一种硅片插片装置的制作方法

文档序号:24073897发布日期:2021-02-26 16:25阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种硅片插片装置,其特征在于,包括第一托盘、第二托盘和传动组件,所述第一托盘和所述第二托盘相对设置,所述第一托盘上并列设置有朝向所述第二托盘的多个第一卡槽,所述第二托盘上并列设置有朝向所述第一托盘的多个第二卡槽,所述第一托盘与所述传动组件的传动端相连,所述传动组件用于驱动所述第一托盘向靠近或远离所述第二托盘的方向移动。2.根据权利要求1所述的硅片插片装置,其特征在于,所述第一卡槽具有沿垂直于所述第一托盘方向的第一中心线,所述第一卡槽包括沿远离所述第一托盘表面依次设置的第一子槽和第二子槽,所述第一子槽和所述第二子槽均关于所述第一中心线对称设置。3.根据权利要求2所述的硅片插片装置,其特征在于,沿所述第一中心线的延伸方向,所述第一子槽的深度大于所述第二子槽的深度。4.根据权利要求2所述的硅片插片装置,其特征在于,相邻两个所述第一卡槽的第一子槽相邻接。5.根据权利要求2所述的硅片插片装置,其特征在于,相邻两个第一卡槽之间的距离均相等,且相邻两个第一卡槽的第一中心线之间的距离为9至11毫米。6.根据权利要求2所述的硅片插片装置,其特征在于,所述第一子槽包括两个侧壁,所述第一子槽的两个侧壁之间形成第一夹角,所述第二子槽包括两个侧壁和一个底面,所述第二子槽的两个侧壁之间形成第二夹角,所述第一夹角大于所述第二夹角。7.根据权利要求6所述的硅片插片装置,其特征在于,所述第二卡槽具有沿垂直于所述第二托盘方向的第二中心线,所述第二卡槽包括沿远离所述第二托盘表面依次设置的第三子槽和第四子槽,所述第三子槽和所述第四子槽均关于所述第二中心线对称设置;所述第三子槽包括两个侧壁,所述第三子槽的两个侧壁之间形成第三夹角,所述第四子槽包括两个侧壁和一个底面,所述第四子槽的两个侧壁之间形成第四夹角,所述第三夹角大于所述第四夹角。8.根据权利要求7所述的硅片插片装置,其特征在于,所述第一夹角的范围为15至25度,所述第二夹角的范围为80至100度,所述第一夹角小于或等于所述第三夹角,所述第二夹角小于或等于所述第四夹角。9.根据权利要求1所述的硅片插片装置,其特征在于,还包括基座和阻尼缓冲件,所述第二托盘通过阻尼缓冲件设置于所述基座上,所述阻尼缓冲件的缓冲方向包括第一方向,所述第一方向与所述传动组件的传动端的移动方向相同。10.根据权利要求9所述的硅片插片装置,其特征在于,所述阻尼缓冲件的缓冲方向还包括第二方向,所述第二方向垂直于所述第一方向,且所述第二方向垂直于所述第一卡槽的延伸方向。
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