[0001]
本发明涉及硅片运输技术领域，具体涉及一种高效输送硅片花篮的输送系统。
背景技术：
[0002]
现有的花篮输送过程，是通过由电机驱动的单层传送带装置完成的，当需要将装有硅片的花篮输送至检验室内时，传送带正转；当检验人员将硅片取出后，将空花篮放回至传送带装置上，此时传送带倒转，以便将这些空花篮送回至原工位。然而，虽然该种传送带装置能够满足基本的使用需要，但由于该传送带装置仅依靠电机的正反转来实现双向传送，其传送效率较为低下，当生产负荷较大、硅片送检频繁时，易出现花篮无法及时送回而造成堆积现象，严重制约了产品流水线的整体产能。
[0003]
在中国专利号为cn201220437239.1,公告日为2013.3.6的专利文献中公开了一种花篮传送装置，该花篮装置包括机架，所述机架上设置有供料传送带和回料传送带，且所述供料传送带的转动方向与所述回料传送带的转动方向相反；所述机架上还设置有与所述供料传送带相配合的第一驱动装置以及与所述回料传送带相配合的第二驱动装置。工作过程中，装有硅片的花篮经由所述供料传送带输送至下一工位，同时，取出硅片后的空花篮经由所述回料传送带被输送至原工位处，由于所述供料传送带和所述回料传送带同时工作，使其产品传送效率较高，并使得整个产品流水线能够同步实现花篮的双向输送。
[0004]
但是，该花篮传送装置的供料传送带和回料传送带相对于支架的位置不能改变，只有一个传送方向，只能将花篮从一个固定工位传送到另一个固定工位；这样使用不方便；同时因为只有一个传送方向，所以该花篮传送装置与agv的配合效果差，agv上设有一个以上放置花篮的工位；花篮从agv输送到供料传送带时，需要将agv上其中一个工位与供料传送带对准，输送花篮，然后移动agv位置，使agv上的另一工位与供料传送带对准，才能再次输送花篮；这样需要将agv上的全部花篮都输送到供料传送带时，需要多次移动agv的位置；同理，将回料传送带将花篮输送到agv上时，也需要多次移动agv的位置；这样工作效率低；又因为该花篮传送装置只有一个传送方向；当供料传送带或回料传送带上的花篮数量过多时，容易将花篮堆积在同一工位上，工位上花篮较多时会影响操作，这样会影响生产效率；同时该花篮传送装置上没有设置用于限位花篮移动的装置，当传送装置的传送速度较快时，会造成停在工位上的花篮被另一花篮撞击，导致脱离工位的情况，这样自动化程度低；同时该花篮传送装置没有公开空花篮是如何放置在回料传送带上的，若采用人工将空花篮放入到回料传送带上将导致工作效率低等问题。
技术实现要素：
[0005]
本发明提供一种工作效率高的高效输送硅片花篮的输送系统。
[0006]
为达到上述目的，本发明的技术方案是：一种高效输送硅片花篮的输送系统，包括送料装置、机架、输送装置和提升装置；机架包括前端机架和后端机架；送料装置靠近前端机架设置；输送装置分别安装在送料装置、前端机架和后端机架上，提升装置靠近后端机架
设置；送料装置包括送料导向装置、送料驱动装置和送料移动支座；输送装置安装在送料移动支座；送料移动支座安装在送料导向装置上，送料驱动装置带动送料移动支座沿送料导向装置的导向方向运动；提升装置包括提升驱动装置、提升移动件、提升导向装置、提升升降装置和提升传送装置；提升传送装置安装在提升升降装置上，提升升降装置安装在提升移动件上，提升移动件与提升导向装置连接，提升驱动装置带动提升传送装置和提升升降装置沿提升导向装置的导向方向运动；提升导向装置的导向方向与输送装置的输送方向相垂直；输送装置包括第一输送装置和第二输送装置；第一输送装置和第二输送装置的输送方向相反；送料移动支座的运动方向与第一输送装置、第二输送装置的输送方向垂直；提升传送装置与第一输送装置或第二输送装置对应设置。
[0007]
以上设置，通过设置输送方向相反的第一输送装置和第二输送装置；这样能双向输送花篮；通过设置提升装置，第一输送装置将花篮输送到提升装置，提升装置将处理完的花篮通过提升导向装置的作用下通过提升传送装置传送到第二输送装置，无需人工对空花篮进行移动即可实现自动回料，自动化程度高，工作效率高；第一输送装置和第二输送装置安装在送料移动支座，送料移动支座带动第一输送装置和第二输送装置移动；且第一输送装置、第二输送装置的输送方向与送料移动支座的运动方向垂直；这样既能通过送料移动支架使得第一输送装置和第二输送装置在y轴方向上移动，同时也能在送料移动支架不移动的情况下沿着第一输送装置和第二输送装置即沿x轴输送花篮，通过设置送料装置，能将输送装置上的花篮输送到位于不同y轴的工位上；这样使用方便，能适应不同的工作环境；同时当该输送系统与agv配合使用时；不需要改变agv位置，只需通过移动送料移动支座，就能将输送装置上的花篮输送到agv上，这样减少了agv移动位置与输送装置对准的过程，节省时间，工作效率高；同时送料移动支座是沿送料导向装置的导向方向运动的，这样输送花篮到不同工位时准确性高。
[0008]
进一步的，还包括折叠装置，折叠装置在前端机架和后端机架之间；折叠装置包括折叠驱动装置、折叠支架和折叠输送装置；折叠支架与前端机架铰接；折叠输送装置安装在折叠支架上，折叠驱动装置与折叠支架连接；前端机架与后端机架分体式设置，折叠输送装置连通前端机架和后端机架，折叠装置展开时，折叠输送装置的顶面与前端支架输送装置的顶面以及后端输送装置的顶面相平齐。
[0009]
以上设置，通过折叠驱动装置与折叠支架连接，折叠驱动装置带动折叠支架沿折叠支架与前端机架铰接的活动方向活动；实现折叠装置的折叠；同时折叠输送装置连通前端机架和后端机架；当折叠装置展开时，在前端机架的输送装置上输送的花篮通过折叠输送装置输送到后端机架的输送装置上；这样实现花篮的输送；当发生火灾时，一体式装置以及装置上的花篮都会造成损坏；通过分体式设置前端机架和后端机架，这样当发生火灾时，将折叠装置向前端机架折叠；这时候前端机架与后端机架的连接断开；前端机架与后端机架之间具有一定的距离；这样可以通过防火帘或其它防火件将前端机架与后端机架分隔开；这样可以较减损失。
[0010]
进一步的，送料导向装置包括送料导轨和送料滑块，送料滑块滑动的设置在送料导轨上；送料移动支座与送料滑块连接；送料驱动装置包括送料驱动电机、送料驱动传动轴
和送料驱动支撑座，送料驱动传动轴安装在送料驱动支撑座上且与送料驱动电机连接，送料驱动传动轴上设有送料驱动移动件，送料驱动移动件与送料移动支座连接。
[0011]
以上设置，送料移动支座与送料驱动移动件和送料滑块连接，通过送料驱动电机带动送料移动支座沿送料导向装置的导向方向移动，这样送料移动支座移动稳定，进而安装在送料移动支座上的输送装置移动稳定，进而花篮能稳定移动。
[0012]
进一步的，提升导向装置包括提升导轨和提升滑块，提升滑块滑动的设置在提升导轨上，提升移动件与提升滑块连接；提升移动件设有提升限位槽和传动固定件；提升驱动装置包括提升驱动电机、提升驱动主动轮、提升驱动传动轮和提升驱动传动皮带；提升驱动电机与提升驱动主动轮连接，提升驱动传动皮带穿过提升限位槽套接在提升驱动主动轮和提升驱动传动轮之间；传动固定件夹紧提升驱动传动皮带；提升升降装置包括提升升降支架、提升升降驱动件和提升支撑件；提升升降支架与提升移动件连接，提升升降驱动件安装在提升升降支架上，提升升降驱动件与提升支撑件连接。
[0013]
以上设置，通过提升导向装置，这样安装在提升移动件上的提升升降装置和提升传送装置移动稳定；通过提升升降驱动件带动提升支撑件升降，进而带动提升传送装置升降；当装有硅片的花篮经第一输送装置输送到提升支撑件时，提升驱动装置带动提升升降装置和提升传送装置沿提升导向装置的导向方向朝第二输送装置移动，同时提升升降驱动件带动提升支撑件上的装有硅片的花篮上升，当硅片被取出后；提升升降驱动件带动提升支撑件上的空花篮下降，然后提升传送装置将空花篮输送到第二输送装置。
[0014]
进一步的，提升传送装置安装在提升升降支架上，提升传送装置包括提升传送电机、提升传送主动轮、提升传送从动轮和提升传送同步装置；提升传送同步装置在提升支撑件左右两侧对称设置，两提升传送同步装置之间连接有提升同步轴，提升传送从动轮安装在提升同步轴上，提升传送主动轮和提升传送从动轮之间套接有提升传送皮带。
[0015]
以上设置，通过设置提升传送从动轮带动提升同步轴转动，通过提升同步轴实现提升传送同步装置对花篮的输送。
[0016]
进一步的，第一输送装置包括第一输送支架、第一输送驱动电机、第一输送主动轮、第一输送从动轮和第一输送同步装置；第一输送驱动电机设置在第一输送支架的一端，第一输送驱动电机与第一输送主动轮连接；第一输送同步装置在第一输送支架左右两侧对称设置，两第一输送同步装置之间连接有第一输送同步轴和第一输送支撑件，第一输送从动轮安装在第一输送同步轴上；第一输送从动轮和第一输送主动轮之间套接有第一输送皮带。
[0017]
以上设置，通过第一输送从动轮带动第一输送同步轴转动，通过第一输送同步轴实现第一输送同步装置对花篮的输送。
[0018]
进一步的，第二输送装置包括第二输送支架、第二输送驱动电机、第二输送主动轮、第二输送从动轮和第二输送同步装置；第二输送驱动电机设置在第二输送支架的一端，第二输送驱动电机与第二输送主动轮连接；第二输送同步装置在第二输送支架左右两侧对称设置，两第二输送同步装置之间连接有第二输送同步轴和第二输送支撑件，第二输送从动轮安装在第二输送同步轴上；第二输送从动轮和第二输送主动轮之间套接有第二输送皮带。
[0019]
以上设置，通过第二输送从动轮带动第二输送同步轴转动，通过第二输送同步轴实现第二输送同步装置对花篮的输送。
[0020]
进一步的，第一输送装置还包括第一限位装置；第一限位装置设置在第一输送支撑件靠近第一输送驱动电机的一端；第二输送装置还包括第二限位装置；第二限位装置设置在第二输送支撑件靠近第二输送驱动电机的一端。
[0021]
以上设置，通过第一限位装置、第二限位装置对花篮进行限位，通过设置第一限位装置和第二限位装置；使花篮与不同工位的配合效果好；同时第一限位装置是设置在第一输送支撑件上；第二限位装置是设置在第二输送支撑件上；这样第一输送装置、第二输送装置在正常工作的状态即能实现对花篮的限位；不需要停止第一输送装置、第二输送装置；这样工作效率高。
[0022]
进一步的，折叠输送装置包括输送支座、折叠输送电机、折叠输送主动轮、折叠输送从动轮和折叠输送同步装置；输送支座与折叠支架连接；折叠输送同步装置在输送支座左右两侧对称设置且分别与输送支座连接；两折叠输送同步装置之间连接有折叠输送同步轴；折叠输送从动轮安装在折叠输送同步轴上；折叠输送电机安装在输送支座上；折叠输送电机与折叠输送主动轮连接；折叠输送从动轮与折叠输送主动轮之间套接有折叠输送皮带。
[0023]
以上设置，通过折叠输送从动轮带动折叠输送同步轴转动，通过折叠输送同步轴实现折叠输送同步装置对花篮的输送。
[0024]
进一步的，提升传送同步装置包括传送限位件，传送限位件设置在提升传送同步装置远离提升传送电机的一端。
[0025]
以上设置，通过设置传送限位件，传送限位件对花篮进行限位，避免花篮脱离提升传送装置。
附图说明
[0026]
图1为本发明的立体结构示意图。
[0027]
图2为安装有输送装置的送料装置的立体结构示意图。
[0028]
图3为去除送料支架的送料装置的分解图。
[0029]
图4为本发明中第一输送装置的立体结构示意图。
[0030]
图5为本发明中第一输送装置的分解图。
[0031]
图6为本发明中第二输送装置的立体结构示意图。
[0032]
图7为本发明中第二输送装置的分解图。
[0033]
图8为本发明中提升装置的立体结构示意图。
[0034]
图9为本发明中提升驱动装置与提升移动件、提升导向装置连接的立体结构示意图。
[0035]
图10为本发明中提升升降装置与提升传送装置的分解图。
[0036]
图11为本发明中折叠装置与前端机构铰接的立体结构示意图。
[0037]
图12为本发明中折叠输送装置的分解图。
[0038]
图13为本发明中折叠装置翻折前的使用状态图。
[0039]
图14为本发明中折叠装置翻折后的使用状态图。
[0040]
图15为图1中a的放大图。
具体实施方式
[0041]
下面结合附图和具体实施方式对本发明做进一步详细说明。
[0042]
如图1-15所示；一种高效输送硅片花篮的输送系统，包括送料装置1、机架、输送装置2、提升装置3和折叠装置4；机架包括前端机架51和后端机架52；送料装置1靠近前端机架51设置；输送装置2分别安装在送料装置1、前端机架51和后端机架52上。在本实施例中，前端机架51与后端机架52分体式设置。折叠装置4设置在前端机架51和后端机架52之间。提升装置3靠近后端机架52设置。
[0043]
如图2-3所示；送料装置1包括送料机架14和安装在送料机架14上的送料导向装置11、送料驱动装置12和送料移动支座；输送装置2安装在送料移动支座13上；送料移动支座13安装在送料导向装置11上，送料驱动装置12带动送料移动支座13沿送料导向装置11的导向方向运动。
[0044]
送料导向装置11包括送料导轨112和送料滑块111，送料滑块111滑动的设置在送料导轨112上；送料移动支座13与送料滑块111连接；送料驱动装置12包括送料驱动电机121、送料驱动传动轴122和送料驱动支撑座123，在送料驱动支撑座123上设有转动轴承（图中未示出）；送料驱动传动轴122的一端与转动轴承连接，送料驱动传动轴122的另一端与与送料驱动电机121连接；送料驱动传动轴122上设有送料驱动移动件124，送料驱动移动件124与送料移动支座13连接。在本实施例仲，送料驱动电机121为双向电机；通过送料驱动电机121带动送料驱动传动轴122转动；进而能带动送料驱动移动件124在送料驱动传动轴122上往复移动。
[0045]
送料移动支座13与送料驱动移动件124和送料滑块111连接，通过送料驱动电机121带动送料移动支座13沿送料导向装置11的导向方向移动，这样送料移动支座13移动稳定，进而安装在送料移动支座13上的输送装置2移动稳定，进而花篮能稳定移动。
[0046]
如图4-7所示；输送装置2包括第一输送装置21、第二输送装置22和输送导向件23；第一输送装置21和第二输送装置22的输送方向相反；送料移动支座13的运动方向与第一输送装置21、第二输送装置22的输送方向垂直。在本实施例中，输送装置2设置有六组；每组输送装置设有两个第一输送装置21和两个第二输送装置22；两个第一输送装置21设置在两个第二输送装置22之间；第一输送装置21沿送料装置1向提升装置3方向输送花篮；第二输送装置22沿提升装置3向送料装置1方向输送花篮。图15所示；输送导向件23分别设置在第二输送装置22的一侧、第一输送装置21与第二输送装置22之间、两第一输送装置21之间。在本实施例中，输送导向件23为导向条；通过设置输送导向件23使第一输送装置21与第二输送装置22分隔；同时避免第一输送装置21与第二输送装置22上的物料掉落。
[0047]
如图4-5所示；第一输送装置21包括第一输送支架211、第一输送驱动电机212、第一输送主动轮213、第一输送从动轮214和第一输送同步装置215；第一输送驱动电机212设置在第一输送支架211的一端，第一输送驱动电机212与第一输送主动轮213连接；第一输送同步装置215在第一输送支架211左右两侧对称设置，两第一输送同步装置215之间连接有第一输送同步轴216和第一输送支撑件217，第一输送从动轮214安装在第一输送同步轴216上；第一输送从动轮214和第一输送主动轮213之间套接有第一输送皮带218。
[0048]
第一输送同步装置215包括第一同步支架一2151、第一同步支架二2152、第一同步轮一2153、第一同步轮二2154和第一同步支架三2155；在本实施例中，第一输送同步轴216设有两个；其中一第一输送同步轴穿过第一同步轮一2153与第一同步支架一2151连接；另一第一输送同步轴穿过第一同步轮二2154与第一同步支架二2152连接；在第一同步轮二2154和第一同步轮一2153之间套接有第一同步带2156；第一同步支架三2155设置在第一同步轮二2154和第一同步轮一2153之间。通过设置第一同步支架三2155提高对第一同步带2156的支撑效果；通过设置第一同步支架一2151和第一同步支架二2152，这样能固定第一输送同步轴。
[0049]
第一输送装置21还包括第一限位装置219；第一限位装置219设置在第一输送支架211靠近第一输送驱动电机212的一端；第一输送支撑件217上设有与第一限位装置219配合的第一限位通孔2171。
[0050]
如图6-7所示；第二输送装置22包括第二输送支架221、第二输送驱动电机222、第二输送主动轮223、第二输送从动轮224和第二输送同步装置225；第二输送驱动电机222设置在第二输送支架221的一端，第二输送驱动电机222与第二输送主动轮223连接；第二输送同步装置225在第二输送支架221左右两侧对称设置，两第二输送同步装置225之间连接有第二输送同步轴226和第二输送支撑件227，第二输送从动轮224安装在第二输送同步轴226上；第二输送从动轮224和第二输送主动轮223之间套接有第二输送皮带228。
[0051]
第二输送同步装置225包括第二同步支架一2251、第二同步支架二2252、第二同步轮一2253、第二同步轮二2254和第二同步支架三2255；在本实施例中，第二输送同步轴226设有两个；其中一第二输送同步轴穿过第二同步轮一2253与第二同步支架一2251连接；另一第二输送同步轴穿过第二同步轮二2254与第二同步支架二2252连接；在第二同步轮二2254和第二同步轮一2253之间套接有第二同步带2256；第二同步支架三2255设置在第二同步轮二2254和第二同步轮一2253之间。通过设置第二同步支架三2255提高对第二同步带2256的支撑效果；通过设置第二同步支架一2251和第二同步支架二2252，这样能固定第二输送同步轴。
[0052]
第二输送装置22还包括第二限位装置229；第二限位装置229设置在在第二输送支架221靠近第二输送驱动电机222的一端。第二输送支撑件227上设有与第二限位装置229配合的第二限位通孔2271；在本实施例中，第一限位装置219和第二限位装置229为气缸；第一限位装置219伸出第一限位通孔2171；第二限位装置229伸出第二限位通孔2271，实现对花篮的限位。
[0053]
通过第一输送从动轮214带动第一输送同步轴216转动，通过第一输送同步轴216实现第一输送同步装置215对花篮的输送。通过第二输送从动轮224带动第二输送同步轴226转动，通过第二输送同步轴226实现第二输送同步装置225对花篮的输送。通过第一限位装置219、第二限位装置对花篮进行限位，通过设置第一限位装置219和第二限位装置；使花篮与不同工位的配合效果好；同时第一限位装置219是设置在第一输送支撑件217上；第二限位装置是设置在第二输送支撑件227上；这样第一输送装置21、第二输送装置22在正常工作的状态即能实现对花篮的限位；不需要停止第一输送装置21、第二输送装置22；这样工作效率高。
[0054]
如图8-10所示；在本实施例中，提升装置3设有两个。两提升装置都安装在提升支
架30上。两提升装置与提升支架30之间连接有限位链条301；限位链条301的一端固定在提升支架30上，限位链条301的另一端固定在提升装置上，通过设置限位链条301对提升装置进行限位，当提升装置移动时带动限位链条301沿着提升装置移动。提升装置3包括提升驱动装置31、提升移动件32、提升导向装置33、提升升降装置34和提升传送装置35；提升传送装置35安装在提升升降装置34上，提升升降装置34安装在提升移动件32上，提升移动件32与提升导向装置33连接，提升驱动装置31带动提升传送装置35和提升升降装置34沿提升导向装置33的导向方向运动；提升导向装置33的导向方向与输送装置2的输送方向相垂直。提升传送装置35与第一输送装置或第二输送装置对应设置；通过设置提升传送装置35实现花篮从第一输送装置21移动到第二输送装置22。提升导向装置33包括提升导轨331和提升滑块332，提升滑块332滑动的设置在提升导轨331上，提升移动件32与提升滑块332连接；提升移动件32设有提升限位槽（图中未示出）和传动固定件321。
[0055]
提升驱动装置31包括提升驱动电机311、提升驱动主动轮312、提升驱动传动轮313和提升驱动传动皮带314；提升驱动电机311与提升驱动主动轮312连接，提升驱动传动皮带314穿过提升限位槽套接在提升驱动主动轮312和提升驱动传动轮313之间；传动固定件321夹紧提升驱动传动皮带314。
[0056]
提升升降装置34包括提升升降支架341、提升升降驱动件342和提升支撑件343；提升升降支架341与提升移动件32连接，提升升降驱动件342安装在提升升降支架341上，提升升降驱动件342与提升支撑件343连接。在本实施例中，提升升降驱动件342为气缸，通过提升升降驱动件的伸出和缩回带动提升支撑件343升降。
[0057]
通过提升导向装置33，这样安装在提升移动件32上的提升升降装置34和提升传送装置35移动稳定；通过提升升降驱动件342带动提升支撑件343升降，进而带动提升传送装置35升降；当装有硅片的花篮经第一输送装置21输送到提升支撑件343时，提升驱动装置31带动提升升降装置34和提升传送装置35沿提升导向装置33的导向方向朝第二输送装置22移动，同时提升升降驱动件342带动提升支撑件343上的装有硅片的花篮上升，当硅片被取出后；提升升降驱动件342带动提升支撑件343上的空花篮下降，然后提升传送装置35将空花篮输送到第二输送装置22。
[0058]
提升传送装置35安装在提升升降支架341上，提升传送装置35包括提升传送电机351、提升传送主动轮352、提升传送从动轮353和提升传送同步装置354；提升传送同步装置354在提升支撑件343左右两侧对称设置，两提升传送同步装置354之间连接有提升同步轴356，提升传送从动轮353安装在提升同步轴356上，提升传送主动轮352和提升传送从动轮353之间套接有提升传送皮带355。提升装置3还包括提升导向件36；提升导向件36设有两个；一个提升导向件36设置在一个提升传送同步装置354的一侧。在本实施例中，提升导向件36为导向条；通过提升导向件36避免提升传送装置35上的物料掉落。
[0059]
通过设置提升传送从动轮353带动提升同步轴356转动，通过提升同步轴356实现提升传送同步装置354对花篮的输送。
[0060]
提升传送同步装置354包括提升同步支架一3541、提升同步支架二3542、提升同步轮一3543、提升同步轮二3544、提升同步支架三3545和传送限位件3546；传送限位件3546设置在提升传送同步装置354远离提升传送电机351的一端。
[0061]
在本实施例中，提升同步轴356设有两个；其中一提升同步轴穿过提升同步轮一
3543与提升同步支架一3541连接；另一提升同步轴穿过提升同步轮二3544与提升同步支架二3542连接；在提升同步轮二3544和提升同步轮一3543之间套接有提升同步带3547；提升同步支架三3545设置在提升同步轮二3544和提升同步轮一3543之间。通过设置提升同步支架三3545提高对提升同步带3547的支撑效果；通过设置提升同步支架一3541和提升同步支架二3542，这样能固定提升同步轴。通过设置传送限位件3546，传送限位件3546对花篮进行限位，避免花篮脱离提升传送装置35。
[0062]
如图11-14所示；折叠装置4包括折叠驱动装置41、折叠支架42和折叠输送装置43；折叠支架42与前端机架51铰接；折叠输送装置43安装在折叠支架42上，折叠驱动装置41与折叠支架42连接。
[0063]
折叠支架42设有折叠连接轴（图中未示出）；折叠连接轴穿设在折叠支架上；当折叠连接轴移动时；折叠连接轴带动折叠支架移动。折叠输送装置43安装在折叠支架42上；折叠驱动装置41与折叠连接轴连接。
[0064]
在本实施例中，折叠驱动装置41为气缸；折叠驱动装置设有两个；所述折叠驱动装置41的固定端固定在前端机架51上；折叠驱动装置41的活动端与折叠连接轴连接；当折叠驱动装置41的缩回时；折叠驱动装置41的活动端带动折叠连接轴向靠近折叠驱动装置41的固定端方向转动；当折叠驱动装置41的伸出时折叠驱动装置41的活动端带动折叠连接轴向远离折叠驱动装置41的固定端方向转动。
[0065]
折叠输送装置43设有四个；其中两个折叠输送装置43与两个第一输送装置配合；另外两个折叠输送装置43与两个第二输送装置配合。
[0066]
通过折叠驱动装置41与折叠支架42连接，折叠驱动装置41带动折叠支架42沿折叠支架42与前端机架51铰接的活动方向活动；实现折叠装置4的折叠；同时折叠输送装置43连通前端机架51和后端机架52；当折叠装置4展开时，在前端机架51的输送装置2上输送的花篮通过折叠输送装置43输送到后端机架52的输送装置2上；这样实现花篮的输送。
[0067]
当发生火灾时，一体式装置以及装置上的花篮都会造成损坏；通过分体式设置前端机架51和后端机架52，这样当发生火灾时，将折叠装置4向前端机架51折叠；这时候前端机架51与后端机架52的连接断开；前端机架51与后端机架52之间具有一定的距离；这样可以通过防火帘或其它防火件将前端机架51与后端机架52分隔开；这样可以较少损失。
[0068]
折叠输送装置43包括折叠输送电机431、折叠输送主动轮432、折叠输送从动轮433、折叠输送同步装置434和输送支座435，在本实施例中，折叠输送电机431为双向电机。在本实施例中；一个折叠输送装置43设有两个折叠输送同步装置。
[0069]
折叠输送电机431安装在在输送支座435上，折叠输送电机431与折叠输送主动轮432连接；输送支座435与折叠支架42连接；折叠输送同步装置434在输送支座435左右两侧对称设置且分别与输送支座连接；两折叠输送同步装置434之间连接有折叠输送同步轴436，折叠输送从动轮433安装在折叠输送同步轴436上；折叠输送从动轮433与折叠输送主动轮432之间套接有折叠输送皮带437。通过折叠输送从动轮433带动折叠输送同步轴转动，通过折叠输送同步轴436实现折叠输送同步装置434对花篮的输送。
[0070]
折叠输送装置4还包括折叠导向件44；一个折叠输送装置43设有两个折叠导向件44；两折叠导向44设置在折叠输送装置43输送方向的两侧；在本实施例中；相邻的两个折叠导向件44构成折叠导向件组；折叠导向件组与折叠输送装置4数量相同；折叠导向件组设有
四组；所述折叠导向件44为导向条。通过在相邻折叠输送同步装置之间共用一个折叠导向件，从而减少导向件的使用数量，且折叠导向件也能加固相邻折叠同步装置之间的连接可靠性。
[0071]
折叠输送同步装置434包括折叠同步支架一4341、折叠同步支架二4342、折叠同步轮一4343、折叠同步轮二4344和折叠同步支架三4345；在本实施例中，折叠输送同步轴436设有两个；其中一折叠输送同步轴436穿过折叠同步轮一4343与折叠同步支架一4341连接；另一折叠输送同步轴436穿过折叠同步轮二4344与折叠同步支架二4342连接；在折叠同步轮二4342和折叠同步轮一4341之间套接有折叠同步带4346；折叠同步支架三4345设置在折叠同步轮二4342和折叠同步轮一4341之间。通过设置折叠同步支架三提高对折叠同步带4346的支撑效果；通过设置折叠同步支架一4341和折叠同步支架二4342，这样能固定折叠输送同步轴436。位于相邻折叠输送同步装置之间的折叠导向件的一侧边安装在折叠同步支架一，折叠导向件的另一侧安装在折叠同步支架一相邻的折叠输送同步装置中折叠同步支架二上；而位于两侧的折叠导向件的一侧边安装在折叠同步支架一上，折叠导向件的另一侧安装在折叠输送同步装置中折叠同步支架二上，相邻折叠导向件之间设有折叠同步带，且折叠同步带的顶面不高于折叠导向件的顶面。通过设置高度高于折叠同步带的折叠导向件；这样能避免折叠输送装置上的物料掉落。
[0072]
以输送系统与agv（即自动导航小车）配合使用为例；送料装置与输送装置结合使用时，送料装置上的第一输送装置与agv对准；然后伸出第一限位装置，然后将花篮输送到设置在送料装置上的第一输送装置；然后送料装置的第一输送装置沿着输送方向运动使得花篮移动到后端机架侧的提升装置上，提升装置的提升传送装置中一传送皮带与输送装置中第一输送装置的传动带相对应，使得花篮传送到提升传送装置上，然后提升传送装置中提升升降装置使得提升传送装置上升并使得花篮中硅片被取出，然后提升升降装置使得提升传送装置下降并在提升驱动装置的作用下沿着提升导向装置移动到提升传送装置中一传送皮带与第二输送装置相对应，从而空的花篮通过提升传送装置传送到第二输送装置上，并经过送料装置进行传回，送料装置上的其中一个第二输送装置与agv对准；然后缩回该第二输送装置上的第二限位装置，然后该第二输送装置上花篮输送到与其对准agv上；然后再次移动送料装置，将送料装置上的另一个第二输送装置与agv对准；然后缩回该第二输送装置上的第二限位装置，然后该第二输送装置上花篮输送到agv上。
[0073]
通过设置输送方向相反的第一输送装置和第二输送装置；这样能双向输送花篮；通过设置提升装置，第一输送装置将花篮输送到提升装置，提升装置将处理完的花篮通过提升导向装置的作用下通过提升传送装置传送到第二输送装置，无需人工对空花篮进行移动即可实现自动回料，自动化程度高，工作效率高；第一输送装置和第二输送装置安装在送料移动支座，送料移动支座带动第一输送装置和第二输送装置移动；且第一输送装置、第二输送装置的输送方向与送料移动支座的运动方向垂直；这样既能通过送料移动支架使得第一输送装置和第二输送装置在y轴方向上移动，同时也能在送料移动支架不移动的情况下沿着第一输送装置和第二输送装置即沿x轴输送花篮，通过设置送料装置，能将输送装置上的花篮输送到位于不同y轴的工位上；这样使用方便，能适应不同的工作环境；同时当该输送系统与agv配合使用时；不需要改变agv位置，只需通过移动送料移动支座，就能将输送装置上的花篮输送到agv上，这样减少了agv移动位置与输送装置对准的过程，节省时间，工作
效率高；同时送料移动支座是沿送料导向装置的导向方向运动的，这样输送花篮到不同工位时准确性高。