技术总结
一种太阳能电池的层叠减反射膜的制备方法，第一方案为：(1)采用等离子体化学气相沉积法在衬底背表面沉积形成氮氧化硅薄膜；(2)再采用等离子体化学气相沉积法在所述氮氧化硅薄膜的表面沉积形成氮化硅薄膜；最后在所述衬底背表面依次得到氮氧化硅薄膜与氮化硅薄膜的层叠减反射膜。第二方案为：(1)采用等离子体化学气相沉积法在衬底背表面沉积形成氮氧化硅薄膜；(2)再采用等离子体化学气相沉积法在所述氮氧化硅薄膜的表面依次沉积形成折射率梯度下降的三层氮化硅薄膜；最后在所述衬底背表面依次得到氮氧化硅薄膜与折射率梯度下降的三层氮化硅薄膜的层叠减反射膜。本发明的层叠减反射膜能够降低背面电学复合，提高太阳能电池效率。电池效率。
技术研发人员：李学峰
受保护的技术使用者：江苏润阳世纪光伏科技有限公司
技术研发日：2020.12.30
技术公布日：2021/4/27