电感器阵列部件以及电感器阵列部件内置基板的制作方法

文档序号:24819923发布日期:2021-04-27 14:30阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种电感器阵列部件,具备:平板状的主体,包含磁性层,上述磁性层包含树脂和在上述树脂中含有的金属磁性粉;第一电感器布线以及第二电感器布线,配置在上述主体内的同一平面上,并且相互相邻;多个第一垂直布线,分别从上述第一电感器布线的第一端侧和第二端侧、以及上述第二电感器布线的第一端侧和第二端侧相对于上述平面向法线方向的第一方向延伸以贯通上述主体的内部,并在上述主体的第一主面侧露出;以及多个第二垂直布线,分别从上述第一电感器布线的上述第一端侧和上述第二端侧、以及上述第二电感器布线的上述第一端侧和上述第二端侧相对于上述平面向法线方向的第二方向延伸以贯通上述主体的内部,并在上述主体的第二主面侧露出。2.根据权利要求1所述的电感器阵列部件,其中,相对于上述多个第一垂直布线的各个第一垂直布线,从相同的位置向上述第二方向延伸的上述第二垂直布线的中心轴与该第一垂直布线的中心轴存在于同一轴上。3.根据权利要求1或者2所述的电感器阵列部件,其中,相对于上述多个第一垂直布线的各个第一垂直布线,从相同的位置向上述第二方向延伸的上述第二垂直布线的截面积与该第一垂直布线的截面积不同。4.根据权利要求1~3中的任意一项所述的电感器阵列部件,其中,还具备非磁性体的绝缘层,上述绝缘层覆盖上述第一电感器布线以及上述第二电感器布线的至少一部分。5.根据权利要求4所述的电感器阵列部件,其中,上述绝缘层包含环氧类树脂、酚醛类树脂、聚酰亚胺类树脂、丙烯酸类树脂以及乙烯醚类树脂中的至少一种。6.根据权利要求4或者5所述的电感器阵列部件,其中,上述多个第一垂直布线以及上述多个第二垂直布线中的至少一个包含:从上述第一电感器布线或者上述第二电感器布线的上述第一端或者上述第二端向上述法线方向延伸并贯通上述绝缘层的内部的导通孔导体、以及从上述导通孔导体向上述法线方向延伸并贯通上述磁性层的内部的柱状布线。7.根据权利要求6所述的电感器阵列部件,其中,在从相同的位置向上述法线方向延伸的上述第一垂直布线以及上述第二垂直布线的组中,一方包含上述导通孔导体和上述柱状布线,另一方不包含上述导通孔导体。8.根据权利要求1~7中的任意一项所述的电感器阵列部件,其中,上述多个第一垂直布线以及上述多个第二垂直布线与上述金属磁性粉之间的最小距离为200nm以下。9.根据权利要求1~8中的任意一项所述的电感器阵列部件,其中,上述第一电感器布线以及上述第二电感器布线与上述金属磁性粉之间的最小距离为200nm以下。10.根据权利要求1~9中的任意一项所述的电感器阵列部件,其中,上述磁性层包含具有凹凸且与上述平面平行的主面,上述磁性层的上述主面的上述凹凸的算术平均粗糙度r
a
为上述磁性层的厚度t的1/10
以下。11.根据权利要求1~10中的任意一项所述的电感器阵列部件,其中,还具备设置于上述磁性层的表面的覆盖膜。12.根据权利要求1~11中的任意一项所述的电感器阵列部件,其中,还具备在上述第一电感器布线以及上述第二电感器布线的上述法线方向上层叠的多个电感器布线。13.根据权利要求12所述的电感器阵列部件,其中,还具备将在上述法线方向上不同的层的电感器布线连接的多个层间导通孔导体,上述多个层间导通孔导体的至少一个层间导通孔导体的中心轴与上述第一垂直布线以及上述第二垂直布线的各自的中心轴不同。14.根据权利要求1~13中的任意一项所述的电感器阵列部件,其中,上述金属磁性粉的平均粒径为上述第一电感器布线以及上述第二电感器布线的从上述法线方向观察到的内部磁路的内切圆的1/30以上1/3以下。15.根据权利要求1~14中的任意一项所述的电感器阵列部件,其中,上述金属磁性粉的平均粒径为上述第一电感器布线与上述第二电感器布线之间的最大距离的1/30以上1/3以下。16.根据权利要求1~15中的任意一项所述的电感器阵列部件,其中,上述金属磁性粉的平均粒径为上述磁性层的厚度t的1/10以上2/3以下。17.根据权利要求1~16中的任意一项所述的电感器阵列部件,其中,上述磁性层还包含铁素体粉。18.根据权利要求1~17中的任意一项所述的电感器阵列部件,其中,上述磁性层包含由绝缘体构成的非磁性粉。19.一种电感器阵列部件内置基板,具备:权利要求1~18中的任意一项所述的电感器阵列部件;基板,埋入有上述电感器阵列部件;以及基板布线,包含向沿着上述基板的主面的方向延伸的图案部和向上述基板的厚度方向延伸的基板导通孔部,上述基板布线在上述基板导通孔部与上述电感器阵列部件连接。20.根据权利要求19所述的电感器阵列部件内置基板,其中,上述基板布线的上述图案部配置为与配置有上述电感器布线的平面平行。
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