载板处固定有长方体形的定位柱;所述环形清洗槽处具有超声清洗单元、为环形清洗槽注液的注液单元和用于为环形清洗槽排液的第一排液单元;所述淋洗箱处具有淋洗喷嘴、为淋洗喷嘴供液的供液单元以及用于为淋洗箱排液的第二排液单元;所述烘干箱底部具有进气孔,所述进气孔贯穿烘干箱的底部和圆形底板的下表面,所述烘干箱处还具有加热单元;所述装载装置包括中心圆板,所述中心圆板处具有倒u形固定框和能够被定位柱穿过的矩形定位孔,所述中心圆板的圆周方向固定有多个伸缩单元,所述伸缩单元包括与中心圆板固定的固定杆、套在固定杆外的套杆、与中心圆板固定的活塞筒、位于活塞筒内的活塞以及与所述活塞固定的活塞杆,所述活塞杆的端部通过连接块与套杆固定,所述活塞筒的端部具有防止活塞脱落的限位单元,所述套杆处通过连接杆连接有吊篮,所述吊篮内用于放置硅片,所述中心圆板处具有第一内腔以及与第一内腔连通的气嘴,所述中心内腔与所有的活塞筒的内部均连通;所述气流发生单元包括电动伸缩杆、固定于电动伸缩杆活动端的第二旋转机构、固定于第二旋转机构处的顶部圆板,所述顶部圆板的下表面固定有第二升降气缸,第二升降气缸的活动端固定有能够对所述气嘴注气和抽气的气泵,顶部圆板的圆周处固定有多个连接管,连接管的端部固定有出气头,出气头具有喷气口,所述顶部圆板处具有第二内腔和与第二内腔连通的进气管,所述进气管处具有风机,所有的连接管均与所述第二内腔连通。2.根据权利要求1所述的太阳能硅片清洗烘干一体装置,其特征在于,所述第一、二旋转机构均为旋转气缸。3.根据权利要求1所述的太阳能硅片清洗烘干一体装置,其特征在于,多个淋洗喷嘴位于淋洗箱的两侧,每一侧的多个淋洗喷嘴呈矩形阵列分布。4.根据权利要求1所述的太阳能硅片清洗烘干一体装置,其特征在于,所述烘干箱、淋洗箱、伸缩单元和出气头的数量均为6个。5.根据权利要求1所述的太阳能硅片清洗烘干一体装置,其特征在于,所述中心圆板处具有两个所述倒u形固定框。6.根据权利要求1所述的太阳能硅片清洗烘干一体装置,其特征在于,所述烘干箱处通过弹性复位铰接部件铰接有u形盖板,无外力时,u形盖板与圆形底板垂直;所述u形盖板的内侧具有两个固定条,所述吊篮的两侧分别固定有一个能够与固定条抵接的抵接块,当吊篮放置于烘干箱内且位于最低位置时,所述抵接块抵接固定条使得u形盖板与所述圆形底板平行。7.根据权利要求1所述的太阳能硅片清洗烘干一体装置,其特征在于,还包括机架以及固定于机架处的保护罩,所述清洗装置、装载装置和气流发生装置均位于所述保护罩内,所述圆形底板和电动伸缩杆均固定于所述机架处。8.根据权利要求1所述的太阳能硅片清洗烘干一体装置,其特征在于,所述第一排液单
元包括第一排液管、第一废液容器和位于第一排液管处的阀门;所述第二排液单元包括第二排液管、第二废液容器和位于第二排液管处的阀门。9.根据权利要求1所述的太阳能硅片清洗烘干一体装置,其特征在于,所述吊篮包括倒u形架,所述连接杆的底端具有凹槽,所述凹槽的两侧分别具有一个通孔和一个螺纹孔;所述倒u形架能够卡在所述凹槽内,所述凹槽处具有锁紧螺栓将倒u形架和所述连接杆的底端固定连接;所述吊篮的两个侧板的内侧具有竖分隔条。
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