一种半导体电子器件退火加工用输送行走装置的制作方法

本实用新型涉及电子产品加工技术领域，更具体地说，涉及一种半导体电子器件退火加工用输送行走装置。

背景技术：

半导体器件通常利用不同的半导体材料、采用不同的工艺和几何结构，已研制出种类繁多、功能用途各异的多种晶体二极，晶体二极管的频率覆盖范围可从低频、高频、微波、毫米波、红外直至光波。三端器件一般是有源器件，典型代表是各种晶体管(又称晶体三极管)。晶体管又可以分为双极型晶体管和场效应晶体管两类。根据用途的不同，晶体管可分为功率晶体管微波晶体管和低噪声晶体管。除了作为放大、振荡、开关用的一般晶体管外，还有一些特殊用途的晶体管，如光晶体管、磁敏晶体管，场效应传感器等。这些器件既能把一些环境因素的信息转换为电信号，又有一般晶体管的放大作用得到较大的输出信号。

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60％。

现有的退火炉在对半导体器件进行退火处理时，需要人工进行间歇式上料，而不能实现物料的间歇式输送，大大的影响了半导体退火处理的工作效率，且退火炉工作过程中会产生很多废气，通常这些废气都会直接排放，造成了能源的浪费。

技术实现要素：

1.要解决的技术问题

针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种半导体电子器件退火加工用输送行走装置，可以实现对待加工半导体管的单项间歇式输送，无需人工操作进行输送，且由于能够实现间歇式输送，保证半导体管的退火处理效果，另外整个装置的稳定性高，不会产生偏转现象。

2.技术方案

为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。

一种半导体电子器件退火加工用输送行走装置，包括炉体外壳，所述炉体外壳内部设有退火机构，所述炉体外壳的前后两侧内壁上均固定有支撑板，所述支撑板上滑动连接有齿板，所述齿板上固定有半导体管放置槽，所述齿板的下表面上一体成型有多个齿牙，所述半导体管放置槽上放置有多个半圆形凹槽，所述炉体外壳的前后两侧内壁上插接有转动轴，所述转动轴水平设置且与齿板相垂直，所述转动轴的外壁上位于齿牙的下方转动连接有外齿轮，所述外齿轮与齿牙啮合设置，所述外齿轮的前侧壁上同轴固定有内缘棘轮，所述转动轴的外壁上位于内缘棘轮的内圈转动连接有转盘，所述转盘的外壁上位于内缘棘轮的前侧固定有竖直设置的转动杆，所述转动杆上铰接有棘爪，所述棘爪与内缘棘轮内壁上的卡槽抵接，所述转盘上固定有第一压缩弹簧，且第一压缩弹簧的端部与棘爪侧壁固定连接，所述转动杆的顶端铰接有推杆，所述炉体外壳上设置有用于驱动推杆左右往复运动的气动驱动机构。装置工作时，推杆由气动驱动机构驱动往右移动，从而推动转动杆右移并带动棘爪沿着内缘棘轮内部的卡槽顺时针转动，并与其他的某个卡槽抵接，当推杆由启动驱动机构往左复位时，拉动内缘棘轮以转动轴为中心进行逆时针转动，从而带动外齿轮逆时针转动，由于外齿轮与齿板底部的齿牙啮合，从而带动齿板进行移动，气动驱动机构驱动推杆进行间歇式往复运动实现对半导体管的单向间歇式输送，整个装置的稳定性高，不会产生偏转现象。

进一步的，所述气动驱动机构包括固定在炉体外壳左侧内壁上的固定筒，所述固定筒内部靠近固定筒内底部卡接有活塞，所述推杆插入固定筒内部且与活塞的右侧壁铰接，所述固定筒的内部位于活塞的右侧固定有限位板，所述推杆贯穿限位板设置，所述活塞与限位板之间连接有多组第二压缩弹簧，所述炉体外壳的左侧外壁上开设有出气口，所述出气口处固定连接有连通管，所述固定筒的左侧壁上开设有进气口，且进气口处连接有单向阀，所述连通管的底端与单向阀相连接，所述连通管上固定有间歇式放气阀，所述固定筒上位于活塞与固定筒内底部之间开设有排气口，且排气口处固定有电控排气阀，所述固定筒内壁上位于活塞与固定筒内底部之间固定有压力传感器，所述压力传感器与电控排气阀电性连接。退火处理时产生的气体由连通管进入固定筒内部，由于设置有间歇式放气阀，能够实现间歇式放气，能够实现固定筒内部压强缓慢增大，当固定筒内部压强逐渐增大时，挤压活塞往右移动实现对推杆持续往右推动，当压力传感器检测到固定筒内部压强过大时，电控排气阀进行放气，固定筒内部压强瞬间减小，在第二压缩弹簧的回复力作用下带动活塞复位，从而实现了对推杆的左右间歇式往复驱动。

进一步的，所述半导体管放置槽上开设有等间距排布的半圆形凹槽，所述半圆形凹槽与半导体管相匹配，所述半导体管放置在半圆形凹槽内部，所述半圆形凹槽的内壁上一体成型有多个用于增大摩擦力的摩擦齿。在半导体管放置槽上开设半圆形凹槽，能够避免移动过程中半导体管产生位移或晃动，保证退火的稳定进行，摩擦齿能够进一步的增大半导体管与半圆形凹槽内壁之间的摩擦力。

进一步的，所述排气口处连接有导气管，所述炉体外壳的内底部固定有尾气收集处理装置，所述导气管与尾气收集处理装置的进气口相连接。尾气收集处理装置能够对排出的气体进行收集和简单处理后再排放，避免直接排放造成的污染。

进一步的，所述推杆、固定筒、活塞和限位板采用不锈钢材质制成。推杆、固定筒、活塞和限位板采用不锈钢材质制成，能避免因高温产生形变导致设备无法正常工作的现象。

进一步的，所述电控排气阀为耐高温电控阀，所述压力传感器为耐高温压力传感器。电控排气阀为耐高温电控阀，压力传感器为耐高温压力传感器，能够避免因高温导致损坏造成设备无法工作的现象。

3.有益效果

相比于现有技术，本实用新型的优点在于：

(1)本实用新型可以实现对待加工半导体管的单项间歇式输送，无需人工操作进行输送，且由于能够实现间歇式输送，保证半导体管的退火处理效果，另外整个装置的稳定性高，不会产生偏转现象。

(2)利用退火工作时产生的气体压力作为驱动源，驱动半导体管的单项间歇式输送，无需单独的电机设备，大大的降低了设备的能耗，且利用了退火时的多余能量，节能环保，符合可持续发展和环保节能的市场需求，适合大范围推广。

(3)尾气收集处理装置能够对排出的气体进行收集和简单处理后再排放，避免直接排放造成的污染。

(4)推杆、固定筒、活塞和限位板采用不锈钢材质制成，能避免因高温产生形变导致设备无法正常工作的现象。

(5)推杆、固定筒、活塞和限位板采用不锈钢材质制成，能避免因高温产生形变导致设备无法正常工作的现象。

(6)电控排气阀为耐高温电控阀，压力传感器为耐高温压力传感器，能够避免因高温导致损坏造成设备无法工作的现象。

附图说明

图1为本实用新型的正视图；

图2为本实用新型中内缘棘轮的结构示意图。

图中标号说明：

1炉体外壳、2齿板、3半导体管放置槽、4半圆形凹槽、5半导体管、6转动轴、7外齿轮、8内缘棘轮、9转盘、10转动杆、11棘爪、12第一压缩弹簧、13推杆、14固定筒、15活塞、16限位板、17第二压缩弹簧、18出气口、19连通管、20单向阀、21间歇式放气阀、22电控排气阀、23压力传感器、24尾气收集处理装置。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图；对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然；所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例；而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例；本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例；都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例1：

请参阅图1-2，一种半导体电子器件退火加工用输送行走装置，包括炉体外壳1，炉体外壳1内部设有退火机构(退火机构为退火炉的特有结构，其内部结构和工作原理为现有技术，在此不做赘述)，炉体外壳1的前后两侧内壁上均固定有支撑板，支撑板上滑动连接有齿板2，齿板2上固定有半导体管放置槽3，齿板2的下表面上一体成型有多个齿牙，半导体管放置槽3上放置有多个半圆形凹槽4，炉体外壳1的前后两侧内壁上插接有转动轴6，转动轴6水平设置且与齿板2相垂直，转动轴6的外壁上位于齿牙的下方转动连接有外齿轮7，外齿轮7与齿牙啮合设置，外齿轮7的前侧壁上同轴固定有内缘棘轮8，转动轴6的外壁上位于内缘棘轮8的内圈转动连接有转盘9，转盘9的外壁上位于内缘棘轮8的前侧固定有竖直设置的转动杆10，转动杆10上铰接有棘爪11，棘爪11与内缘棘轮8内壁上的卡槽抵接，转盘9上固定有第一压缩弹簧12，且第一压缩弹簧12的端部与棘爪11侧壁固定连接，转动杆10的顶端铰接有推杆13，炉体外壳1上设置有用于驱动推杆13左右往复运动的气动驱动机构。装置工作时，推杆13由气动驱动机构驱动往右移动，从而推动转动杆10右移并带动棘爪11沿着内缘棘轮8内部的卡槽顺时针转动，并与其他的某个卡槽抵接，当推杆13由启动驱动机构往左复位时，拉动内缘棘轮8以转动轴6为中心进行逆时针转动，从而带动外齿轮7逆时针转动，由于外齿轮7与齿板2底部的齿牙啮合，从而带动齿板2进行移动，气动驱动机构驱动推杆13进行间歇式往复运动实现对半导体管5的单向间歇式输送，整个装置的稳定性高，不会产生偏转现象。

请参阅图1，气动驱动机构包括固定在炉体外壳1左侧内壁上的固定筒14，固定筒14内部靠近固定筒14内底部卡接有活塞15，推杆13插入固定筒14内部且与活塞15的右侧壁铰接，固定筒14的内部位于活塞15的右侧固定有限位板16，推杆13贯穿限位板16设置，活塞15与限位板16之间连接有多组第二压缩弹簧17，炉体外壳1的左侧外壁上开设有出气口18，出气口18处固定连接有连通管19，固定筒14的左侧壁上开设有进气口，且进气口处连接有单向阀20，单向阀是流体只能沿进水口流动，出水口介质却无法回流，俗称单向阀，用于液压系统中防止油流反向流动,或者用于气动系统中防止压缩空气逆向流动，单向阀有直通式和直角式两种。直通式单向阀用螺纹连接安装在管路上。直角式单向阀有螺纹连接、板式连接和法兰连接三种形式。本实施例中的单向阀选用kam-01型螺纹连接式气动单向阀。

连通管19的底端与单向阀20相连接，连通管19上固定有间歇式放气阀21(间歇式放气阀可选用电磁阀，能够实现间歇式进行放气即可)，固定筒14上位于活塞15与固定筒14内底部之间开设有排气口，且排气口处固定有电控排气阀22，固定筒14内壁上位于活塞15与固定筒14内底部之间固定有压力传感器23，压力传感器23与电控排气阀22电性连接。退火处理时产生的气体由连通管19进入固定筒14内部，由于设置有间歇式放气阀21，能够实现间歇式放气，能够实现固定筒14内部压强缓慢增大，当固定筒14内部压强逐渐增大时，挤压活塞15往右移动实现对推杆13持续往右推动，当压力传感器23检测到固定筒14内部压强过大时，电控排气阀22进行放气，固定筒14内部压强瞬间减小，在第二压缩弹簧17的回复力作用下带动活塞15复位，从而实现了对推杆13的左右间歇式往复驱动。

请参阅图1，半导体管放置槽3上开设有等间距排布的半圆形凹槽4，半圆形凹槽4与半导体管5相匹配，半导体管5放置在半圆形凹槽4内部，半圆形凹槽4的内壁上一体成型有多个用于增大摩擦力的摩擦齿。在半导体管放置槽3上开设半圆形凹槽4，能够避免移动过程中半导体管5产生位移或晃动，保证退火的稳定进行，摩擦齿能够进一步的增大半导体管与半圆形凹槽4内壁之间的摩擦力。

请参阅图1，排气口处连接有导气管，炉体外壳1的内底部固定有尾气收集处理装置24，导气管与尾气收集处理装置24的进气口相连接。尾气收集处理装置24能够对排出的气体进行收集和简单处理后再排放，避免直接排放造成的污染。

请参阅图1，推杆13、固定筒14、活塞15和限位板16采用不锈钢材质制成。推杆13、固定筒14、活塞15和限位板16采用不锈钢材质制成，能避免因高温产生形变导致设备无法正常工作的现象。

请参阅图1，电控排气阀22为耐高温电控阀，耐高温电控阀既高温电磁阀，高温电磁阀是一种先导直动型的电磁阀，其广泛应用于船舶重工、测试设备、加热设备、液压设备等，工作温度在300℃以上的导热系统中；本实施例中的耐高温电磁阀选用zczg高温电磁阀。

压力传感器23为耐高温压力传感器，耐高温压力传感器即为高温压力传感器，高温压力传感器是工业实践中最为常用的一种压力变送器，其广泛应用于各种工业自控环境，高温压力传感器是为了解决在高温环境下对各种气体、液体的压力进行测量。主要用于测量锅炉、管道、高温反应容器内的压力、井下压力和各种发动机腔体内的压力、高温油品液位与检测、油井测压等领域。本实施例中的耐高温压力传感器选用型号为wmb2088-gw的高温压力传感器。

电控排气阀22为耐高温电控阀，压力传感器23为耐高温压力传感器，能够避免因高温导致损坏造成设备无法工作的现象。

工作原理：装置工作时，推杆13由气动驱动机构驱动往右移动，从而推动转动杆10右移并带动棘爪11沿着内缘棘轮8内部的卡槽顺时针转动，并与其他的某个卡槽抵接，当推杆13由启动驱动机构往左复位时，拉动内缘棘轮8以转动轴6为中心进行逆时针转动，从而带动外齿轮7逆时针转动，由于外齿轮7与齿板2底部的齿牙啮合，从而带动齿板2进行移动，气动驱动机构驱动推杆13进行间歇式往复运动实现对半导体管5的单向间歇式输送，整个装置的稳定性高，不会产生偏转现象；

退火处理时产生的气体由连通管19进入固定筒14内部，由于设置有间歇式放气阀21，能够实现间歇式放气，能够实现固定筒14内部压强缓慢增大，当固定筒14内部压强逐渐增大时，挤压活塞15往右移动实现对推杆13持续往右推动，当压力传感器23检测到固定筒14内部压强过大时，电控排气阀22进行放气，固定筒14内部压强瞬间减小，在第二压缩弹簧17的回复力作用下带动活塞15复位，从而实现了对推杆13的左右间歇式往复驱动。

以上所述；仅为本实用新型较佳的具体实施方式；但本实用新型的保护范围并不局限于此；任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内；根据本实用新型的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变；都应涵盖在本实用新型的保护范围内。