一种LED芯片及其制作方法与流程

文档序号:24172445发布日期:2021-03-05 19:32阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种led芯片,其特征在于,所述led芯片包括:衬底;位于所述衬底一侧的缓冲层;位于所述缓冲层一侧的发光层,其中,所述发光层包括n型层;位于所述发光层一侧的反射镜层,所述反射镜层包括逐层连接的钯层、氧化镍层、反射层以及保护层;位于所述反射镜层一侧的p型电极以及与所述n型层连接的n型电极,所述p型电极与所述n型电极间隔设置。2.如权利要求1所述的led芯片,其特征在于,所述钯层的厚度为1~5nm。3.如权利要求2所述的led芯片,其特征在于,所述钯层的厚度为1nm。4.如权利要求1所述的led芯片,其特征在于,所述氧化镍层的厚度为1~5nm。5.如权利要求4所述的led芯片,其特征在于,所述氧化镍层的厚度为2nm。6.如权利要求1所述的led芯片,其特征在于,制作所述反射层的材料包括铝或银,制作所述保护层的材料包括镍、铬或钛。7.如权利要求1所述的led芯片,其特征在于,所述发光层还包括量子阱层、p型层以及p型接触层,所述缓冲层、所述n型层、所述量子阱层、所述p型层以及、所述p型接触层以及所述反射镜层逐层连接。8.一种led芯片制作方法,其特征在于,所述方法包括:提供一衬底;沿所述衬底的一侧生长缓冲层;沿所述缓冲层的一侧生长发光层;其中,所述发光层包括n型层;沿所述发光层的一侧制作反射镜层,其中,所述反射镜层包括逐层连接的钯层、氧化镍层、反射层以及保护层;沿所述反射镜层的一侧制作p型电极,并制作与所述n型层连接的n型电极,其中,所述p型电极与所述n型电极间隔设置。9.如权利要求8所述的led芯片制作方法,其特征在于,所述发光层的一侧包括反射区,所述沿所述发光层的一侧制作反射镜层的步骤包括:沿所述反射层的位置生长钯层;沿所述钯层的一侧生长镍层,并在氧气环境下进行退火,以在所述钯层的一侧制作氧化镍层;沿所述氧化镍层的一侧生长反射层;沿所述反射层的一侧生长保护层。10.如权利要求9所述的led芯片制作方法,其特征在于,所述钯层的厚度为1~5nm,所述氧化镍层的厚度为1~5nm。
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