柔性显示面板及其制作方法与流程

本发明实施例涉及显示技术领域，尤其涉及一种柔性显示面板及其制作方法。

背景技术：

随着显示技术的不断发展，显示面板的应用范围越来越广泛。其中，柔性显示技术备受面板厂商和消费者的关注，例如，将中小尺寸的显示面板经过对折后屏幕可缩小，便于携带；相反，在需要的时候展开显示面板能够将小尺寸显示面板大尺寸化。然而，现有的柔性显示面板的折叠方式单一，难以满足科技产业的发展需求。

技术实现要素：

本发明实施例提供一种柔性显示面板及其制作方法，以实现多元化的折叠方案。

为实现上述技术目的，本发明实施例提供了如下技术方案：

一种柔性显示面板，包括：

柔性衬底，所述柔性衬底包括间隔设置的多个第一区和位于相邻两个所述第一区内的第二区；

第一显示单元，位于所述衬底的所述第一区内；

柔性折叠轴，位于所述衬底的所述第二区内，且与所述第一显示单元连接；所述柔性折叠轴用于折叠或展开所述柔性显示面板；在折叠时，所述柔性折叠轴可以部分折叠或全部折叠，且各所述柔性折叠轴的折叠方向相同或不同，以调整所述柔性显示面板的显示状态。

可选地，所述柔性折叠轴中设置有第二显示单元，所述第二显示单元与所述第一显示单元连接。

可选地，位于所述第二区内的所述柔性衬底的厚度大于位于所述第一区内的所述柔性衬底的厚度。

可选地，位于所述第一区的所述柔性衬底的厚度为2um-10um；位于所述第二区的所述柔性衬底的厚度为10um-30um。

可选地，所述柔性折叠轴的折痕为单折、双折或多折。

可选地，所述柔性显示面板全折叠时呈现长条状或卷轴状。

可选地，所述第一区的形状为多边形、圆形、椭圆形或其组合；所述第二区的形状为条状或网状。

可选地，所述第一区和所述第一显示单元构成的显示屏为柔性屏或硬屏。

相应地，本发明还提供了一种柔性显示面板的制作方法，包括：

提供基板，并在基板上形成柔性衬底；其中，所述柔性衬底包括间隔设置的多个第一区和位于相邻两个所述第一区内的第二区；

在所述衬底的所述第一区内形成第一显示单元；

在所述衬底的所述第二区内形成柔性折叠轴，且所述柔性折叠轴与所述第一显示单元连接；

其中，所述柔性折叠轴用于折叠或展开所述柔性显示面板；在折叠时，所述柔性折叠轴可以部分折叠或全部折叠，且各所述柔性折叠轴的折叠方向相同或不同，以调整所述柔性显示面板的显示状态。

可选地，，在所述基板上形成柔性衬底，包括：

对所述柔性衬底进行图形化，形成多个凹槽；其中，所述凹槽内部对应所述柔性衬底的第一区，所述凹槽的侧壁对应所述柔性衬底的第二区。

本发明实施例通过将柔性显示面板的显示区划分为多个第一区和多个第二区，设置第一区和第二区间隔式排布，在第一区内设置第一显示单元，在第二区内设置柔性折叠轴，通过柔性折叠轴的折叠和展开能够实现柔性可折叠和拉伸后的全面显示效果，即柔性面板折叠+拉伸的效果。另外，与现有技术中仅靠单一的半屏折叠相比，本发明实施例能够实现显示面板尺寸可调，有利于实现多元化折叠拉伸的显示效果，从而使得移动式携带机(例如手机)更加多元化。

附图说明

图1为本发明实施例提供的一种柔性显示面板的结构示意图；

图2为图1中的显示面板在部分展开时的一种示意图；

图3为图1中的显示面板在部分展开时的另一种示意图；

图4为图1中的显示面板在折叠为卷轴状时的示意图；

图5为图1中的显示面板在折叠为长条状时的示意图；

图6为图5中区域a的一种放大示意图；

图7为图5中区域a的另一种放大示意图；

图8为本发明实施例提供的另一种柔性显示面板的结构示意图；

图9为图8中的柔性折叠轴在拉伸状态下的结构示意图；

图10为本发明实施例提供的又一种柔性显示面板的结构示意图；

图11为本发明实施例提供的又一种柔性显示面板的结构示意图；

图12为本发明实施例提供的又一种柔性显示面板的结构示意图；

图13为本发明实施例提供的一种柔性显示面板的剖面结构示意图；

图14为本发明实施例提供的另一种柔性显示面板的剖面结构示意图；

图15为本发明实施例提供的又一种柔性显示面板的剖面结构示意图；

图16为本发明实施例提供一种柔性显示面板的制作方法的流程示意图；

图17为本发明实施例提供另一种柔性显示面板的制作方法的流程示意图；

图18为图17中的制作方法在各步骤中形成的柔性显示面板的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部结构。

本发明实施例提供了一种柔性显示面板。图1为本发明实施例提供的一种柔性显示面板的结构示意图。参见图1，该柔性显示面板包括柔性衬底、第一显示单元100和柔性折叠轴200，柔性衬底包括间隔设置的多个第一区10和位于相邻两个第一区10内的第二区20。第一显示单元100位于衬底的第一区10内，第一显示单元100内设置有多个像素，柔性衬底的多个第一区10和多个第一显示单元100构成了柔性显示面板的主显示区。柔性折叠轴200位于衬底的第二区20内，且与第一显示单元100连接，相当于第一显示单元100和柔性折叠轴200交替排列。这种排列方式可以看作柔性折叠轴200嵌入第一显示单元100内，也可以看作第一显示单元100嵌入柔性折叠轴200内。

其中，柔性折叠轴200用于折叠或展开柔性显示面板，在折叠时，柔性折叠轴200可以部分折叠或全部折叠，且各柔性折叠轴200的折叠方向相同或不同，以调整柔性显示面板的显示状态。示例性地，各第一显示单元100的尺寸相同，在最小显示状态下，柔性折叠轴200全部折叠可将主显示区进行折叠和隐藏，形成多层相同尺寸的小型显示面板；在将显示面板进行拉伸时，柔性折叠轴200部分展开或全部展开可阶段性地展开柔性显示面板，达到可折叠拉伸成特定显示尺寸的效果。因此，显示状态包括：最小化折叠、部分展开或全部展开中的至少一种。如图1所示，柔性显示面板的显示状态为全部展开状态，柔性显示面板包括六个第一显示单元100和五个柔性折叠轴200。

需要说明的是，由于柔性衬底的第一区10和第一显示单元100一一对应，第二区20和柔性折叠轴200一一对应，因此，在以下描述中，仅针对第一显示单元100和柔性折叠轴200的设置方式进行说明。

图2为图1中的显示面板在部分展开时的一种示意图。参见图2，示例性地，仅位于中间的柔性折叠轴200折叠，其他柔性折叠轴200展开。这样，柔性显示面板的尺寸减半，且有利于不同的用户在柔性显示面板的两侧观看和操作该柔性显示面板。

图3为图1中的显示面板在部分展开时的另一种示意图。参见图3，示例性地，仅位于左边的两个柔性折叠轴200展开，其他柔性折叠轴200折叠，且各折叠状态下的折叠轴的折叠方向相同。这样，可用于观看的尺寸为柔性显示面板总尺寸的2/5。由于各折叠状态下的折叠轴的折叠方向相同，形成卷轴状，有利于用户单手持屏。

图4为图1中的显示面板在折叠为卷轴状时的示意图。参见图4，示例性地，各柔性折叠轴200均折叠，且折叠方向相同，均为正折或均为反折，使得柔性显示面板在最小化折叠时呈现卷轴状。其中，柔性显示面板由展开状态变换为卷轴状态的过程为折叠过程，由卷轴状变换为展开状态的过程为拉伸过程。

图5为图1中的显示面板在折叠为长条状时的示意图。参见图5，示例性地，各柔性折叠轴200均折叠，折叠方向依次为正折、反折、正折、反折和正折，或者，折叠方向依次为反折、正折、反折、正折和反折，使得柔性显示面板在最小化折叠时呈现长条状。其中，柔性显示面板由展开状态变换为长条状态的过程为折叠过程，由长条状态变换为展开状态的过程为拉伸过程。

在上述各实施方式中，对柔性折叠轴200的折叠数量和折叠方向进行了说明，下面对柔性折叠轴200的折痕进行说明。在本发明实施例中，柔性折叠轴200的折痕为单折、双折或多折。

图6为图5中区域a的一种放大示意图。参见图6，各柔性折叠轴200的折痕为单折。单折是指柔性折叠轴200的弯折方向朝向一个方向，柔性折叠轴200的弯折状态呈现为圆弧状。在单折状态下，柔性折叠轴200的弯折曲率最小，对柔性折叠轴200的弯折性能的要求最低。

图7为图5中区域a的另一种放大示意图。参见图7，各柔性折叠轴200的折痕为双折。双折是指柔性折叠轴200的弯折方向发生了一次改变，柔性折叠轴200的部分朝向一个方向弯折，柔性折叠轴200的另外部分朝向相反方向弯折，柔性折叠轴200的弯折状态呈现为波浪状。多折与双折类似，弯折状态也呈现为波浪状。与单折状态相比，双折和多折状态下的柔性折叠轴200的尺寸更小，有利于柔性显示面板的多元化设计。

由上述分析可见，本发明实施例通过将柔性显示面板的显示区划分为多个第一显示单元100，设置柔性折叠轴200和第一显示单元100间隔式排布，通过柔性折叠轴200的折叠和展开能够实现柔性可折叠和拉伸后的全面显示效果，即柔性面板折叠+拉伸的效果。另外，与现有技术中仅靠单一的半屏折叠相比，本发明实施例能够实现显示面板尺寸可调，有利于实现多元化折叠拉伸的显示效果，从而使得移动式携带机(例如手机)更加多元化。

需要说明的是，在上述各实施例中，示例性地示出了第一显示单元100的数量为六个，柔性折叠轴200的数量为五个，并非对本发明的限定，在实际应用中可以根据需要设定第一显示单元100和柔性折叠轴200的数量。其中，第一显示单元100和柔性折叠轴200的数量越多，弯折效果越好，优选地，第一显示单元100的数量为至少五个；相应地，柔性折叠轴200的数量为至少四个，以实现更丰富的折叠拉伸显示效果。

在上述各实施例中，柔性显示面板通过柔性折叠轴200对显示面板进行拉伸折叠，以实现柔性显示面板的柔性显示，对第一区和第一显示单元100构成的显示屏是否具备柔性不做限定，可选地，第一区和第一显示单元100构成的显示屏为柔性屏或硬屏。优选地，第一区和第一显示单元100构成的显示屏为柔性屏，这样，进一步有利于柔性显示面板折叠拉伸显示的多元化。

在上述各实施例的基础上，可选地，柔性折叠轴200中设置有第二显示单元，柔性折叠轴200还用于显示图像，即柔性折叠轴200实现了折叠+拉伸+显示的效果。这样设置，有利于提升柔性显示面板的分辨率和显示效果。

图8为本发明实施例提供的另一种柔性显示面板的结构示意图，图9为图8中的柔性折叠轴在拉伸状态下的结构示意图。参见图8和图9，在上述各实施例的基础上，可选地，柔性折叠轴200可拉伸。其中，柔性显示面板为展开状态，柔性折叠轴200为双折的状态，在柔性显示面板继续拉伸后，柔性折叠轴200逐渐展开，直至展开为平面。这样设置，进一步提升了柔性显示面板的多元化显示效果，使得柔性显示面板在全部展开的状态下，还能够继续拉伸，有利于柔性显示面板的多元化应用。

在上述各实施例的基础上，第一显示单元100和柔性折叠轴200的形状和组合方式有多种，下面就其中的几种进行说明，但不作为对本发明的限定。

继续参见图1-图9，在本发明的一种实施方式中，可选地，第一显示单元100(第一区)的形状为长方形，柔性折叠轴200(第二区)的形状为长方形(或类似长方形)。位于中间的第一显示单元100的两个边与柔性折叠轴200的长边接合，位于边缘的第一显示单元100的一个边与柔性折叠轴200的长边接合。这样设置，有利于柔性显示面板沿柔性折叠轴200进行弯折，且有利于折叠为长条状或卷轴状。

继续参见图1-图9，可选地，柔性折叠轴200的长边与第一显示单元100的长边相等，第一显示单元100的短边大于柔性折叠轴200的短边。这样设置，使得柔性显示面板整体为矩形，柔性折叠轴200和第一显示单元100的整体性更强，且有利于增大第一显示单元100在柔性显示面板上所占的比例，从而有利于提升显示面板的整体分辨率，提升显示品质。

可选地，第一显示单元100的长边范围为50mm-300mm，例如，50mm、100mm、150mm、200mm、250mm或300mm；第一显示单元100的短边范围为5mm-100mm，例如，5mm、10mm、30mm、50mm、70mm或100mm。其中，第一显示单元100设置的尺寸较大，柔性显示面板全部折叠后的尺寸较大，第一显示单元100设置的尺寸较小，需要设置的柔性折叠轴200的数量较多。本实施方式这样设置兼顾柔性显示面板的折叠尺寸和折叠数量，有利于满足用户的使用需求。

柔性折叠轴200的长边范围为50mm-300mm，例如，50mm、100mm、150mm、200mm、250mm或300mm；柔性折叠轴200的短边范围为0.1mm-2mm，例如，0.1mm、0.4mm、0.7mm、1mm、1.5mm或2mm。其中，柔性折叠轴200的长边尺寸范围与第一显示单元100的长边尺寸范围相同，有利于柔性折叠轴200与第一显示单元100设置为相同的尺寸，以提升柔性显示面板的整体显示效果。另外，柔性折叠轴200的短边越大，折叠效果越好，但需要占用较多的显示面积；柔性折叠轴200的短边越小，占用的显示面积较小，但会影响折叠效果；柔性折叠轴200的短边设置为0.1mm-2mm，有利于兼顾折叠性能和显示效果。

优选地，第一显示单元100的尺寸为50mm*150mm，柔性折叠轴200的尺寸为1mm*150mm。这样设置，兼顾柔性显示面板的折叠尺寸、折叠数量、折叠性能和显示效果，有利于满足用户的使用需求。

图10为本发明实施例提供的又一种柔性显示面板的结构示意图。参见图10，在本发明的一种实施方式中，可选地，第一显示单元100的形状为长方形，柔性折叠轴200的形状为梯形。这样设置，有利于形成扇形的显示面板，从而有利于柔性显示面板的多元化显示效果。

图11为本发明实施例提供的又一种柔性显示面板的结构示意图。参见图11，在本发明的一种实施方式中，可选地，第一显示单元100(第一区)的形状为正方形，且呈阵列排布，柔性折叠轴200(第二区)的形状为网状。这样设置，相当于将图1-图9中的第一显示单元100进一步分割，并由柔性折叠轴200将分割的部分接合，相邻两个第一显示单元100之间为一个柔性折叠轴200，柔性折叠轴200联合形成网状。由此可见，本发明实施例提供了一种第一显示单元100和柔性折叠轴200的更加灵活的设置方式，使得柔性显示面板的可折叠区域进一步增加，进一步有利于柔性显示面板的多元化显示。

图12为本发明实施例提供的又一种柔性显示面板的结构示意图。参见图12，在本发明的一种实施方式中，可选地，第一显示单元100(第一区)的形状为圆形，且呈阵列排布，柔性折叠轴200(第二区)的形状为网状。这样设置，使得柔性显示面板的可折叠区域进一步增加，进一步有利于柔性显示面板的多元化显示。

由此可见，本发明实施例提供的柔性显示面板的设置方式灵活多样，多元化显示的程度较高，其中第一显示单元100的形状为多边形、圆形、椭圆形或其组合，柔性折叠轴200的形状为条状或网状，在实际应用中可以根据需要进行设定。

在上述各实施例的基础上，下面对柔性显示面板的膜层结构进行说明，但不作为对本发明的限定。

图13为本发明实施例提供的一种柔性显示面板的剖面结构示意图。参见图13，柔性衬底310包括第一区10和第二区20，第一显示单元100和柔性折叠轴200共用柔性衬底310。其中，柔性衬底310的第二区20的厚度大于第一区10的厚度，柔性衬底310的第二区20构成柔性折叠轴200的衬底，柔性衬底310的第一区10构成第一显示单元100的衬底。其中，柔性衬底310的材料例如可以是聚酰亚胺、聚碳酸酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯等具有柔韧性(弹性)的材料。柔性折叠轴200的衬底厚度较厚，构成多个凹槽，第一显示单元100相当于内嵌于凹槽内。由于柔性折叠轴200的衬底厚度较厚，可弯折性能较好，从而提升了柔性折叠轴200折叠拉伸轴效果；又由于第一显示单元100相当于内嵌于凹槽，有利于减薄柔性显示面板的厚度。

图14为本发明实施例提供的另一种柔性显示面板的剖面结构示意图。参见图13和图14，在本发明的一种实施方式中，可选地，柔性显示面板为有机发光二极管显示面板(oled)。柔性显示面板还包括阵列电路层320和发光器件层330。阵列电路层320设置于柔性衬底310上；阵列电路层320包括缓冲层(示例性地，缓冲层包括第一缓冲层321和第二缓冲层322)、有源层323、绝缘层(示例性地，绝缘层包括栅极绝缘层324、层间绝缘层326、第一中间绝缘层328和第二中间绝缘层329)、金属层(示例性地，金属层包括第一金属层325、第二金属层327和第三金属层32a)和平坦化层32b。发光器件层330设置于阵列电路层320远离柔性衬底310的一侧；发光器件层330包括电极331、像素定义层333和发光层332。其中，有源层323、第一金属层325、第三金属层32a的图案以及图案之间的绝缘层构成了薄膜晶体管，第一金属层325、第二金属层327以及图案之间的绝缘层的图案构成了电容。薄膜晶体管和电容构成了像素电路，像素电路用于驱动发光器件发光。

可选地，柔性衬底310的第二区20的顶部高度与阵列电路层320或发光器件层330中的任意一层的高度相等。例如，第二区20的顶部高度与第一缓冲层321的高度相等、或者与第二缓冲层322的高度相等、或者与有源层323的高度相等、或者与栅极绝缘层324的高度相等、或者与第一金属层325的高度相等、或者与层间绝缘层326的高度相等、或者与第二金属层327的高度相等、或者与第一中间绝缘层328的高度相等、或者与第二中间绝缘层329的高度相等、或者与第三金属层32a的高度相等、或者与平坦化层32b的高度相等、或者与阳极的高度相等、或者与发光层332的高度相等、或者介于任意两层之间。

图14中示例性地示出了柔性衬底310上对应柔性折叠轴200的顶部高度与第二中间绝缘层329的高度相等。其中，第一显示单元100中的阵列走线需要通过柔性折叠轴200进行走线连接，本发明实施例这样设置，可以将连接走线设置在柔性衬底310和平坦化层32b之间，使得柔性折叠轴200上的连接走线两侧均具有较厚的膜层，有利于增强柔性折叠轴200的韧性，不易折断，避免多次拉伸后显示画面不良。

在上述各实施例的基础上，可选地，显示面板还包括封装层等膜层结构，封装层设置于发光器件层330远离柔性衬底310的一侧，用于封装和保护柔性显示面板，避免水氧侵蚀阵列电路层320和发光器件层330，以及还用于为柔性显示面板的折叠提供缓冲。

图15为本发明实施例提供的又一种柔性显示面板的剖面结构示意图。参见图15，在本发明的一种实施方式中，可选地，柔性折叠轴200可显示，即柔性折叠轴200上设置有阵列电路和发光器件。其中，由于柔性折叠轴200的衬底厚度较厚，因此，柔性折叠轴200对应的阵列电路层320和发光器件层330的高度较高，示例性地，可以通过封装层等膜层的设置进行平坦化。

在本发明的一种实施方式中，可选地，柔性衬底310对应第一显示单元100的厚度范围为2um-10um，例如，2um、3um、4um、5um、6um、7um、8um、9um或10um等；柔性衬底310对应柔性折叠轴200的厚度范围为10um-30um，例如，10um、15um。20um、25um或30um等。其中，柔性折叠轴200相比于第一显示单元100的衬底厚度太薄，在弯折过程中，容易发生断裂；柔性折叠轴200相比于第一显示单元100的衬底厚度太厚，不容易弯折。本发明实施例设置这样的厚度范围，有利于保持柔性显示面板膜层较薄的基础上，提升柔性显示面板的可弯折性能。

优选地，柔性衬底310对应第一显示单元100的厚度为5um，柔性衬底310对应柔性折叠轴200的厚度为20um，有利于兼顾柔性显示面板的轻薄化和柔性显示面板的可弯折性能。

本发明实施例还提供了一种柔性显示面板的制作方法，该制作方法适用于本发明任意实施例所提供的柔性显示面板。图16为本发明实施例提供一种柔性显示面板的制作方法的流程示意图。参见图16，柔性显示面板的制作方法包括以下步骤：

s110、提供基板，并在基板上形成柔性衬底；其中，柔性衬底包括间隔设置的多个第一区和位于相邻两个第一区内的第二区。

其中，在衬底的第一区内形成第一显示单元，在衬底的第二区内形成柔性折叠轴，且柔性折叠轴与第一显示单元连接。

s120、在基板上形成多个第一显示单元和多个柔性折叠轴，且第一显示单元和柔性折叠轴依次交替设置。

其中，柔性折叠轴用于折叠或展开柔性显示面板，在折叠时，柔性折叠轴可以部分折叠或全部折叠，且各柔性折叠轴的折叠方向相同或不同，以调整柔性显示面板的显示状态。

本发明实施例在柔性显示面板的制作过程中，通过将显示区划分为多个第一区和多个第二区，设置第一区和第二区间隔式排布，在第一区内设置第一显示单元，在第二区内设置柔性折叠轴，通过柔性折叠轴的折叠和展开能够实现柔性可折叠和拉伸后的全面显示效果，即柔性面板折叠+拉伸的效果。另外，与现有技术中仅靠单一的半屏折叠相比，本发明实施例能够实现显示面板尺寸可调，有利于实现多元化折叠拉伸的显示效果，从而使得移动式携带机(例如手机)更加多元化。

图17为本发明实施例提供另一种柔性显示面板的制作方法的流程示意图，图18为图17中的制作方法在各步骤中形成的柔性显示面板的结构示意图。参见图17和图18，在上述实施例的基础上，可选地，柔性显示面板的制作方法，包括以下步骤：

s210、提供基板400。

s220、在基板400上形成柔性衬底310层。

其中，与基板400不同的是，柔性衬底310层是柔性显示面板的一部分，为了实现柔性显示，柔性衬底310的材料为柔性材料，例如可以是聚酰亚胺(pi)、类聚酰亚胺、聚碳酸酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯等。示例性地，形成柔性衬底310层的工艺为，在基板400上涂布柔性衬底材料，然后进行固化，以形成柔性衬底310层。示例性地，柔性衬底310的厚度范围为10um-30um，以20um为例进行说明。

s230、对柔性衬底310层进行图形化，形成多个凹槽311，凹槽311内部对应第一区10，凹槽311的侧壁对应第二区20。

其中，图形化例如可以是刻蚀工艺+灰化工艺，以形成深度一定的间隔设置的凹槽311。示例性地，凹槽311的深度15um，宽度为50mm，长度为150mm，即凹槽311的尺寸为15um*50mm*150mm；凹槽311的间隔为1mm，即柔性折叠轴200的衬底尺寸为20um*1mm*150mm。可选地，在形成柔性衬底310层后，还可以在柔性衬底310上形成缓冲层，以阻隔水氧侵蚀。示例性地，缓冲层的材料为氮化硅、氧化硅或氮氧化硅等无机材料、或者丙烯酸基聚合物、硅基聚合物或环氧基聚合物等有机材料。示例性地，缓冲层的厚度范围为200nm-800nm，例如，200nm、300nm、400nm、500nm、600nm、700nm、800nm，优选地，缓冲层的厚度为600nm。

s240、在柔性衬底310上制作阵列电路层320和发光器件层330，以形成第一显示单元100和柔性折叠轴200。

其中，阵列电路层320包括阵列图形，通过阵列工艺可以形成多个第一显示单元100的阵列图形，例如ltps(lowtemperaturepoly-silicon，低温多晶硅)工艺。发光器件层330包括发光器件，通过蒸镀工艺可以形成发光器件。可选地，凹槽311顶部也通过阵列工艺和蒸镀工艺形成像素，从而形成可显示画面的柔性折叠轴200。可选地，各膜层采用弯折性能较好的材料，例如，铜、金、银等金属材料，或碳纳米管和银纳米管等非金属材料。这样，在拉伸折叠显示时电性影响较小。

s250、剥离基板400。

通过上述步骤s210-s250实现了本发明实施例所提供的柔性显示面板的制作。

注意，上述仅为本发明的较佳实施例及所运用技术原理。本领域技术人员会理解，本发明不限于这里所述的特定实施例，对本领域技术人员来说能够进行各种明显的变化、重新调整和替代而不会脱离本发明的保护范围。因此，虽然通过以上实施例对本发明进行了较为详细的说明，但是本发明不仅仅限于以上实施例，在不脱离本发明构思的情况下，还可以包括更多其他等效实施例，而本发明的范围由所附的权利要求范围决定。