一种晶圆片对码机的制作方法

本实用新型涉及晶圆识别技术领域，具体为一种晶圆片对码机。

背景技术：

晶圆(wafer)是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，每一片晶圆都有一个编号，即晶圆id(waferid)。实际晶圆片生产中，部分晶圆生产厂商会将晶圆编号id刻在晶圆背面，刻码后的晶圆片编码顺序比较乱，为了方便对晶圆片进行追踪往往需要对晶圆片进行对码排序，人工对码，对码容易产生错误，效率比较低，而且容易对晶圆片造成污染。为此，我们提出一种晶圆片对码机。

技术实现要素：

本实用新型的目的在于提供一种晶圆片对码机，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆片对码机，包括机体，所述机体的一侧壁阵列设有若干个晶周盒组，所述晶周盒组由两个晶周盒组成，且两个晶周盒处于同一竖直线上；

所述机体的内部固定有基准板，所述基准板顶部固定有x轴直线电机，所述x轴直线电机的输出轴固定有z轴直线电机，所述z轴直线电机的输出端固定有安装架，所述安装架上安装有吸取装置和ccd识别装置。

优选的，所述晶周盒内设有若干个容纳槽，所述晶周盒组中位于上层的晶周盒内的容纳槽内均设有晶圆片，所述晶圆片底部边缘处设有编号。

优选的，所述安装架包括顶板和固定在顶板底部两侧的镂空侧板，所述镂空侧板整体呈l形。

优选的，所述晶圆片吸取装置包括无杆气缸、吸盘转接板和吸盘，所述无杆气缸的输出轴固定有吸盘转接板，所述吸盘转接板的一侧嵌入安装有用于吸取晶圆片的吸盘。

优选的，两个所述镂空侧板之间固定有安装板，所述安装板的底部嵌入安装有用于鉴别编号的ccd相机，所述安装板的顶部安装有补光灯。

优选的，所述吸盘远离吸盘转接板的一端顶部设有用于与晶圆片相配合的弧形槽，且弧形槽、补光灯和ccd相机处于同一竖直平面内。

优选的，所述吸盘远离吸盘转接板的一端呈圆弧形，且圆弧形的直径小于晶圆片的直径。

优选的，所述机体的一侧对称固定有治具底板，所述治具底板的顶部固定有卡轨，且晶周盒的底部设有卡槽，且卡槽与卡轨相配合。

优选的，所述机体上正对晶周盒处通过铰链安装有密封门，所述密封门上安装有把手。

优选的，所述机体的一侧位于密封门的上方设有控制面板，所述顶板顶部设有plc控制器，且plc控制器电性连接ccd相机、补光灯、无杆气缸、x轴直线电机和z轴直线电机。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：通过ccd相机对晶圆片底部边缘的编号进行精准识别，与人工对码相比较，识别精度高，效率更高，避免产生对码错误，同时能够保证晶圆片的清洁度，保证了晶圆片的质量。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型机体结构示意图；

图3为本实用新型晶周盒结构示意图；

图4为本实用新型晶圆片结构示意图；

图5为本实用新型安装架结构示意图；

图6为本实用新型吸盘转接板结构示意图；

图7为本实用新型弧形槽结构示意图；

图8为本实用新型晶周盒组结构示意图；

图9为本实用新型卡轨结构示意图。

图中：1、机体；2、晶周盒组；3、晶周盒；4、基准板；5、x轴直线电机；6、z轴直线电机；7、安装架；8、吸取装置；9、ccd识别装置；10、容纳槽；11、晶圆片；12、编号；13、顶板；14、镂空侧板；15、无杆气缸；16、吸盘转接板；17、吸盘；18、安装板；19、ccd相机；20、补光灯；21、弧形槽；22、治具底板；23、卡轨；24、卡槽；25、密封门；26、把手；27、控制面板；28、plc控制器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆片对码机，包括机体1，所述机体1的一侧壁阵列设有若干个晶周盒组2，所述晶周盒组2由两个晶周盒3成，且两个晶周盒3处于同一竖直线上；

所述机体1的内部固定有基准板4，所述基准板4顶部固定有x轴直线电机5，所述x轴直线电机5的输出轴固定有z轴直线电机6，所述z轴直线电机6的输出端固定有安装架7，所述安装架7上安装有吸取装置8和ccd识别装置9。

请参阅图3-4，所述晶周盒3内设有若干个容纳槽10，所述晶周盒组2中位于上层的晶周盒3内的容纳槽10内均设有晶圆片11，所述晶圆片11底部边缘处设有编号12。

请参阅图5，所述安装架7包括顶板13和固定在顶板13底部两侧的镂空侧板14，所述镂空侧板14整体呈l形，节省制造成本，稳定性比较强。

请参阅图6，所述晶圆片11吸取装置8包括无杆气缸15、吸盘转接板16和吸盘17，所述无杆气缸15的输出轴固定有吸盘转接板16，所述吸盘转接板16的一侧嵌入安装有用于吸取晶圆片11的吸盘17，通过吸盘17能够吸取晶圆片11。

请参阅图5，两个所述镂空侧板14之间固定有安装板18，所述安装板18的底部嵌入安装有用于鉴别编号12的ccd相机19，所述安装板18的顶部安装有补光灯20，通过补光灯20对晶圆片11底部边进行补光，保证ccd相机19能够识别晶圆片11底部边缘处的编号12。

请参阅图5-7，所述吸盘17远离吸盘转接板16的一端顶部设有用于与晶圆片11相配合的弧形槽21，且弧形槽21、补光灯20和ccd相机19处于同一竖直平面内，保证晶圆片11能够稳定的位于吸盘17，通过保证ccd相机19能够识别晶圆片11底部边缘处的编号12。

所述吸盘17远离吸盘转接板16的一端呈圆弧形，且圆弧形的直径小于晶圆片11的直径，防止编号12被吸盘17遮挡，保证ccd相机19能够识别晶圆片11底部边缘处的编号12。

请参阅图8-9，所述机体1的一侧对称固定有治具底板22，所述治具底板22的顶部固定有卡轨23，且晶周盒3的底部设有卡槽24，且卡槽24与卡轨23相配合，方便对晶周盒3进行取放定位。

请参阅图1，所述机体1上正对晶周盒3处通过铰链安装有密封门25，所述密封门25上安装有把手26，方便将上层的晶周盒3取出，通过密封门25的密封保证机体1内部的密封性，防止灰尘进入机体1内部对晶圆片11造成污染。

所述机体1的一侧位于密封门25的上方设有控制面板27，所述顶板13顶部设有plc控制器28，且plc控制器28电性连接ccd相机19、补光灯20、无杆气缸15、x轴直线电机5和z轴直线电机6，plc控制器28采用cqm1控制器，通过plc控制器28便于对各个电路元件进行编程控制。

工作原理：

首先，将待对码的装满晶圆片11的晶周盒3安装到上层的治具底板22上，通过x轴直线电机5的驱动使z轴直线电机6移动到对应的晶周盒组2处；

其次，通过z轴直线电机6和无杆气缸15和吸盘17的相互配合，当吸盘17将晶周盒3其中一个容纳槽10内的晶圆片11取出后，移动到ccd相机19处进行识别，

如果鉴别后的编号12和该容纳槽10实际所需安装的晶圆片11编号12一致时，通过z轴直线电机6和无杆气缸15和吸盘17的相互配合，重新将该晶圆片11放回原来的容纳槽10内；

如果鉴别后的编号12和该容纳槽10实际所需安装的晶圆片11编号12不一致时，通过z轴直线电机6和无杆气缸15和吸盘17的相互配合，将该晶圆片11放置到该晶周盒组2位于下层的晶周盒3中对应的容纳槽10内；

从上向下逐一对晶圆片11进行验证，当该晶周盒组2中上层的晶周盒3内的所有容纳槽10内的晶圆片11识别完成后，通过z轴直线电机6和无杆气缸15和吸盘17的相互配合，使该晶周盒组2中下层的晶周盒3内的晶圆片11放入上层的晶周盒3内对应的容纳槽10，最终完成对码任务。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。