一种激光调阻系统的制作方法

文档序号:25318405发布日期:2021-06-04 16:46阅读:来源:国知局

技术特征:
1.一种激光调阻系统,其特征在于,包括:激光源发生单元,用于提供修调电子元件所需的激光;探针及工装单元,用于容置待测电子元件,并调整探针与待测电子元件的对焦位置;振镜扫描单元,用于设置工作区的扫描范围及定位精度;测量单元,用于测量和检测外部的电阻或电压,控制激光源发生单元开关激光,并将测量结果返回至运动控制单元;同轴定位单元,用于将激光源发生单元发射的激光束的焦点定位至加工位置;运动控制单元,用于根据测量单元的测量结果对待测目标进行控制;视频显示单元,用于设置视野范围及视觉定位精度的参数。2.根据权利要求1所述的激光调阻系统,其特征在于,所述的激光波长为532nm或1064nm。3.根据权利要求1所述的激光调阻系统,其特征在于,所述的扫描范围为102mm
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102mm。4.根据权利要求1所述的激光调阻系统,其特征在于,所述的视野范围为8mm*6mm。5.根据权利要求1所述的激光调阻系统,其特征在于,所述的视觉定位精度为
±
10um。6.根据权利要求1所述的激光调阻系统,其特征在于,所述的测量单元采用二线或四线方式测量电阻。7.根据权利要求1所述的激光调阻系统,其特征在于,所述的调阻还可以为调整电压、电流、时间、频率、压力的任一种。
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