波导密封窗的制作方法

文档序号:23692068发布日期:2021-01-23 10:17阅读:来源:国知局
技术总结
本实用新型涉及密封窗技术领域,具体是波导密封窗,用于解决现有技术中波导密封窗具有容易发生变形或破裂以及结构复杂、生产难度大的问题。本实用新型包括相互连接的上法兰和下法兰,所述上法兰的底面开有安装槽,所述安装槽内从上到下依次安装有相互接触的垫片和石英玻璃片,所述石英玻璃片可封闭窗口,所述下法兰与石英玻璃片间还开有密封槽,所述密封槽内安装有密封圈。本实用新型通过石英玻璃片作为电介质材料阻挡气体流通,使用氟橡胶O型圈作为密封方式,石英玻璃片的一面直接接触氟橡胶密封圈保持此面气密,另一面紧贴一片聚四氟乙烯垫片,使得石英玻璃片受力更加均匀,更加不容易碎裂或变形。不容易碎裂或变形。不容易碎裂或变形。


技术研发人员:袁博
受保护的技术使用者:四川三三零半导体有限公司
技术研发日:2020.06.30
技术公布日:2021/1/23

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